网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
斯瓦泰克:如果没有禁赛事件,输给郑钦文将是今年最失望时刻

斯瓦泰克:如果没有禁赛事件,输给郑钦文将是今年最失望时刻

全网球APP
2024-12-07 15:27:14
李佩霞:大量生活照被扒,美腿抢镜,丈夫始终没露面,身份成谜!

李佩霞:大量生活照被扒,美腿抢镜,丈夫始终没露面,身份成谜!

来条娱吃
2024-11-08 11:16:49
西部排名又乱了:爵士创NBA奇迹,独行侠剑指第2,湖人掉到第10

西部排名又乱了:爵士创NBA奇迹,独行侠剑指第2,湖人掉到第10

篮球大视野
2024-12-07 15:48:21
很佩服那位供应商的勇气

很佩服那位供应商的勇气

贩财局
2024-11-27 20:49:05
人死户销,社保局不会主动告诉你的这十笔钱养老金和医保:

人死户销,社保局不会主动告诉你的这十笔钱养老金和医保:

现代春秋
2024-10-11 17:07:09
开始觉醒了,挤爆香港

开始觉醒了,挤爆香港

胡胡的全球笔记
2024-12-05 09:31:21
马拉多纳去世4年,4厘米头发被拍卖:27万元起步!绝版珍品

马拉多纳去世4年,4厘米头发被拍卖:27万元起步!绝版珍品

叶青足球世界
2024-12-07 20:38:26
香港最强软饭男有多可怕?一技就让女首富欲罢不能,每次收费一亿

香港最强软饭男有多可怕?一技就让女首富欲罢不能,每次收费一亿

史论纵横
2023-09-28 20:30:27
为了掏空老百姓的钱袋子,编造出来的5大谎言,谁信谁倒霉

为了掏空老百姓的钱袋子,编造出来的5大谎言,谁信谁倒霉

晓徙历史
2024-11-22 17:18:45
证监会出手!90后操纵23只股票狂赚800万后被罚3500万

证监会出手!90后操纵23只股票狂赚800万后被罚3500万

环球网资讯
2024-12-07 11:26:06
朱根菜的保险单一出,关于劳斯莱斯风波的三大谎言“藏不住了”!

朱根菜的保险单一出,关于劳斯莱斯风波的三大谎言“藏不住了”!

沧海一书客
2024-12-07 14:07:55
核工部退休高工老太太的抱怨引人深思:既要又要,哪有这等好事?

核工部退休高工老太太的抱怨引人深思:既要又要,哪有这等好事?

大道微言
2024-12-06 15:35:10
烟台海事局:航行警告,禁止驶入

烟台海事局:航行警告,禁止驶入

鲁中晨报
2024-12-07 11:17:06
丑哭了!金鸡奖上的关晓彤,造型真的一言难尽,膀大腰圆特别壮实

丑哭了!金鸡奖上的关晓彤,造型真的一言难尽,膀大腰圆特别壮实

白宸侃片
2024-12-06 13:18:00
2024单局限时赛第3轮:吴宜泽晋级,张安达、周跃龙、马海龙出局

2024单局限时赛第3轮:吴宜泽晋级,张安达、周跃龙、马海龙出局

动漫里的童话
2024-12-07 23:09:06
高中女同学给我充了两年饭卡,10年后她家道中落,我主动找上了门

高中女同学给我充了两年饭卡,10年后她家道中落,我主动找上了门

五元讲堂
2024-11-13 10:46:35
俄罗斯:坚定支持叙利亚,军事援助助力反恐!

俄罗斯:坚定支持叙利亚,军事援助助力反恐!

墨下
2024-12-08 01:33:39
中国10大最毒零食排行榜,常吃等于“慢性自杀”

中国10大最毒零食排行榜,常吃等于“慢性自杀”

新兴网评
2024-10-22 00:57:07
公积金好消息来了,12月已经执行

公积金好消息来了,12月已经执行

巢客HOME
2024-12-08 05:15:03
“祁天道”复出后的朋友圈:多个曾被封号千万级网红来引流甚至成为榜一大哥

“祁天道”复出后的朋友圈:多个曾被封号千万级网红来引流甚至成为榜一大哥

上游新闻
2024-12-07 18:26:11
2024-12-08 06:12:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4596878文章数 542644关注度
往期回顾 全部

科技要闻

阿里合伙人樊路远内网道歉 自罚三个月工资

头条要闻

青瓦台前官员:尹锡悦逃过了弹劾 但变成"植物人总统"

头条要闻

青瓦台前官员:尹锡悦逃过了弹劾 但变成"植物人总统"

体育要闻

昔日“最强00后”,还能兑现天赋吗?

娱乐要闻

74岁刘晓庆搀扶65岁倪萍,心态超年轻

财经要闻

时隔半年,央行再增持黄金!

汽车要闻

银河星舰7 EM-i上市 先享价9.98-13.28万元

态度原创

房产
数码
家居
手机
公开课

房产要闻

聚力・向前|网易房产年末特别策划:2024房产大事记

数码要闻

优派 VX27G10 电竞显示器上市:1080P、240Hz 刷新率,售 899 元

家居要闻

百年之居 打造四世同堂宜居空间

手机要闻

澎湃OS再次发力:小米15系列获推无网通信,小米14系列全面升级!

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

无障碍浏览 进入关怀版