网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
正式官宣!CBA超级外援赛季报销,确定离开球队,名帅遭遇质疑

正式官宣!CBA超级外援赛季报销,确定离开球队,名帅遭遇质疑

体坛瞎白话
2024-12-08 09:17:20
“杜马之争”的胜负已分!

“杜马之争”的胜负已分!

星辰故事屋
2024-12-07 20:09:31
罕见表态!国家突然力挺燃油车,释放什么信号?

罕见表态!国家突然力挺燃油车,释放什么信号?

前瞻网
2024-12-06 09:39:11
军阀杨森喝醉了,把干儿女当姨太太,抱着她宠幸一晚,第二天醒来

军阀杨森喝醉了,把干儿女当姨太太,抱着她宠幸一晚,第二天醒来

梦里大唐
2024-12-06 17:26:38
别光盯着俄乌了!美防长爆出猛料,中方拦截失败?破船留不得了

别光盯着俄乌了!美防长爆出猛料,中方拦截失败?破船留不得了

傲气经说
2024-12-05 11:55:23
老人二婚后第一次同房有什么感受?62岁阿姨直言:他给我太多惊喜

老人二婚后第一次同房有什么感受?62岁阿姨直言:他给我太多惊喜

烙任情感
2024-12-08 11:38:56
故事:明年是蛇年,双春闰月加青蛇,这3种人要穿红,千万不可忽视

故事:明年是蛇年,双春闰月加青蛇,这3种人要穿红,千万不可忽视

红豆讲堂
2024-11-14 10:46:35
20张身边事物对比图,证明真的是没有对比就没有伤害!

20张身边事物对比图,证明真的是没有对比就没有伤害!

猫小狸同学
2024-12-07 17:35:03
美民调:大陆若对台动武,七成以上美国人将支持“台独”

美民调:大陆若对台动武,七成以上美国人将支持“台独”

现代小青青慕慕
2024-12-08 07:31:04
哈佛大学耗时75年研究发现:活得最幸福的,都是这类人

哈佛大学耗时75年研究发现:活得最幸福的,都是这类人

诗词中国
2024-12-07 13:46:28
阿萨德政权一夜间垮台,跟中国的合作怎么办?

阿萨德政权一夜间垮台,跟中国的合作怎么办?

邬所不言
2024-12-08 23:01:17
全球商界1号黄仁勋在东南亚干啥?被超千万高级芯片需求逼疯了

全球商界1号黄仁勋在东南亚干啥?被超千万高级芯片需求逼疯了

邵旭峰域
2024-12-08 10:53:36
叙利亚阿萨德政权,完了

叙利亚阿萨德政权,完了

老鱼有话说
2024-12-08 10:24:29
新婚夜妻子出上联:“雨过天晴双峰秀”,丈夫对下联让她脸红心跳

新婚夜妻子出上联:“雨过天晴双峰秀”,丈夫对下联让她脸红心跳

长风文史
2024-12-02 19:00:03
知名女星被霸凌?剧组声明:已开除相关人员……

知名女星被霸凌?剧组声明:已开除相关人员……

鲁中晨报
2024-12-07 20:25:13
天津“碰瓷王”杜大娘,纵横天津10多年无一败绩,如今她怎样了?

天津“碰瓷王”杜大娘,纵横天津10多年无一败绩,如今她怎样了?

汉史趣闻
2024-12-06 10:26:45
形势到底有多严峻?天呢!上海已经刷新国人的认知…

形势到底有多严峻?天呢!上海已经刷新国人的认知…

慧翔百科
2024-11-21 12:03:47
一个女人能装到什么程度?网友分享让我笑裂开了

一个女人能装到什么程度?网友分享让我笑裂开了

美好客栈大掌柜
2024-12-09 00:10:03
随着叙利亚国家的变局,库尔德人的建国之梦是否能够迎来曙光?

随着叙利亚国家的变局,库尔德人的建国之梦是否能够迎来曙光?

白宸侃片
2024-12-09 04:07:55
14亿人都不会忘却!揭开核酸大王张核子的真面具:权力变现大师

14亿人都不会忘却!揭开核酸大王张核子的真面具:权力变现大师

文史颜如玉
2024-10-21 08:00:09
2024-12-09 05:24:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4600527文章数 542659关注度
往期回顾 全部

科技要闻

马云现身蚂蚁20周年现场罕见演讲

头条要闻

特朗普:阿萨德离开了 俄罗斯再也没有兴趣保护他了

头条要闻

特朗普:阿萨德离开了 俄罗斯再也没有兴趣保护他了

体育要闻

30岁临时工被裁员 NBA的人情与现实

娱乐要闻

陈妍希父亲去世:陈晓未回应引争议

财经要闻

马斯克身价暴增 美银力挺特斯拉

汽车要闻

东风本田全新新能源工厂首开放

态度原创

教育
游戏
旅游
时尚
房产

教育要闻

简单易懂!从头到尾捋清楚论文这点事!小白放心听,包会~

钢岚:送的精选元件自选箱该选啥?送的这个真就有点太保守了?

旅游要闻

DNA动了!多景区官宣:免票、半价

钟楚曦的赫本风,轻轻地秒了

房产要闻

聚力・向前|网易房产年末特别策划:2024房产大事记

无障碍浏览 进入关怀版