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美光首采EUV 1γ制程DRAM开始出货,将在日、台量产

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美光(Micron)于3月25日正式推出基于全新1γ(1-gamma)制程技术的16Gb DDR5内存,这是美光首次采用极紫外光(EUV)曝光技术。新内存不仅比前代产品具备更高性能、功耗更低,制造成本有望进一步下降。此外,美光表示,其1γ制程技术(第六代10nm级节点)未来将应用于其他DRAM产品。

美光基于1γ制程的主力产品为16Gb(2GB) DDR5内存,在业界标准电压1.1V下运行时,数据传输速率达9200 MT/s。与前代1β制程的16Gb DDR5内存相比,新款内存耗电量降低20%,位元密度提升30%,当新芯片的良率达到1β 16Gb DRAM的水准时,制造成本预计将下降。



美光指出,1γ DRAM是继领先业界的1α(1-alpha)和1β(1-beta)DRAM制程节点之后,再次树立的重大里程碑,并将有效赋能云计算、工业与商业消费端及边缘AI设备(如AI PC、智能手机及汽车等)等未来运算平台。

虽然美光将其最新16Gb DDR5内存标示为9200 MT/s,但此速度明显高于DDR5最新规范中的标准速率。美光强调,该芯片仍可在JEDEC规范的标准速度下正常运行,而较高的速度等级则可与未来CPU有一定兼容性。美光还指出,CUDIMM或基于CXL的内存模块有望利用超越JEDEC标准的更高频率,且发烧级DIMM产品也可能采用这些新DRAM,打造突破10,000 MT/s的超频模块。

美光目前正与笔记本和服务器制造商测试基于1γ制程的16Gb DDR5内存芯片与模块,并进行抽样测试,预计将在一或两季内完成资格审核,意味美光最新内存产品有望2025年中旬开始进入市场。美光预期,台式机、笔记本及服务器等所有类型的内存模块都将采用这款新芯片。

随着时间推移,美光将利用1γ制程技术生产其他类型的内存产品,包括GDDR7、LPDDR5X(最高可达9600 MT/s) 以及数据中心级产品,使1γ节点成为公司核心技术主力。



美光1γ制程是该公司首次采用极紫外光(EUV)微影制程,其他领先的内存制造商数年前就已导入EUV。虽然美光较晚采用,但1γ制程相较于现有产品线具备显著优势。

美光并未透露1γ制程使用多少层EUV,但推测主要是在关键层导入EUV微影技术,这些层若使用传统的多重曝光(multi-patterning)技术,将延长生产周期并影响良率。美光表示,1γ制程采用EUV搭配深紫外光(DUV)多重曝光技术,并引入新一代高介电常数金属闸极(High-K Metal Gate)与全新后段制程(Back-End-of-Line,简称BEOL)电路。

目前美光1γ DRAM主要在日本芯片厂生产,该厂于2024年安装美光首套EUV设备。随着1γ内存产量提升,美光计划在日本与台湾芯片厂增加更多EUV设备。

美光科技执行副总裁暨技术和产品首席执行官Scott DeBoer表示,美光运用其开发专有DRAM技术的专业知识,搭配EUV微影技术的策略性运用,形成顶尖1γ内存的强大产品组合,以推动AI产业生态系统向前迈进。

(首图来源:美光)

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