网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
1976年,邓颖超去天安门广场散步,有个老人的橘子,引起她的注意

1976年,邓颖超去天安门广场散步,有个老人的橘子,引起她的注意

简史档案馆
2024-12-07 10:10:06
向佐浓妆穿女装带货受关注首场卖出5千万,仅次“与辉同行”

向佐浓妆穿女装带货受关注首场卖出5千万,仅次“与辉同行”

大象新闻
2024-12-06 14:56:37
拜登怕啥来啥,俄罗斯发出国际逮捕令,不到24小时,俄美互通电话

拜登怕啥来啥,俄罗斯发出国际逮捕令,不到24小时,俄美互通电话

明月历史说
2024-12-06 09:24:59
看完广州电动车的现状,就明白了上面整治电动车新规的良苦用心!

看完广州电动车的现状,就明白了上面整治电动车新规的良苦用心!

涵豆说历史
2024-12-07 08:56:19
54岁布吕尼赤裸上身晒美背,丈夫萨科齐为她拍照,风流夫妻挺会玩

54岁布吕尼赤裸上身晒美背,丈夫萨科齐为她拍照,风流夫妻挺会玩

再遇历史
2024-12-07 14:03:24
全网疯传“高铁上插花视频”:这种畸形仪式感,正在祸害中国女生

全网疯传“高铁上插花视频”:这种畸形仪式感,正在祸害中国女生

小故事娱乐
2024-12-04 16:42:02
需要为梅西在香港没上场负责人的杨润雄被免职!

需要为梅西在香港没上场负责人的杨润雄被免职!

历史第一人梅西
2024-12-06 18:18:13
好色厂长李洪梅:包养百名舞蹈女生,伙同情妇蛀空亿元国企

好色厂长李洪梅:包养百名舞蹈女生,伙同情妇蛀空亿元国企

老黄有话
2023-12-06 08:00:03
三倍做多中国指数大涨!盘后再传重磅利好,下周A股或继续大涨!

三倍做多中国指数大涨!盘后再传重磅利好,下周A股或继续大涨!

云姐财说
2024-12-07 10:53:02
黄晓明4天传2个噩耗,Angelababy和任达华一家看比赛,美貌太出众

黄晓明4天传2个噩耗,Angelababy和任达华一家看比赛,美貌太出众

古希腊掌管月桂的神
2024-12-05 09:27:20
26岁研究生勾引三位食堂阿姨,只为省一日三餐饭钱

26岁研究生勾引三位食堂阿姨,只为省一日三餐饭钱

书画艺术收藏
2024-12-01 19:30:03
“重磅炸弹”响彻乌全境?普京出手震动全球,没料到俄还藏了一手

“重磅炸弹”响彻乌全境?普京出手震动全球,没料到俄还藏了一手

傲气经说
2024-12-06 11:48:44
NBL官方转发哈雷尔社媒并配文:他已经准备就绪

NBL官方转发哈雷尔社媒并配文:他已经准备就绪

雷速体育
2024-12-06 17:36:46
2024年第一个被灭亡的国家,俄乌冲突的牺牲品,全国已成空城

2024年第一个被灭亡的国家,俄乌冲突的牺牲品,全国已成空城

看世界的人
2024-12-02 20:28:53
离婚4年后首次合体,承认离婚不离家,网友喊话:李行亮快学学!

离婚4年后首次合体,承认离婚不离家,网友喊话:李行亮快学学!

小迩侃事
2024-12-05 13:50:12
曝苹果将与百度合作 国行版iPhone接入Ernie4.0 AI大模型

曝苹果将与百度合作 国行版iPhone接入Ernie4.0 AI大模型

PConline太平洋科技
2024-12-05 17:15:16
45岁侯佩岑37岁papi酱同框,一个贵气老钱风一个简约温柔,都美

45岁侯佩岑37岁papi酱同框,一个贵气老钱风一个简约温柔,都美

明星私服穿搭daily
2024-12-07 12:09:14
重返世界第3,诺基亚第三季度狂赚300多亿!新机型被抢到断货

重返世界第3,诺基亚第三季度狂赚300多亿!新机型被抢到断货

古今历史记
2024-12-05 16:53:01
这2处发麻,可能是脑梗前兆,5个动作教你预防脑梗!

这2处发麻,可能是脑梗前兆,5个动作教你预防脑梗!

华人星光
2024-11-27 15:04:11
网红猴哥老婆长期一人在家,称自己是三十如狼四十如虎的年纪

网红猴哥老婆长期一人在家,称自己是三十如狼四十如虎的年纪

开茶谈
2024-12-04 15:56:09
2024-12-07 15:19:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4592405文章数 542639关注度
往期回顾 全部

科技要闻

OpenAI“强化微调”:CEO:今年最大惊喜

头条要闻

"鸿茅药酒事件"当事人突发心梗:收入锐减 生活窘迫

头条要闻

"鸿茅药酒事件"当事人突发心梗:收入锐减 生活窘迫

体育要闻

昔日“最强00后”,还能兑现天赋吗?

娱乐要闻

刚和好又来?李行亮又试图激怒麦琳

财经要闻

时隔半年,央行再增持黄金!

汽车要闻

银河星舰7 EM-i上市 先享价9.98-13.28万元

态度原创

家居
艺术
房产
游戏
公开课

家居要闻

百年之居 打造四世同堂宜居空间

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

房产要闻

聚力・向前|网易房产年末特别策划:2024房产大事记

《鬼谷八荒》移动端反向跳票:定档12月21日发售

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

无障碍浏览 进入关怀版