网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
作家琼瑶去世,五天前发文,回忆亡夫,暗示对方子女对自己不孝!

作家琼瑶去世,五天前发文,回忆亡夫,暗示对方子女对自己不孝!

奇思妙想草叶君
2024-12-04 23:54:18
战况突变,美俄欲联手打击叙利亚反政府武装

战况突变,美俄欲联手打击叙利亚反政府武装

史政先锋
2024-12-04 15:23:23
华为何刚:Mate70每一颗芯片都有国产的能力!网友:确实强得飞起

华为何刚:Mate70每一颗芯片都有国产的能力!网友:确实强得飞起

老方
2024-12-05 09:49:56
因说“中国台北”,大陆访台团要被罚?陆委会:5年内不得入台湾

因说“中国台北”,大陆访台团要被罚?陆委会:5年内不得入台湾

梦史
2024-12-05 10:33:04
毛岸青和毛新宇父子的合影,爷俩都穿着白衬衣,毛新宇一脸孩子气

毛岸青和毛新宇父子的合影,爷俩都穿着白衬衣,毛新宇一脸孩子气

大江
2024-12-04 16:38:38
范冰冰国外越穿越大胆,把珍珠项链当衣服,头顶水晶灯还能发光

范冰冰国外越穿越大胆,把珍珠项链当衣服,头顶水晶灯还能发光

南城无双
2024-12-05 01:08:20
四川14名干部履新

四川14名干部履新

金台资讯
2024-12-05 14:48:26
穷人根本无法体面过冬

穷人根本无法体面过冬

椰青美食分享
2024-12-04 14:08:20
父亲去世20年,从不联系的舅舅忽然打来电话,我:有多远滚多远!

父亲去世20年,从不联系的舅舅忽然打来电话,我:有多远滚多远!

岁月静好2023
2024-12-05 09:54:24
2024中国数学奥林匹克揭榜:近半数国集队成员来自猿辅导

2024中国数学奥林匹克揭榜:近半数国集队成员来自猿辅导

北青网-北京青年报
2024-12-04 15:44:08
村民借举报村干部获流量卖大量涉无证生产酒类 广东乐从镇通报

村民借举报村干部获流量卖大量涉无证生产酒类 广东乐从镇通报

新京报
2024-12-05 13:03:14
终于回来了!山西签回法耶,防守+篮板获重大补强,预计本周复出

终于回来了!山西签回法耶,防守+篮板获重大补强,预计本周复出

篮球资讯达人
2024-12-05 13:26:32
告别!篮球网红放弃CBA体测无缘职业,原东家四川队:业余球员

告别!篮球网红放弃CBA体测无缘职业,原东家四川队:业余球员

林小湜体育频道
2024-12-04 15:27:00
纪实:13岁女孩怀孕,DNA鉴定与副校长吻合,判刑七年后竟是冤案

纪实:13岁女孩怀孕,DNA鉴定与副校长吻合,判刑七年后竟是冤案

五元讲堂
2024-10-31 15:22:03
大学最稳的4个专业,就业率达到95%以上,平均月薪过万

大学最稳的4个专业,就业率达到95%以上,平均月薪过万

教育导向分享
2024-12-02 21:03:48
罗翔老师:当你沉溺于低级快乐,你其实所沉溺的是动物的快乐

罗翔老师:当你沉溺于低级快乐,你其实所沉溺的是动物的快乐

清风拂心
2024-11-23 15:30:03
三叔是高官,父亲从来不向外人提起他,母亲被打伤后父亲提起了他

三叔是高官,父亲从来不向外人提起他,母亲被打伤后父亲提起了他

乔生桂
2024-11-09 14:57:28
军装已脱就别去打扰了,退伍老兵重返营区逗留现象当止!

军装已脱就别去打扰了,退伍老兵重返营区逗留现象当止!

猫小狸同学
2024-12-04 14:55:02
《黑白森林》首播拿下9.6分,看了4集后,我要说:这部刑侦剧必爆

《黑白森林》首播拿下9.6分,看了4集后,我要说:这部刑侦剧必爆

崽下愚乐圈
2024-12-05 11:07:55
山寨版四大天王齐聚!黎明模仿者细节到位,郭富城扮演者身高最像

山寨版四大天王齐聚!黎明模仿者细节到位,郭富城扮演者身高最像

裕丰娱间说
2024-12-03 22:59:43
2024-12-05 17:19:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4547707文章数 542618关注度
往期回顾 全部

科技要闻

苹果引入文心一言,客户隐私或成合作阻碍

头条要闻

低俗网红被封禁15天遭网友质疑"处罚太轻" 快手回应

头条要闻

低俗网红被封禁15天遭网友质疑"处罚太轻" 快手回应

体育要闻

姆巴佩道歉:为失利负全责 丢点是巨大错误

娱乐要闻

琼瑶尸检结果:一氧化碳中毒窒息而亡

财经要闻

代表青春的人人网,怎么“又”凉了?

汽车要闻

2.4T+9AT+四驱 哈弗H9柴油版起售

态度原创

家居
房产
艺术
健康
数码

家居要闻

舒适优雅 打造从容舒适的居家氛围

房产要闻

4.61亿!天价成交背后,看「侨鑫现象」再定义“最好的房子”

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

数码要闻

REDMI科普OLED DC和LCD DC区别:两者调光原理一致

无障碍浏览 进入关怀版