1、什么是芯片制造中的CMP工艺?
想象一下你正在建造一个非常复杂的迷宫,这个迷宫由许多层楼组成,每一层楼都有很多房间(电路),这些房间之间通过楼梯(导线)连接。在芯片制造过程中,我们实际上是在微观尺度上构建这样的“迷宫”。每一层都需要非常平整,因为即使是微小的不平整也会影响楼梯的构建和电路的性能。
这就是CMP工艺发挥作用的地方。CMP,全称化学机械抛光,是一种用来使芯片表面变得平滑的工艺。你可以把它想象成一个非常精细的“砂纸”,不仅能够磨平高出的部分,还可以填补低洼的部分,使得整个表面变得光滑。这个过程需要用到特制的化学药水,这种药水可以软化表面材料,然后通过一个旋转的抛光盘在机械上施加压力,将表面磨平。
2、为什么CMP很重要?
因为在芯片的每一层都需要添加新的电路图案。如果表面不够平整,新的图案可能无法正确地形成,导致电路不能正常工作。CMP工艺确保每一层都能够准确地叠加,让整个芯片的结构稳定而精确。CMP是芯片制造中不可或缺的一步,它像是在建造复杂迷宫时确保每一层都完美对齐的关键步骤,保证了电子设备的高性能和可靠性。
3、二手CMP翻新设备玩家
CMP二手翻新设备的主要玩家包括SurplusGLOBAL, Inc.、登普半导体、吉姆西半导体、逸典科技等。 二手设备厂商CMP设备的主要来源为关停的厂房或产线,包括尔必达、三星、SK 海力士、Intel等公司,CMP二手翻新设备主要为原来日本荏原和美国应用材料生产的CMP设备,美国应用材料的二手翻新设备的价格约为160万美元/ 台。
由于晶圆厂采购CMP设备时的主要考虑因素包括成本、是否满足指标要 求,不专门针对CMP设备是二手翻新机或新机进行区分。
4、翻新内容
翻新内容主要包括外观钣金及镀层修复、关键控制系统检修、关键运动部件更换等。具体情况如下:
1)外观钣金及镀层修复:对于外观损坏,二手厂商按照原设备的外观和材 料重新制作进行更换。
2)关键控制系统检修主要包括两个步骤:①系统检修,将CMP二手设备 通电开机并进行初始化,检查设备的系统是否存在异常,针对系统异常进行修 复;②运转检修,下达指令开始设备运转,检查设备的运转是否存在异常,再进一步从部件、通讯、控制等方面诊断异常的根源,结合诊断结果进行修复。
3)关键运动部件更换:对于无法修复的关键运动部件需要采购新的部件并 进行组装、对准和调试,关键运动部件的来源主要为设备原厂的上游供应商。
经过以上三个方面的翻新,CMP二手设备在系统、动作方面达到正常运转状态。CMP二手翻新设备的技术含量主要在于关键控制系统检修、关键运动部件更换,执行的技术难度较小,且无法利用翻新技术完成新机的生产。如设备问题涉及电路板等较为复杂的部件,二手设备厂无法独自解决,需聘请专业的厂商协助进行修复。并且CMP二手翻新设备在实际使用过程中稳定性不如新设备,在制程等指标参数方面一般不会较翻新前的原设备水平有所改进。
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