网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

微导纳米申请原子层沉积工艺的镀膜方法专利,实现更高质量的镀膜沉积

0
分享至

金融界2024年1月19日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积工艺的镀膜方法“,公开号CN117418215A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种原子层沉积工艺的镀膜方法,将至少一次常规的惰性气体吹扫工序改进为第一次惰性气体吹扫、抽真空处理和第二次惰性气体吹扫的组合模式,并且在抽真空处理时停止向反应室通入惰性气体,保证反应室内未反应的工艺气体和生成物可以更加快速的排出反应室,缩短吹扫工序的吹扫时间并提高吹扫效果,进而缩短总工艺时间,同时避免残留的工艺气体等发生反应的风险,实现更高质量的镀膜沉积;并且在抽真空处理后的第二次惰性气体的吹扫在将剩余未反应的工艺气体和生成物完全排出反应室的同时,还可以保证反应室内形成一个稳定的由惰性气体形成的气流环境,使反应室的气流和压力都处于一个稳定的状态,以此综合实现更高质量的镀膜沉积。

本文源自金融界

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
袁家军调研美利信科技

袁家军调研美利信科技

证券市场周刊市场号
2024-12-05 13:16:00
哈马斯:人质死了33个  特朗普:我上任前没释放人质,有你好看的

哈马斯:人质死了33个 特朗普:我上任前没释放人质,有你好看的

桑未落
2024-12-03 18:00:28
我一个新秀是来当老大的?麦凯恩17中10得4分7板3助

我一个新秀是来当老大的?麦凯恩17中10得4分7板3助

直播吧
2024-12-05 11:06:18
《我是刑警》令人“愤怒”的剧情,秦川的一筹莫展,源自条块分割

《我是刑警》令人“愤怒”的剧情,秦川的一筹莫展,源自条块分割

花煜寒
2024-12-04 19:56:35
农心杯谢尔豪斩获3连胜 井山裕太速胜 辜梓豪半目不敌中国00后

农心杯谢尔豪斩获3连胜 井山裕太速胜 辜梓豪半目不敌中国00后

L76号
2024-12-05 11:28:55
刚刚,紧急出手!40万亿“救市”

刚刚,紧急出手!40万亿“救市”

中国基金报
2024-12-05 09:50:17
金·卡戴珊胆子真大!穿丁字裤带头套拍诡异写真,辣眼程度五颗星

金·卡戴珊胆子真大!穿丁字裤带头套拍诡异写真,辣眼程度五颗星

南城无双
2024-12-04 01:21:21
大结局将至,韩国指挥部管控,75万韩军已站队,尹锡悦最怕事发生

大结局将至,韩国指挥部管控,75万韩军已站队,尹锡悦最怕事发生

历史阿务
2024-12-05 10:55:46
尹锡悦娇妻金建希:整容前后差别大,身家62亿韩元,为竞选行贿

尹锡悦娇妻金建希:整容前后差别大,身家62亿韩元,为竞选行贿

春序史
2024-12-05 15:20:05
故宫为何要在5点关门?每年用60吨猪血镇邪?背后的真相是什么

故宫为何要在5点关门?每年用60吨猪血镇邪?背后的真相是什么

苏星河呀
2024-12-04 22:23:28
知情人士回应“Temu越南业务被暂停”传言,电商平台出海东南亚不易

知情人士回应“Temu越南业务被暂停”传言,电商平台出海东南亚不易

第一财经资讯
2024-12-05 22:38:35
17岁云南女生 “没病做手术离世”?家属回应:确诊先心病,三家医院都建议手术|云辟谣

17岁云南女生 “没病做手术离世”?家属回应:确诊先心病,三家医院都建议手术|云辟谣

封面新闻
2024-12-04 22:46:22
德国大众6万名工人罢工,拒绝关厂!欧洲车企面临寒冬……

德国大众6万名工人罢工,拒绝关厂!欧洲车企面临寒冬……

躺倒鸭
2024-12-04 13:59:51
世俱杯发力:35天,FIFA官宣5家合作商!进账约13亿美元

世俱杯发力:35天,FIFA官宣5家合作商!进账约13亿美元

叶青足球世界
2024-12-05 16:03:11
我是刑警:要不是邓光荣火眼金睛,再来8年,秦川也抓不到凶杀犯

我是刑警:要不是邓光荣火眼金睛,再来8年,秦川也抓不到凶杀犯

白公子探剧
2024-12-05 17:47:26
同道猎聘Q3营收降利润增,AI或成估值重塑关键词

同道猎聘Q3营收降利润增,AI或成估值重塑关键词

蓝鲸财经
2024-12-05 16:05:10
天塌了!跌停割的肉 眨眼间就地天涨停了 天生就是韭菜命

天塌了!跌停割的肉 眨眼间就地天涨停了 天生就是韭菜命

芯怡飞
2024-12-05 12:46:00
台当局偷偷改了规矩:若解放军战机飞临台岛,台湾民众只有3分钟

台当局偷偷改了规矩:若解放军战机飞临台岛,台湾民众只有3分钟

国学璀璨
2024-12-01 22:13:37
音乐教父刘家昌去世!他抢走谢贤的妻子,两任前妻都是著名女星

音乐教父刘家昌去世!他抢走谢贤的妻子,两任前妻都是著名女星

观察鉴娱
2024-12-04 10:15:52
吴柳芳坦言:擦边是公司要求,只能听从,涨了很多粉,但不稀罕

吴柳芳坦言:擦边是公司要求,只能听从,涨了很多粉,但不稀罕

湘楚风云
2024-12-05 16:28:39
2024-12-05 23:08:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4557614文章数 542621关注度
往期回顾 全部

科技要闻

苹果引入文心一言,客户隐私或成合作阻碍

头条要闻

千亿美元巨头CEO命丧纽约街头 枪手在弹壳上留下3个词

头条要闻

千亿美元巨头CEO命丧纽约街头 枪手在弹壳上留下3个词

体育要闻

3场失2点,姆巴佩又崩了......

娱乐要闻

琼瑶过世细节曝光 前一天嘱咐儿媳来家

财经要闻

房价开始涨了

汽车要闻

2.4T+9AT+四驱 哈弗H9柴油版起售

态度原创

游戏
本地
亲子
公开课
军事航空

新老曹操传横向对比!这些策略因素的区别算是个好事么?

本地新闻

云游中国|来伦布夏果感受充满Passion的人生

亲子要闻

让娃遭罪的倒刺、红下巴,十多块的小玩意就能搞定!

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

军事要闻

德国总理:向乌克兰派兵“绝无可能”

无障碍浏览 进入关怀版