网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
阿萨德逃往莫斯科,立陶宛嗅到作死机会:把俄从乌克兰踢出去

阿萨德逃往莫斯科,立陶宛嗅到作死机会:把俄从乌克兰踢出去

白虎堂
2024-12-09 08:58:41
人形机器人巨头社保强势入驻,六年千倍增长,日出东方望尘莫及!

人形机器人巨头社保强势入驻,六年千倍增长,日出东方望尘莫及!

阿雖美食
2024-12-10 14:16:07
离谱!女生被诱导拍私密写真,隐私部位被摸!店家却是这么回应

离谱!女生被诱导拍私密写真,隐私部位被摸!店家却是这么回应

娱官儿
2024-12-09 15:25:42
上海知名楼盘113根承重柱被铲薄,满足车位要求?业主忧心忡忡,开发商:没有影响

上海知名楼盘113根承重柱被铲薄,满足车位要求?业主忧心忡忡,开发商:没有影响

新民晚报
2024-12-10 17:39:19
游泳世锦赛首日!中国队17人出局,接力遭绝杀,美国队破世界纪录

游泳世锦赛首日!中国队17人出局,接力遭绝杀,美国队破世界纪录

篮球圈里的那些事
2024-12-10 18:54:50
央视报道!为OBD检测辟谣!专家:不指定维修站,三个周期不是三次!

央视报道!为OBD检测辟谣!专家:不指定维修站,三个周期不是三次!

涵豆说历史
2024-12-10 08:51:52
伤害性不大,侮辱性极强!杭州出名了,小仙女们真的该醒醒了…

伤害性不大,侮辱性极强!杭州出名了,小仙女们真的该醒醒了…

慧翔百科
2024-12-09 18:05:31
表面是艺人,实际是阔少爷的7位男星,混不好就要回家继承家业

表面是艺人,实际是阔少爷的7位男星,混不好就要回家继承家业

揽星河的笔记
2024-12-10 16:30:03
财联社12月10日电,纳斯达克中国金龙指数跌幅扩大至4%,3倍做多富时中国ETF跌逾12%。房多多跌超20%,老虎证券跌近12%,哔哩哔哩跌逾10%,网...

财联社12月10日电,纳斯达克中国金龙指数跌幅扩大至4%,3倍做多富时中国ETF跌逾12%。房多多跌超20%,老虎证券跌近12%,哔哩哔哩跌逾10%,网...

财联社
2024-12-10 22:48:07
婆婆不让老公给我钱,我买螃蟹让她吃青菜,老公怒了,我:先出钱

婆婆不让老公给我钱,我买螃蟹让她吃青菜,老公怒了,我:先出钱

晚风计划
2024-12-09 17:24:31
闹大了!网民举报弄虚作假“种白菜”套取补贴,官方回应

闹大了!网民举报弄虚作假“种白菜”套取补贴,官方回应

小人物看尽人间百态
2024-12-09 21:35:42
12月10日俄乌最新:战场上的交通灯

12月10日俄乌最新:战场上的交通灯

西楼饮月
2024-12-10 21:09:10
看到朱婷放弃中国加入意大利,才知道当初刘翔说的话含金量多高

看到朱婷放弃中国加入意大利,才知道当初刘翔说的话含金量多高

东篱畔
2024-08-25 00:04:11
江西省公安厅经济犯罪侦查总队原一级高级警长李军接受审查调查

江西省公安厅经济犯罪侦查总队原一级高级警长李军接受审查调查

界面新闻
2024-12-10 11:39:21
杭州一男子骑摩托车撞护栏翻下桥不幸身亡,警方:遗体已打捞上岸

杭州一男子骑摩托车撞护栏翻下桥不幸身亡,警方:遗体已打捞上岸

极目新闻
2024-12-10 12:44:40
以色列再炸100个叙目标,直奔中国对叙出口的JY27米波反隐身雷达

以色列再炸100个叙目标,直奔中国对叙出口的JY27米波反隐身雷达

Ck的蜜糖
2024-12-10 09:44:23
大航跃迁“筷子夹火箭”方案通过预评审,基于跃迁一号运载火箭

大航跃迁“筷子夹火箭”方案通过预评审,基于跃迁一号运载火箭

IT之家
2024-12-10 18:40:20
突然反转了!全面“封禁”苹果手机?外媒:库克心都碎了!

突然反转了!全面“封禁”苹果手机?外媒:库克心都碎了!

疯狂小菠萝
2024-12-08 11:18:46
最新回应!英伟达被中国立案调查,作为中美博弈棋子,只能选边站

最新回应!英伟达被中国立案调查,作为中美博弈棋子,只能选边站

派大星纪录片
2024-12-10 15:37:00
浙江7批次食品抽检不合格,涉及水磨年糕、食用玉米淀粉、油条等

浙江7批次食品抽检不合格,涉及水磨年糕、食用玉米淀粉、油条等

新京报
2024-12-10 20:32:09
2024-12-11 05:55:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4650723文章数 542688关注度
往期回顾 全部

科技要闻

最高罚款超50亿美元 中国为何对英伟达动手

头条要闻

官方通报湖南一货车侧翻与客车相撞:造成16人受伤

头条要闻

官方通报湖南一货车侧翻与客车相撞:造成16人受伤

体育要闻

29年后,殷铁生又赢了徐根宝

娱乐要闻

表面是艺人,实际是阔少爷的7位男星

财经要闻

蒸发3000亿,智飞生物遇“劫”

汽车要闻

小米YU7明年6/7月就上 价格30万级配双电机四驱

态度原创

房产
健康
家居
数码
手机

房产要闻

秀英港搬迁,最新消息传出!海口湾业主,集体沸腾了!

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

家居要闻

极简温馨 营造层次感空间

数码要闻

荣耀平板 V9 搭载“荣耀柔光绿洲护眼屏”,宣称抗眩光 / 噪点

手机要闻

对标华为Mate70 RS!荣耀Magic7 RSR保时捷设计,已确认12月上市

无障碍浏览 进入关怀版