天准科技半导体前道检测设备突围战

在“缺芯”仍然持续的今天，半导体设备逐渐成为新焦点，SEMI警示，在全球缺芯期间，半导体设备短缺正成为阻碍半导体扩产的重要原因。叠加全球半导体大环境的影响，发展本土半导体设备已经成为一个迫不及待的需求，包括天准科技在内的国产厂商正在奋力突围。

多面布局，绘制半导体发展蓝图

从进军半导体这个领域开始，天准科技的目标就是突围高端前道检测设备。经过多年筹划和布局，凭借着技术、人才、战略等多方位的优势，如今天准科技已经成功实现了半导体的深入布局，产品涵盖了前道检测中的大部分领域。

2020年MueTec的收购就是天准科技半导体扩张蓝图的第一步，MueTec作为一家德国半导体检测设备公司，从1991年开始就专注于半导体晶圆及掩膜光学检测设备的研发生产，截至目前已在这个领域耕耘了整整31年。MueTec创始团队来自徕卡半导体检测事业部，其技术团队在光学检测领域有着很强的技术沉淀，可以与视觉检测技术出身的天准科技在技术方面充分形成互补，互相借力。通过此次收购，天准科技不仅实现了半导体技术与渠道互补，还加速了半导体微观缺陷检测新技术的构建及新产品上市的节奏。

高端前道检测设备则是天准科技在技术方面的大迈步。与宏观缺陷检测相比，微观缺陷检测精度要求更高，技术难度大幅提升。作为当前研发的重要方向，第一款由天准科技自主研发的前道微观缺陷检测设备预计将于年底推出。

此外，为了更好地推进高端设备研发，去年年底，天准科技专门投资成立了苏州矽行半导体技术有限公司（以下简称“矽行半导体”），作为半导体布局的一部分，矽行半导体承担了其中关键核心零部件的研发任务。

至此，天准科技的半导体布局已初步形成。

深耕光学检测技术，全力布局半导体

天准科技早在2005年就已成立，总部位于中国苏州，于2019年正式在科创板挂牌上市，致力打造卓越的视觉装备平台型企业。目前，天准科技产品覆盖面已经涉及消费电子、半导体、PCB 、新能源、新汽车等多个精密制造行业，可以提供视觉测量、检测、制程等高端装备产品。同时，天准科技还将机器视觉核心技术拓展应用于智能网联领域，为智能驾驶、车路协同等应用提供智能化解决方案。

对于天准科技来说，进军半导体是长期战略，是深思熟虑的考量，瞄准的就是高端前道检测设备领域。

众所周知，芯片制造是世界上最精密的制造技术之一，其工艺步骤多达成百上千，只有每一道的制造质量都保持在非常高的水平才能保证最终的良品率，而天准科技所覆盖的检测和量测两大领域正是保证芯片良率的关键环节。

从初心到突破，天准科技坚定“国内一流”目标不动摇，为成为本土高端前道检测行业的领军企业，除收购MueTec之外，天准科技还坚持自主创新，不断攻坚半导体设备关键技术。当前，微观缺陷检测设备作为半导体前道制程核心检测设备，已成为天准科技的发展重点。

据介绍，目前天准科技半导体设备研发团队已超过100人，包括多名海归人才及半导体行业资深技术人员，博士占比约20%，硕博比例超过80%。其中，CTO曹葵康博士毕业于浙江大学超大规模集成电路设计研究所，毕业后入职华为海思半导体从事芯片研发，后加入天准科技，长期专注高端工业视觉装备研发。

面对日渐庞大的半导体设备市场及相关技术难度的提升和演进，天准科技坚持技术创新、扩充产能等多元化布局方式，更好满足客户和市场需求。

如今，天准科技的半导体设备订单已经排到了2023年后，但为了实现设备本地化，更好地服务于本地客户，天准科技从去年开始就已经着手推动国产化生产的落地，目前相关配套设备、人员培训等都已经完成，预计下半年开始进行组装生产，达产后可以实现设备产能翻番。

随着工艺不断进步，芯片结构越来越复杂，制程步骤也将越来越多，为了获取尽量高的晶圆良品率，在未来的半导体制造过程中，晶圆厂对于前道检测和测量设备的要求也将进一步提升。而天准科技作为国内半导体设备的深耕者，将始终坚持“要做就要做到最好”的初心，持续探索和突破高端前道检测技术，全力完成产品线全面布局，力争成为国内前道检测行业的领军企业。