9月2日,复享光学承担的上海市2022年度“科技创新行动计划”科学仪器领域项目《堆叠环栅晶体管(GAA-FET)制程量测拉曼光谱仪》获批立项。
面向先进制程,复享光学承担大型科学仪器研制项目
本次复享光学承担的项目,属于“科学仪器研制开发”专题项目。该项目基于共焦拉曼光谱,发展面向GAA-FET制程检测的拉曼光谱技术,探索在GAA-FET制备过程中多层纳米薄膜的厚度、应力、界面起伏、横向刻蚀和沟道载流子迁移率等关键参数的量测技术,形成一套具有重大产业应用前景的专业高端拉曼光谱设备。
通常来讲,大型科学仪器研发制造,要求承担单位具备坚实可靠的研发积累、制造工艺和应用经验。同时,大型科学仪器的研制还涉及多学科领域的大量基础研究,要求承担单位从技术原理出发,探索前沿科学,深入创新源头,才能形成原始技术突破,研制出创新型、突破型的高端科学仪器。
复享光学作为深度光谱技术创导者,始终回归光与物质的相互作用原理,十年专注光谱技术的研发与应用,在光谱模组产品的研制基础之上,先后向市场推出多款大型集成光谱系统,融合光学智能算法,解决了多项科研和先进制造中的复杂关键问题,是创新型光谱仪器的可靠的研制者。
在拉曼技术研发和应用领域,复享光学是国内较早研究拉曼技术的光学企业,已研发并向市场推出拉曼系列产品,涵盖拉曼检测模块和拉曼检测系统。尤其公司共焦光谱产品线中的gora系列显微共焦拉曼光谱系统,融合拉曼光谱技术与共焦技术,实现衍射极限下的空间分辨率,获取微观层面的物质成分和结构信息,是复享光学拉曼光谱技术的代表产品。复享光学共焦光谱产品线已申请数十项相关专利,获得上海市高新技术转化项目“显微共焦光谱系统”的认证,已服务于国内外众多高校和科研院所,获得良好的用户反馈。
立足行业尖端,复享光学建立先进制造装备世界品牌
科学仪器既是前沿科学研究的重要工具,也是集成电路等先进制造装备的重要组成部分。该项目面向集成电路下一代的3nm 及以下制程,基于拉曼光谱技术,开发针对GAA-FET制备过程多层纳米薄膜的量测设备,以保障芯片的最终良率,具有重大产业应用前景。
“一代制程,一代工艺,一代设备”,新一代GAA-FET制程即将打开新的全球技术格局,也将带来产业布局新的变化。随着制程不断推进,芯片制备过程中的量测工序大幅增加,精密量测技术对于良率控制的重要性已经不言而喻。其中,占据全部检测技术约70%的光学量测,是集成电路量测的关键,面临着巨大的机遇和挑战。
为响应半导体集成电路产业需求,需要建立多层次的研发平台。为此,复享光学成立了对接产业需求的“上海微纳制程智能检测工程技术研究中心”,并与复旦大学共同建立了致力于研究微纳制造前沿共性关键技术的“光检测与光集成校企联合研究中心”。
当前正处于GAA-FET技术规范形成的前期,复享光学携两个中心,主动参与全球产业技术的交流和竞争,抓住国内产业发展创造的市场空间和国际技术新老迭代的窗口机遇,通过深入产业供应链和承担重大政府专项,致力于在GAA-FET微纳制程量测领域取得重大突破,推动集成电路国产设备的跨越式发展。
同时,复享光学将以此为契机发展智能光谱技术,以深度算法为驱动,持续精研拉曼光谱、显微光谱、相位光谱、角分辨光谱等分析技术,通过以科研应用为基础和出发点,以产业需求为目标和落脚点,形成具有自主知识产权的高端科学检测仪器系列产品,参与全球技术迭代,建立光学领域的先进制造世界品牌。
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