网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

硅、氮化硅和氧化硅的单面背面清洗

0
分享至

在这项研究中,使用经济特区单晶片自旋处理器开发了一种单一背面清洁解决方案,能够通过蚀刻晶片背面的几埃来去除任何金属或外来污染物,无论其涂层如何(无涂层、Si3N4或SiO2)。选择H2O:H2O2:H2SO4:HF混合物是因为它允许对3种感兴趣的材料的蚀刻速率进行独立控制,而不会使硅表面变得粗糙,然后,在有意被各种金属污染的晶片上,以及在外来材料沉积或传统铜工艺过程中被污染的“生产晶片”上,检查化学效率。

我们首先通过改变混合物中H2O2和H2SO4的比例来关注硅蚀刻速率,温度设定为60℃以激活Si表面氧化反应,HF浓度为0.5%。随着H2O2含量的增加,硅蚀刻从5.8升至13.5/分钟(图1),但体积比为5:5:1的混合物似乎达到了一个稳定水平,该组合物被选择用于最终的清洁测试;第二步,我们调整HF浓度以达到氮化硅和氧化硅上所需的蚀刻速率,在60°C时,HF浓度为0.1%至0.5%,Si3N4的蚀刻速率为5至25Å/min,SiO2的蚀刻速率为10Å至140Å/min,对于具有最低硅蚀刻速率的混合物(比例为8:2:1,图2),硅蚀刻速率与HF浓度的独立性得到了很好的验证。

我们注意到在过氧化氢含量较高(比例5:5:1)的化学混合物中,0.1% HF的蚀刻速率略有下降,因为预期硅氧化速率随着氧化剂浓度而增加,并且对于非常低的HF浓度,限制步骤可能是氧化硅蚀刻速率,最后,选择0.2%的HF浓度以避免限制硅蚀刻,因为在Si3N4和热SiO 2(60°C)上分别获得10Å/min和35Å/min的合适蚀刻速率,还证实了在5次清洗序列后,AFM在Si晶片上没有记录到显著的粗糙度增加。

我们开发的清洗溶液在处理过渡金属和其他类型的污染物方面表现出了优异的性能,接近at/cm²的初始金属水平是通过硅晶片上的有意污染获得的,然后通过用5∶5∶1/0.2的混合物蚀刻10Ǻ的硅(60秒,在60℃下),甚至在退火的晶片上,获得低于
at/cm²的残留污染水平,在晶片背面发现了随机的金属污染物,清洗后,所有金属的残留污染低于,这使我们能够在“真实”污染情况下验证背面清洗效率。

在沉积和清洗后特定元素(如铟、锡和钇)的污染情况下,我们观察到晶片与晶片之间的初始污染水平差异很大(不是在同一批中沉积的),范围从到at/cm²,清洗后,最终污染水平低于at/cm²。

上图中报告的结果说明了降低背面颗粒污染的难度,在封闭室中,来自污染气流的颗粒获得了非常高的初始污染水平(达到饱和水平,在晶片表面上均匀分布),在1分钟内实现了70%至95%的可接受PRE,打扫卫生,然而从工具操作和卡盘接触中去除颗粒要困难得多,在该测试中,初始粒子数要低得多(最多4500个粒子,局限于处理足迹),但PRE几乎可以忽略(0至20%)。

已经证明,焦点更好地与由于处理系统引起的非常大的背面缺陷或粘在光刻工具卡盘上的大颗粒相关,而不是与晶片背面颗粒数相关,背面颗粒污染的规格仍需在工业环境中更完整的研究的基础上确定,以显示背面颗粒污染对产量的影响,如有必要可实施额外的擦洗步骤(刷子或非接触式擦洗器)或使用兆频超声波活化来减少晶片背面的颗粒污染。

由于用于单晶片序列的短处理时间,金属去除仍然存在,在SEZ spin处理器上研究了背面清洁,该处理器具有专门开发的易于使用的化学物质,通过使用相同的配方来去除硅、氧化硅或氮化硅背面涂层上的金属污染物,重点研究了过渡金属和“外来”污染物,并表明无论采用何种基底,都可以获得良好的金属去除效率。

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
北大56岁女教授突然死亡:丈夫是日本人,夫妻照片流出,死因披露

北大56岁女教授突然死亡:丈夫是日本人,夫妻照片流出,死因披露

博士观察
2025-03-10 17:54:17
大陆万万没想到,没等解放军正式收台,台当局先送来两份“大礼”

大陆万万没想到,没等解放军正式收台,台当局先送来两份“大礼”

史纪文谭
2024-10-25 22:57:48
钱真养人!36岁奚梦瑶一脸高级,与早期天差地别,何猷君偷着乐吧

钱真养人!36岁奚梦瑶一脸高级,与早期天差地别,何猷君偷着乐吧

美食阿鳕
2025-03-11 09:35:32
不吹不黑!中国现在的经济发展相当于美国哪一年的水平?

