网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

国产光刻机怎么没声音了?

0
分享至

首先要告诉大家的是:目前而言,我国最先进的光刻机依然是制程工艺节点为90纳米的步进扫描投影光刻机,至于制程工艺节点达到28纳米的浸没式DUV光刻机的各个部件仍在研发之中,估计不久之后就可以完成了,从而国产光刻机的性能也将进一步得到提升。在国产半导体产业链中,光刻机是唯一的短板,只要光刻机上去了像蚀刻机,离子注入机,光刻胶等都不是问题。所以说,如今光刻机已经成为制约我国半导体产业发展的唯一因素,只要解决了掣肘的光刻机,一切就都迎刃而解了。国内芯片的现状就目前而言,在不依赖国外技术的前提下,国内最先进的光刻机制程工艺节点是90纳米,在国外技术的支撑下,不依赖极紫外EUV光刻机时,可以将芯片的制程工艺推进至7纳米。不过美国已经对我国限制了12纳米以下芯片的生产。在去美国化时,国内目前的芯片最高的制程工艺也就是14纳米。14纳米的制程工艺芯片已经可以满足国内军工、工业、航天、航空、汽车的需求了。毕竟以上企业对芯片可靠性,耐高低温,抗辐射性能要求比较高,对制程工艺并没有那么苛刻的要求。对制程工艺要求比较高的就是手机和电脑所用芯片,这可是拼硬实力的。也就是说,即便是美国限制了12纳米以下制程工艺的芯片生产,但是也无可奈何国内工业的发展。

国内光刻机的现状上文提到了,依靠我国自主的技术,仅能制造出制程工艺节点为90纳米的光刻机,不过并这不意味着使用该光刻机只能制造制程工艺为90纳米的芯片,在经过多次曝光等步骤之后,芯片的制程工艺还会有进一步的提升。倘是如此,那也无法与极紫外EUV光刻机相比。而与光刻机有关的三大部件就是光源,透镜组,双工件台。只要解决了这三大部件,光刻机所面临的难题也就迎刃而解了,同时这三大部件也是光刻机中难度最高的,毕竟事关光学,超精密加工等等。我国光刻机的三大部件第一:光源目前来看,我国已经制造出来了适用于步进投影式DUV光刻机的第三代光源,也就是波长达到248纳米,重复频率为4000hz,功率为40瓦的氟化氪激光器。由于波长只有248纳米,也就自然无法用于极紫外EUV光刻机,毕竟极紫外EUV光刻机所用的光源波长为13.5纳米。第二:透镜组由于国内与光刻机有关的透镜或者反射镜的消息很少被披露出来,所以对于国内的物镜系统的有关进度是知之甚少。既然有了成熟可用的步进式投影式DUV光刻机,那么透镜系统就必然已经被制造出来了。不过,这只是透镜而不是反射镜,也无法用于极紫外EUV光刻机。

第三:双工件台双工件台也有现成的,那就是自主研发的DWS系列。该双工件台的平均运动偏差为4.5纳米,标准运动偏差为7纳米,最大速度为1.1米/秒,最大加速度为2.4g。正在研发DWSI系列,同样采用了磁悬浮平面电机驱动,不过换成了平面光栅干涉位移测量技术。在以上技术的加成下,就缩小了运动偏差,加速度,运动速度等数据。最终DWSI双工件台的平均运动偏差为2.5纳米,标准运动偏差为5纳米,最大速度为1.5米/秒,最大加速速度为3.2g。国际先进光刻机的现状国际最先进的光刻机制造厂家就是ASML,当然了极紫外EUV光刻机的部件是相当精密的,需要全球主要发达国家的支持。第一:光源ASML生产的极紫外EUV光刻机,采用了Cymer公司研发的波长为13.5纳米,功率为250W的激光等离子体光源。早期Cymer公司还属于美国,只不过最后被ASML收购了。

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
詹宁斯:KD是两届FMVP 如果他想的话他可以说他拯救了勇士

詹宁斯:KD是两届FMVP 如果他想的话他可以说他拯救了勇士

直播吧
2024-11-24 21:15:13
姚明一家三口现身慈善晚宴!女儿上台发言,留长发穿黑裙落落大方

姚明一家三口现身慈善晚宴!女儿上台发言,留长发穿黑裙落落大方

裕丰娱间说
2024-11-24 16:33:27
伊朗留学生被暴打带走后续:喀大办延签针对中国学生,挑衅俄特警

伊朗留学生被暴打带走后续:喀大办延签针对中国学生,挑衅俄特警

飞花文史
2024-11-23 15:00:27
魔兽世界:硬核服第3天就凉?雷火公布吃席人数,60级人气破百万

魔兽世界:硬核服第3天就凉?雷火公布吃席人数,60级人气破百万

胖哥游戏说
2024-11-24 15:41:12
可控核聚变:板块涨幅超 11% 前景广阔

可控核聚变:板块涨幅超 11% 前景广阔

和讯网
2024-11-24 22:18:19
孔子姓什么?这是公务员考试中一道简单的送分题,竟难倒众多考生

孔子姓什么?这是公务员考试中一道简单的送分题,竟难倒众多考生

何为惠
2024-11-24 16:26:25
4:0张本智和,夺冠的王楚钦能拿多少奖金?上交乒协后还剩多少?

