网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
比特币直线跳水 一度跌破90000美元

比特币直线跳水 一度跌破90000美元

财联社
2024-12-06 06:37:10
逃英乱港头目邓燕娥:曾返港搞事,千里“送人头”让港警逮个正着

逃英乱港头目邓燕娥:曾返港搞事,千里“送人头”让港警逮个正着

梦史
2024-12-05 11:02:44
别再演了!丁勇岱《我是刑警》口碑崩塌,出场拽的如同二五八万

别再演了!丁勇岱《我是刑警》口碑崩塌,出场拽的如同二五八万

夏聊史
2024-12-03 11:55:51
女子打碎茶杯被逼赔5000,笑着付款离开,老板:糟了快追

女子打碎茶杯被逼赔5000,笑着付款离开,老板:糟了快追

纪实录
2024-11-03 21:40:06
向佐首场抖音直播带货单日近5000万元,团队称:自家公司直播,未签约MCN

向佐首场抖音直播带货单日近5000万元,团队称:自家公司直播,未签约MCN

艾米手工作品
2024-12-05 18:44:43
任何家天下都不值得同情!哈马城破:叛军升级成反对派了

任何家天下都不值得同情!哈马城破:叛军升级成反对派了

大风文字
2024-12-06 08:46:15
给机关事业单位退休人员发放生活补贴应该形成长效机制,不能随意

给机关事业单位退休人员发放生活补贴应该形成长效机制,不能随意

郭爱华追问教育
2024-12-05 07:29:45
比黄晓明还惨的电影!单日票房仅23万,网友讽刺:不如摆个碗直接要

比黄晓明还惨的电影!单日票房仅23万,网友讽刺:不如摆个碗直接要

头号电影院
2024-12-05 23:24:19
挥拳打人被驱逐,杜润旺会受到什么处罚?罚单或出炉,损失惨重

挥拳打人被驱逐,杜润旺会受到什么处罚?罚单或出炉,损失惨重

东球弟
2024-12-06 08:38:53
郑州大货车司机跳桥后续,此事另有隐情,31岁两个幼儿,当地回应

郑州大货车司机跳桥后续,此事另有隐情,31岁两个幼儿,当地回应

手工制作阿歼
2024-12-06 06:11:09
台湾女主持穿全!透!明雨衣直播采访火上热搜!男生看完直呼:眼睛怀孕了啊啊

台湾女主持穿全!透!明雨衣直播采访火上热搜!男生看完直呼:眼睛怀孕了啊啊

经典段子
2024-11-30 22:40:51
广东男主晒出126㎡新房装修,因太会布置而走红,效果温馨又高级

广东男主晒出126㎡新房装修,因太会布置而走红,效果温馨又高级

小鱼说育儿
2024-12-06 02:06:47
零下11℃,北京一驴友被困深山!找到时躺在一米多深落叶中……

零下11℃,北京一驴友被困深山!找到时躺在一米多深落叶中……

平祥生活日志
2024-12-06 04:31:37
薛凯琪献唱引热议,嘴角肉紧离奇凹陷,网友吐槽口型怪怪的

薛凯琪献唱引热议,嘴角肉紧离奇凹陷,网友吐槽口型怪怪的

南城无双
2024-12-06 01:20:28
果然被割了!第一批特斯拉已经开始换电池,这样的费用你能接受

果然被割了!第一批特斯拉已经开始换电池,这样的费用你能接受

阿矗论古今
2024-10-09 16:44:47
性生活谣言你信了吗?八大真相曝光!

性生活谣言你信了吗?八大真相曝光!

智见派
2024-11-27 23:54:39
麻了!火勇大战,5人缺战,科尔或提前认输,火箭欲拿勇士泻火

麻了!火勇大战,5人缺战,科尔或提前认输,火箭欲拿勇士泻火

老王大话体育
2024-12-05 14:15:09
难分胜负!丁立人与古克什继续战平,已经连续6局比赛战平

难分胜负!丁立人与古克什继续战平,已经连续6局比赛战平

直播吧
2024-12-06 07:53:18
1950年到1956年,金日成内部大清洗时,中、苏为何选择了袖手旁观

1950年到1956年,金日成内部大清洗时,中、苏为何选择了袖手旁观

文史达观
2024-12-04 12:23:21
中超BIG4,亚冠形势明朗:泰山捡3分,申花拼神户,上港遇1大障碍

中超BIG4,亚冠形势明朗:泰山捡3分,申花拼神户,上港遇1大障碍

话体坛
2024-12-05 12:26:50
2024-12-06 11:08:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4563581文章数 542624关注度
往期回顾 全部

科技要闻

OpenAI推o1完整版,还有月费200美元新服务

头条要闻

男子花9万拍下1元"海景房"又后悔:看不到海景

头条要闻

男子花9万拍下1元"海景房"又后悔:看不到海景

体育要闻

当家球星伤停后,他们是NBA最猛球队

娱乐要闻

琼瑶和儿媳何琇琼:婆媳关系胜似母女

财经要闻

新疆棉花协会回应优衣库:坚决不能接受

汽车要闻

2.4T+9AT+四驱 哈弗H9柴油版起售

态度原创

房产
时尚
教育
家居
军事航空

房产要闻

4.61亿!天价成交背后,看「侨鑫现象」再定义“最好的房子”

赵露思记得别学虞书欣!

教育要闻

食品科学与工程专业的真实就业怎么样?

家居要闻

百年之居 打造四世同堂宜居空间

军事要闻

德国总理:向乌克兰派兵“绝无可能”

无障碍浏览 进入关怀版