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硅烷即硅与氢的化合物（SiH4），是一系列化合物的总称。硅烷因独具许多特性而广泛应用于电子、信息、能源、材料等领域，是许多未来新兴产业所必不可少的一种气体。高纯硅烷气工业总的发展趋势是应用范围越来越广，产量需求越来越大，纯度要求越来越高，有着巨大的市场潜力和发展机遇。但硅烷废气属于有毒、易燃易爆的废气，它对人身体健康有伤害，因此，企业在工业生产活动过程产生硅烷废气，为了保持良好的工作条件和防止破坏自然环境，需要对工业生产过程产生的硅烷废气进行净化处理，显得尤为重要。
硅烷废气具有易燃易爆的可燃性气体，同时又属于弱酸性气体，因此，对于硅烷废气处理可采用碱洗法、燃烧法处理即可处理，接下来熙霖环保小编详细介绍硅烷废气处理方法。
（1）碱洗法
将集气罩收集硅烷废气通过管道输送进入碱洗塔，经碱洗塔酸碱中和收处理，达到国家排放标准后排放。
（2）燃烧法
燃烧法只在挥发性有机物在高温及空气充足的条件下进行完全燃烧，分解为CO2和H2O
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