1.8亿！四家国产半导体设备商成立合资公司

据企查查信息，近期，广州中科共芯半导体技术合伙企业（有限合伙）（以下简称“中科共芯”）成立，注册资金1.80亿元人民币。

中科共芯经营范围包括半导体分立器件制造和销售；集成电路芯片设计及服务、产品制造和销售；集成电路设计、制造和销售；电子元器件制造、批发、零售；电力电子元器件制造、销售；电子专用设备销售等。

值得一提的是，中科共芯是由拓荆科技股份有限公司（以下简称“拓荆科技”）、珠海中科飞测科技有限公司（以下简称“珠海中科飞测”）、江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）、盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”）联合成立的合资公司， 上述四家股东均为国产半导体设备厂商。

从股权结构来看，中科共芯的执行事务合伙人为广州中科齐芯半导体科技有限责任公司，持股0.0555%；拓荆科技、珠海中科飞测、微导纳米均持股27.7624%，盛美上海持股16.6574%。

资料显示，拓荆科技主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，产品已广泛应用于集成电路晶圆制造，以及TSV封装、光波导、Micro-LED、OLED显示等新技术领域。目前，拓荆科技部分产品已适配国内28/14nm逻辑芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128层3DNANDFLASH晶圆制造产线，并成功实现产业化应用或验证。

珠海中科飞测是深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“深圳中科飞测”）的全资子公司。深圳中科飞测成立于2014年，是国内高端半导体检测和量测设备厂商，目前公司已成功推出了无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备等产品，可被广泛应用于28nm及以上制程集成电路制造和先进封装环节。

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。

据官方信息，微导纳米是国内首家成功将量产型High-k 原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司。据悉，2023年上半年，微导纳米通过原有的薄膜沉积类产品研发、推广和产业化的经验，成功推出了半导体集成电路薄膜沉积CVD产品，已在客户端验证。

盛美上海是一家半导体设备制造商，主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。目前公司研发的SAPS、TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，可应用于45nm及以下技术节点的晶圆清洗领城。目前，该公司PECVD设备研发进展顺利。