网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
涞水一家六口去年被洪水冲走,一救援队队长收15万元帮寻人后却“消失”

涞水一家六口去年被洪水冲走,一救援队队长收15万元帮寻人后却“消失”

红星新闻
2024-12-04 23:59:09
中国汽车芯片联盟发布白名单2.0,覆盖超1800款产品

中国汽车芯片联盟发布白名单2.0,覆盖超1800款产品

环球网资讯
2024-12-04 10:21:12
郑州货车司机高架遇检查跳桥身亡,官方:确认死亡,舆论反转了!

郑州货车司机高架遇检查跳桥身亡,官方:确认死亡,舆论反转了!

涵豆说历史
2024-12-05 15:48:06
大量人员要求退社保,这种现象应该引起重视!

大量人员要求退社保,这种现象应该引起重视!

逍遥论经
2024-10-30 09:19:26
马龙结束台湾行!粉丝:龙队救我一命 日本网友:美男计征服台湾

马龙结束台湾行!粉丝:龙队救我一命 日本网友:美男计征服台湾

念洲
2024-12-05 06:37:28
第四艘航母,这次真的来了,关于核动力,海军上将一锤定音

第四艘航母,这次真的来了,关于核动力,海军上将一锤定音

常高俊April工作室
2024-12-05 09:38:44
越南内部传出消息,想要拿下南北高铁项目,必须同意技术转让

越南内部传出消息,想要拿下南北高铁项目,必须同意技术转让

现代小青青慕慕
2024-12-05 07:06:26
比特币一度涨至10万美元附近!这家公司清仓所持加密货币,净赚5.71亿元!鲍威尔:比特币的竞争对手是......

比特币一度涨至10万美元附近!这家公司清仓所持加密货币,净赚5.71亿元!鲍威尔:比特币的竞争对手是......

每日经济新闻
2024-12-05 09:42:40
广州“最旺”的商场之一,已有近30年历史,却被认为已经有些老旧

广州“最旺”的商场之一,已有近30年历史,却被认为已经有些老旧

刘小顺
2024-12-05 12:45:03
银行取钱新规已开始执行,存款人死亡后,亲属取款“限额提高”

银行取钱新规已开始执行,存款人死亡后,亲属取款“限额提高”

二月侃史
2024-12-05 11:29:21
小米SUV内饰渲染图曝光:全景HUD有点帅 紫橘双配色

小米SUV内饰渲染图曝光:全景HUD有点帅 紫橘双配色

手机中国
2024-12-04 13:57:10
为什么汉服活动中很少有男生参与?网友分析一针见血,评论笑麻了

为什么汉服活动中很少有男生参与?网友分析一针见血,评论笑麻了

滑稽斑马呀
2024-12-04 15:42:40
离谱了!多名警务人员违规查询个人信息被判刑,网友:难怪有诈骗!

离谱了!多名警务人员违规查询个人信息被判刑,网友:难怪有诈骗!

阿伧说事
2024-12-05 14:41:13
被曝出事 很多妈妈都在吃的网红“保健品”没效果还可能导致肝损伤

被曝出事 很多妈妈都在吃的网红“保健品”没效果还可能导致肝损伤

年糕妈妈说育儿
2024-12-05 10:41:34
残暴最终还是让步于文明!内塔尼亚胡躺着喜摘胜利果实

残暴最终还是让步于文明!内塔尼亚胡躺着喜摘胜利果实

大风文字
2024-12-04 18:27:38
21场输5场!皇马低迷的原因找到了,罪魁祸首并非姆巴佩,太意外

21场输5场!皇马低迷的原因找到了,罪魁祸首并非姆巴佩,太意外

侃球熊弟
2024-12-05 06:48:29
尺度太生猛,Netflix把A片之王搬上了荧幕

尺度太生猛,Netflix把A片之王搬上了荧幕

美剧院线
2024-11-28 22:52:32
混团世界杯12月5日:强度提升,国乒连战韩国香港(附比赛时间)

混团世界杯12月5日:强度提升,国乒连战韩国香港(附比赛时间)

聊体育的小哥
2024-12-05 05:07:29
37岁李易峰现状:又胖又秃颜值崩塌,性需求太大女朋友控制不住

37岁李易峰现状:又胖又秃颜值崩塌,性需求太大女朋友控制不住

橘子大娱社
2024-12-03 20:55:03
民调显示73.6%的韩国民众赞成弹劾尹锡悦

民调显示73.6%的韩国民众赞成弹劾尹锡悦

财联社
2024-12-05 15:12:06
2024-12-05 16:35:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4545111文章数 542618关注度
往期回顾 全部

科技要闻

美国加大制裁之时 中国半导体出口破万亿

头条要闻

韩媒:李在明堪称"闹剧"最大赢家 可展望下届总统位子

头条要闻

韩媒:李在明堪称"闹剧"最大赢家 可展望下届总统位子

体育要闻

姆巴佩道歉:为失利负全责 丢点是巨大错误

娱乐要闻

琼瑶尸检结果:一氧化碳中毒窒息而亡

财经要闻

代表青春的人人网,怎么“又”凉了?

汽车要闻

表现够全能 柴油版二代哈弗H9或许更适合家用

态度原创

亲子
时尚
健康
数码
家居

亲子要闻

这是家长来了啊,开家长会,小舅舅可以去吗?

这些穿搭好适合50岁的女性,简约又高级,这样搭配时尚有质感

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

数码要闻

三星AR眼镜配置曝光 集成谷歌Gemini 售价3000左右?

家居要闻

舒适优雅 打造从容舒适的居家氛围

无障碍浏览 进入关怀版