网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
消失三年的赵薇:悼念琼瑶现身告别仪式,她的跌落一直都有迹可循

消失三年的赵薇:悼念琼瑶现身告别仪式,她的跌落一直都有迹可循

肆时说
2024-12-05 22:35:44
英伟达在越南建研发中心,你以为黄仁勋看中了越南人才和市场吗?

英伟达在越南建研发中心,你以为黄仁勋看中了越南人才和市场吗?

橘色数码
2024-12-07 08:31:44
墨西哥想把中企赶出去,本以为中企会求着别赶,没想到事情全变了

墨西哥想把中企赶出去,本以为中企会求着别赶,没想到事情全变了

星辰故事屋
2024-12-02 18:21:39
微信显示图片过期了怎么恢复?原来点一下这里就可以了,简单实用

微信显示图片过期了怎么恢复?原来点一下这里就可以了,简单实用

山东教育信息
2024-12-01 21:12:45
想念范尼!曼联2-3主场挨揍 阿莫林带队场均1分 创30年耻辱纪录

想念范尼!曼联2-3主场挨揍 阿莫林带队场均1分 创30年耻辱纪录

狍子歪解体坛
2024-12-08 03:25:33
闹大了!2国突然出手,逼中方“低头”?解放军不再口头警告

闹大了!2国突然出手,逼中方“低头”?解放军不再口头警告

傲气经说
2024-12-04 12:00:15
齐秦苏州演唱会,人都胖成什么样了,唱的太痛苦了,观众都吓傻了

齐秦苏州演唱会,人都胖成什么样了,唱的太痛苦了,观众都吓傻了

春序史
2024-12-03 15:17:02
64岁齐秦亮相苏州演唱会,发福变胖,身材走样,断崖式衰老引辛酸

64岁齐秦亮相苏州演唱会,发福变胖,身材走样,断崖式衰老引辛酸

娱圈小愚
2024-12-06 08:51:51
再挖《我是刑警》原型周克华:临死前说了4个字,被击毙纯属偶然

再挖《我是刑警》原型周克华:临死前说了4个字,被击毙纯属偶然

头号剧委会
2024-12-07 12:30:33
尹锡悦逃过了弹劾,但变成“植物人总统”?

尹锡悦逃过了弹劾,但变成“植物人总统”?

中国新闻周刊
2024-12-07 22:22:06
10连胜!国乒8-1罗马尼亚进混团世界杯决赛,今晚19点冲击冠军

10连胜!国乒8-1罗马尼亚进混团世界杯决赛,今晚19点冲击冠军

直播吧
2024-12-08 11:23:18
加拿大气急败坏?出口商已乱成一锅粥,看了这一串数字就明白了

加拿大气急败坏?出口商已乱成一锅粥,看了这一串数字就明白了

头条爆料007
2024-12-07 18:46:28
巴黎圣母院“重生”--- 53亿元打造的惊艳

巴黎圣母院“重生”--- 53亿元打造的惊艳

逍遥史记
2024-12-07 11:54:49
证监会看不下去了!12月8日,今日凌晨四大消息全面发酵!

证监会看不下去了!12月8日,今日凌晨四大消息全面发酵!

风口招财猪
2024-12-08 02:07:03
马斯克刷屏!身价突破3600亿美元,美银力挺特斯拉:目标价上调至400美元!

马斯克刷屏!身价突破3600亿美元,美银力挺特斯拉:目标价上调至400美元!

每日经济新闻
2024-12-08 07:18:06
大疆这公司可真是把美国人给整头疼了,罚了 20 亿,结果人家一分钱都不掏

大疆这公司可真是把美国人给整头疼了,罚了 20 亿,结果人家一分钱都不掏

扬子的故事屋
2024-11-24 12:02:56
12月:住建部大招来了,今年起,房龄24年的老房子将统一这样处理

12月:住建部大招来了,今年起,房龄24年的老房子将统一这样处理

巢客HOME
2024-12-07 08:55:03
剧毒!广东一市民等红灯时,路边花基突然钻出一条眼镜王蛇

剧毒!广东一市民等红灯时,路边花基突然钻出一条眼镜王蛇

极目新闻
2024-12-08 12:48:42
性张力拉满,这三部颜值剧值得一看

性张力拉满,这三部颜值剧值得一看

美剧院线
2024-12-06 22:45:11
主动发声!邓利维引爆联盟,出其不意的交易,恐助库里争夺总冠军

主动发声!邓利维引爆联盟,出其不意的交易,恐助库里争夺总冠军

体育大朋说
2024-12-07 21:58:49
2024-12-08 14:39:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4600167文章数 542648关注度
往期回顾 全部

科技要闻

阿里合伙人樊路远内网道歉 自罚三个月工资

头条要闻

71岁的李毓全被开除党籍 一“老下属”上月刚被查

头条要闻

71岁的李毓全被开除党籍 一“老下属”上月刚被查

体育要闻

39岁皇马大师表演:20米仙人指路 策动2球

娱乐要闻

尖叫之夜这所有的丑造型,都是故意的吧…

财经要闻

马斯克身价暴增 美银力挺特斯拉

汽车要闻

东风本田全新新能源工厂首开放

态度原创

旅游
健康
艺术
手机
军事航空

旅游要闻

DNA动了!多景区官宣:免票、半价

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

手机要闻

苹果第二,vivo第五,传音第六,集邦咨询Q3报告出炉

军事要闻

叙军方称总统阿萨德的统治已经结束

无障碍浏览 进入关怀版