不吹不黑!中国现在的经济发展相当于美国哪一年的水平?

归史
2025-03-11 10:11:10
为什么全世界最瘦的是日本人?评论区的回答笑晕了,简直一针见血

为什么全世界最瘦的是日本人?评论区的回答笑晕了,简直一针见血

笑熬浆糊111
2025-03-08 00:05:30
林肯双车限时一口价:18.88万起售

林肯双车限时一口价:18.88万起售

沙雕小琳琳
2025-03-10 19:03:34
加拿大新总理刚上台,就收到中国的“见面礼”,100%关税不成敬意

加拿大新总理刚上台,就收到中国的“见面礼”,100%关税不成敬意

国际阿尝
2025-03-11 11:11:44
鲍里妮搭上末班车, WTA印第安维尔斯决出16强,1/8决赛对阵出炉

鲍里妮搭上末班车, WTA印第安维尔斯决出16强,1/8决赛对阵出炉

安海客
2025-03-11 13:45:41
3-0!犀利进攻,击溃大洋洲冠军,蒯曼旗开得胜,晋级女单十六强

3-0!犀利进攻,击溃大洋洲冠军,蒯曼旗开得胜,晋级女单十六强

钉钉陌上花开
2025-03-11 13:00:59
华盛顿邮报:特朗普用5天让美国倒退100年

华盛顿邮报:特朗普用5天让美国倒退100年

小刀99
2025-03-10 22:07:10
艺高人胆大!C罗勺子点球戏耍门将:8射门是对手全队3倍 斩927球

艺高人胆大!C罗勺子点球戏耍门将:8射门是对手全队3倍 斩927球

风过乡
2025-03-11 06:21:01
跌麻了!网传杭州一核心地段楼盘,88平房价从600万跌至330万…

跌麻了!网传杭州一核心地段楼盘,88平房价从600万跌至330万…

火山诗话
2025-03-08 14:19:12
周冬雨巴黎时装周造型出圈!

周冬雨巴黎时装周造型出圈!

述家娱记
2025-03-11 11:40:49
雷军又成“价格屠夫”?价格低至99.9元,仅仅3分钟就卖出了5万台

雷军又成“价格屠夫”?价格低至99.9元,仅仅3分钟就卖出了5万台

飞花文史
2025-03-10 09:58:16
恒大足校陷争议:学生被淘汰后需掏20万才能走 家长校方各执一词

恒大足校陷争议:学生被淘汰后需掏20万才能走 家长校方各执一词

风过乡
2025-03-10 22:00:05
故事:男子出轨婶婶,二人聊天照片曝光,父母:脸丢光了

故事:男子出轨婶婶,二人聊天照片曝光,父母:脸丢光了

纪实录
2025-02-17 15:19:34
暗批李梦之后又内涵韩旭,宫鲁鸣要干嘛?原来他是在朝小团体开刀

暗批李梦之后又内涵韩旭,宫鲁鸣要干嘛?原来他是在朝小团体开刀

姜大叔侃球
2025-03-10 18:43:33
2-0!2-0!郑钦文,你作弊了?直接保送冠军吧

2-0!2-0!郑钦文,你作弊了?直接保送冠军吧

体育就你秀
2025-03-11 06:50:03
他娶了普京的女儿,却偷偷出轨约会超模?普京的做法让人意外

他娶了普京的女儿,却偷偷出轨约会超模?普京的做法让人意外

诡谲怪谈
2025-03-09 14:38:27
艾比布拉官宣留洋五大联赛!成都蓉城已批准他离队,徐正源祝福

艾比布拉官宣留洋五大联赛!成都蓉城已批准他离队,徐正源祝福

小海要说球
2025-03-11 12:21:33
2025-03-11 14:52:49
泛半导体信息
泛半导体信息
从事半导体设备制造
948文章数 95关注度
往期回顾 全部

科技要闻

智元:没有大模型不配谈机器人 5年内进家门

头条要闻

杜特尔特被捕后画面披露 在空军基地质疑逮捕令合法性

头条要闻

杜特尔特被捕后画面披露 在空军基地质疑逮捕令合法性

体育要闻

周冠宇担任的F1储备车手,是干嘛的?

娱乐要闻

金秀贤再次被锤!金赛纶姨妈晒证据

财经要闻

永辉"胖改"救市:流量狂欢后的空壳困局

汽车要闻

或上海车展亮相 极氪全新大型SUV定名极氪9X

态度原创

亲子
教育
家居
时尚
军事航空

亲子要闻

希望家长可以多了解了解孕育知识

教育要闻

从入编考试倒数第一逆袭成为南京市学科教学带头人,他有3个成长“攻略”……

家居要闻

木成心许 个性与实用

显白的奶茶色,穿出春日味道

军事要闻

俄称击退对莫斯科的大规模无人机袭击

无障碍浏览 进入关怀版