网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
马苏,身高165厘米,“马漂亮”这称号,真不是盖的。

马苏,身高165厘米,“马漂亮”这称号,真不是盖的。

人情皆文史
2024-11-01 00:11:01
朝鲜女兵自述:入伍自动绝经,七年服务百位长官,退役后无人愿娶

朝鲜女兵自述:入伍自动绝经,七年服务百位长官,退役后无人愿娶

历史八卦社
2023-11-14 22:06:29
见识到解放军威力,不堪一击的俾路支叛军,想让中方赶快停手

见识到解放军威力,不堪一击的俾路支叛军,想让中方赶快停手

时时有聊
2024-12-04 21:10:15
回到NBA发展联盟后立刻大杀四方,广东队到底为什么非要裁掉他?

回到NBA发展联盟后立刻大杀四方,广东队到底为什么非要裁掉他?

稻谷与小麦
2024-12-05 13:28:38
50年新中国基本解放,周恩来小声请示毛主席:张克侠该现身了吧?

50年新中国基本解放,周恩来小声请示毛主席:张克侠该现身了吧?

悦悦侃历史
2024-12-03 14:43:45
注意 | iPhone 快关闭这个功能,已经开始收费!

注意 | iPhone 快关闭这个功能,已经开始收费!

天津广播
2024-12-04 19:48:51
突发!莫兰特自己宣!正式放弃!

突发!莫兰特自己宣!正式放弃!

左右为篮
2024-12-05 13:11:33
19岁机车网红车祸身亡!事发现场曝光,大小便失禁,画面不忍心看

19岁机车网红车祸身亡!事发现场曝光,大小便失禁,画面不忍心看

晓徙历史
2024-12-04 11:36:33
88岁的作曲家谷建芬,被刀郎的《罗刹海市》“逼”出了律师函

88岁的作曲家谷建芬,被刀郎的《罗刹海市》“逼”出了律师函

七公子娱乐
2024-11-30 16:00:03
吕志和追悼会政商娱界名流齐聚!刘德华夫妇送花牌,伏明霞罕现身

吕志和追悼会政商娱界名流齐聚!刘德华夫妇送花牌,伏明霞罕现身

裕丰娱间说
2024-12-05 17:21:56
某国际搬家公司晒出为费南多搬家的视频,费南多即将自由身

某国际搬家公司晒出为费南多搬家的视频,费南多即将自由身

懂球帝
2024-12-05 07:03:06
罗翔:真的没有必要去羡慕你身边任何看来成功的人

罗翔:真的没有必要去羡慕你身边任何看来成功的人

清风拂心
2024-11-25 13:15:03
42岁姚笛罕见全家出动!口罩都挡不住明星范儿,5岁儿子颜值爆表

42岁姚笛罕见全家出动!口罩都挡不住明星范儿,5岁儿子颜值爆表

时髦范
2024-12-04 22:36:00
难怪选择当主播!吴柳芳“落魄”照曝光:曾在颁奖仪式上端盘子

难怪选择当主播!吴柳芳“落魄”照曝光:曾在颁奖仪式上端盘子

大秦壁虎白话体育
2024-12-03 16:31:21
交通部正酝酿取消强制车检?车主:强烈支持!

交通部正酝酿取消强制车检?车主:强烈支持!

深度知局
2024-12-04 18:43:11
阿萨德的过往已成云烟,特权与暴政的终结便是他的归宿!

阿萨德的过往已成云烟,特权与暴政的终结便是他的归宿!

小企鹅侃世界
2024-12-03 23:18:12
隐忍54年,88岁林婉珍出书手撕琼瑶:她真的很喜欢干涉别人的家庭

隐忍54年,88岁林婉珍出书手撕琼瑶:她真的很喜欢干涉别人的家庭

一娱三分地
2024-12-04 21:05:03
穿比基尼的德国妹纸醉倒在泰国街头,众人围观拍照,火了……

穿比基尼的德国妹纸醉倒在泰国街头,众人围观拍照,火了……

新欧洲
2024-12-04 20:42:59
美国和北约支持乌克兰“割地投降”,泽连斯基服软,万斯预言成真

美国和北约支持乌克兰“割地投降”,泽连斯基服软,万斯预言成真

碳基生物关怀组织
2024-12-02 17:25:10
突发利空!闪崩40%

突发利空!闪崩40%

中国基金报
2024-12-05 14:53:59
2024-12-06 00:35:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4560209文章数 542621关注度
往期回顾 全部

科技要闻

苹果引入文心一言,客户隐私或成合作阻碍

头条要闻

千亿美元巨头CEO命丧纽约街头 枪手在弹壳上留下3个词

头条要闻

千亿美元巨头CEO命丧纽约街头 枪手在弹壳上留下3个词

体育要闻

3场失2点,姆巴佩又崩了......

娱乐要闻

琼瑶过世细节曝光 前一天嘱咐儿媳来家

财经要闻

房价开始涨了

汽车要闻

2.4T+9AT+四驱 哈弗H9柴油版起售

态度原创

教育
亲子
家居
数码
公开课

教育要闻

为什么去英国留学的国际学生人数暴跌?

亲子要闻

这是哥哥的缺点吗?

家居要闻

舒适优雅 打造从容舒适的居家氛围

数码要闻

消息称荣耀平板 V9 本月发布,预计搭载天玑 8350 处理器

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

无障碍浏览 进入关怀版