4:0张本智和,夺冠的王楚钦能拿多少奖金?上交乒协后还剩多少?

东球弟
2024-11-24 16:16:33
不敢直视!向佐直播换多套女装太辣眼,网友:郭碧婷这人不简单!

不敢直视!向佐直播换多套女装太辣眼,网友:郭碧婷这人不简单!

圈里的甜橙子
2024-11-24 16:26:23
749局高人揭秘:人死后大概率轮回为畜生,活人进入轮回永不超生

749局高人揭秘:人死后大概率轮回为畜生,活人进入轮回永不超生

飞云如水
2024-11-16 13:10:04
“原来这才是普通家庭的真实存款啊!” 网友:我已经开始花老本了

“原来这才是普通家庭的真实存款啊!” 网友:我已经开始花老本了

有趣的火烈鸟
2024-11-24 17:53:13
隐瞒28年后,杨钰莹终于坦白:如果当年接受毛宁,现在早就当妈了

隐瞒28年后,杨钰莹终于坦白:如果当年接受毛宁,现在早就当妈了

简读视觉
2024-11-24 22:48:29
蓝鹰起飞!拉齐奥本赛季意甲前13轮9胜,追平队史同期胜场纪录

蓝鹰起飞!拉齐奥本赛季意甲前13轮9胜,追平队史同期胜场纪录

直播吧
2024-11-25 07:02:14
威少70%出场时间紧随约基奇收奇效 三届MVP适配性真乃历史级

威少70%出场时间紧随约基奇收奇效 三届MVP适配性真乃历史级

直播吧
2024-11-24 18:06:30
FIFA第15保送世界杯:22-2太恐怖!若送印尼3分,国足或垫底出局

FIFA第15保送世界杯:22-2太恐怖!若送印尼3分,国足或垫底出局

侃球熊弟
2024-11-25 05:50:03
4岁男孩被大货车拦腰碾压分离,一群医生把他“接”上了,男孩一年后已可以自己走路,入学幼儿园

4岁男孩被大货车拦腰碾压分离,一群医生把他“接”上了,男孩一年后已可以自己走路,入学幼儿园

观威海
2024-10-26 18:18:25
美国妹子在Costco发现1款钻石手链价格好到离谱!她求助网友:这是骗局吧?!

美国妹子在Costco发现1款钻石手链价格好到离谱!她求助网友:这是骗局吧?!

北美省钱快报
2024-11-25 02:58:44
潮州多家店铺为逃避检查关门?官方:没这回事,个别商户自身原因

潮州多家店铺为逃避检查关门?官方:没这回事,个别商户自身原因

柚子新媒
2024-11-23 15:47:46
俄军一发中导入魂,西方国家冷静后发现,中国东风-27还要更恐怖

俄军一发中导入魂,西方国家冷静后发现,中国东风-27还要更恐怖

影孖看世界
2024-11-24 19:06:14
独揽17分率队轰3比0!女排新王牌主攻崛起,国家队主攻线大洗牌?

独揽17分率队轰3比0!女排新王牌主攻崛起,国家队主攻线大洗牌?

体坛知道分子
2024-11-25 06:15:03
复盘阿莫林首秀:一场变换三阵型 曼联成无米之炊 冬窗继续豪购?

复盘阿莫林首秀:一场变换三阵型 曼联成无米之炊 冬窗继续豪购?

狍子歪解体坛
2024-11-25 03:45:01
2024-11-25 07:20:49
刘园爱美食
刘园爱美食
美食记录
477文章数 1239关注度
往期回顾 全部

科技要闻

“这是中国的非凡机遇,德日远远落后了”

头条要闻

媒体:特朗普点将完毕 对华政策方面其团队群"鹰"荟萃

头条要闻

媒体:特朗普点将完毕 对华政策方面其团队群"鹰"荟萃

体育要闻

卡文迪什:公路自行车传奇谢幕

娱乐要闻

窦靖童演唱会:王菲助阵,谢霆锋助唱

财经要闻

特朗普任免对市场有何影响?券商研判

汽车要闻

尊界S800首张官图发布 双色车身"尊的"很亮

态度原创

教育
数码
时尚
手机
军事航空

教育要闻

为什么学霸偏爱物化生?地理的“偶然性”,究竟劝退了谁

数码要闻

荣耀300系列续航被确认:标配5300mAh+100W快充,无线快充未缺席

43岁宋慧乔的状态,我的梦

手机要闻

OPPO Reno13系列发布前瞻:外观、配置、影像、续航基本都清晰了

军事要闻

泽连斯基:俄乌冲突完全有可能在2025年结束

无障碍浏览 进入关怀版