网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
蒋经国走出郭汝瑰家,叹气道:官员都像郭汝瑰一样,党国就有救了

蒋经国走出郭汝瑰家,叹气道:官员都像郭汝瑰一样,党国就有救了

历史龙元阁
2024-12-07 16:11:24
斯诺克新王诞生!31-28,吴宜泽终结者破荒,20岁新人输3分丢冠!

斯诺克新王诞生!31-28,吴宜泽终结者破荒,20岁新人输3分丢冠!

刘姚尧的文字城堡
2024-12-08 07:08:34
我42岁离婚后做了个重大决定:除了父母孩子,不再主动关心任何人

我42岁离婚后做了个重大决定:除了父母孩子,不再主动关心任何人

小马达情感故事
2024-12-08 13:45:03
西部排名又乱了:独行侠创NBA奇迹,灰熊冲到第3,掘金掉到第9

西部排名又乱了:独行侠创NBA奇迹,灰熊冲到第3,掘金掉到第9

篮球大视野
2024-12-08 15:17:15
外媒高度关注叙利亚总统去向,各方说法不一

外媒高度关注叙利亚总统去向,各方说法不一

环球网资讯
2024-12-08 13:24:04
里程悲+1!约基奇生涯总得分来到14704 升至掘金队史第二

里程悲+1!约基奇生涯总得分来到14704 升至掘金队史第二

直播吧
2024-12-08 11:44:43
90多年前,东北人是这样生活的!30张彩色老照片,太真实了

90多年前,东北人是这样生活的!30张彩色老照片,太真实了

书中自有颜如玉
2024-12-07 21:06:38
张柏芝谢贤官宣?三胎谢贤的,深夜接她回家?港媒在侮辱我的智商

张柏芝谢贤官宣?三胎谢贤的,深夜接她回家?港媒在侮辱我的智商

地宫丝绒娱乐
2024-12-08 12:46:10
菲律宾大举围住黄岩岛,企图强冲登岛,不料遭7000吨级船舰包抄

菲律宾大举围住黄岩岛,企图强冲登岛,不料遭7000吨级船舰包抄

常高俊April工作室
2024-12-08 11:23:28
郑州躲避检查跳桥司机家属发声:年仅31岁有2个孩子,刚上班4天

郑州躲避检查跳桥司机家属发声:年仅31岁有2个孩子,刚上班4天

Mr王的饭后茶
2024-12-08 11:17:29
降准降息来了!今日凌晨的三大消息全面袭来(12.8)!

降准降息来了!今日凌晨的三大消息全面袭来(12.8)!

风口招财猪
2024-12-08 01:59:56
很佩服那位供应商的勇气

很佩服那位供应商的勇气

贩财局
2024-11-27 20:49:05
想套路中国没门!越南高铁:没有一家投标,终于着急了

想套路中国没门!越南高铁:没有一家投标,终于着急了

星辰大海路上的种花家
2024-12-07 12:10:38
上海交大小鹿疑似被动物攻击致一死一伤

上海交大小鹿疑似被动物攻击致一死一伤

环球网资讯
2024-12-08 14:56:21
1983年,越南当局中了中国反间计,在柬埔寨搞肃反,杀了多少人

1983年,越南当局中了中国反间计,在柬埔寨搞肃反,杀了多少人

老黄有话
2024-12-03 08:00:02
阿萨德将辞职:叙利亚问题的决定已做出。公告将于 12 月 8 日发布。

阿萨德将辞职:叙利亚问题的决定已做出。公告将于 12 月 8 日发布。

暖心的小屋
2024-12-08 10:38:47
活不下去!广州外卖小哥叫苦连天:"电鸡"限速15公里,一天白干!

活不下去!广州外卖小哥叫苦连天:"电鸡"限速15公里,一天白干!

说点真嘞叭
2024-12-07 09:59:45
油价大跌0.79元/升,今年大涨油价大跌下来,12月18日油价或再跌

油价大跌0.79元/升,今年大涨油价大跌下来,12月18日油价或再跌

油价早知道
2024-12-08 00:21:40
倒霉!强投进攻犯规后扭伤脚踝,伤员大队又多一人!

倒霉!强投进攻犯规后扭伤脚踝,伤员大队又多一人!

篮球盛世
2024-12-08 16:34:17
CCTV5直播混团世界杯决赛!国乒12月8日赛程+央视直播时间表

CCTV5直播混团世界杯决赛!国乒12月8日赛程+央视直播时间表

好乒乓
2024-12-08 08:32:58
2024-12-08 16:52:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4600249文章数 542650关注度
往期回顾 全部

科技要闻

阿里合伙人樊路远内网道歉 自罚三个月工资

头条要闻

男子酒后与妻子争吵致怀中女儿滑出窗外坠亡 获刑4年

头条要闻

男子酒后与妻子争吵致怀中女儿滑出窗外坠亡 获刑4年

体育要闻

39岁皇马大师表演:20米仙人指路 策动2球

娱乐要闻

陈妍希父亲去世:陈晓未回应引争议

财经要闻

马斯克身价暴增 美银力挺特斯拉

汽车要闻

东风本田全新新能源工厂首开放

态度原创

教育
亲子
艺术
时尚
健康

教育要闻

这所专科警校院校居然要高考600多分,疯了吗

亲子要闻

孩子情商真高

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

揭秘“有品味”的中年女性,这三个实用穿衣套路,回头率超高

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

无障碍浏览 进入关怀版