六款全新一维MEMS振镜模组，赋能工业和消费电子

近日，导远集团旗下苏州感测通信息科技有限公司（以下简称“感测通”）继去年宣布自主研发的多款二维MEMS振镜模组产品后，再次发布可量产的六款不同镜面尺寸的一维MEMS振镜模组产品。

▲封测车间

© 感测通

感测通MEMS振镜模组通过不同的镜面尺寸扩展新的一维系列产品，可被激光雷达、工业机器人等行业和从事相关技术产品研发的公司、研究机构和大专院校等采用。

根据 感测通发布的信息，在光学扫描系统中MEMS振镜相较于传统机械振镜有着如下优势：

• MEMS材料单晶硅，不会疲劳，极限应力内拥有无限使用寿命；

• 千摄氏度下没有塑性形变，不存在机械装配间隙位移或磨损，重复精度极高且稳定；

• 弹性形变，平滑无极运动，高精度控制可带来高精度分辨率；

• 半导体流片，芯片级封装，测控一体集成，体积小，可靠稳定。

苏州感测通信息科技有限公司的芯片团队，两年内研发出了一系列的MEMS振镜模组产品。

该系列MEMS振镜产品经历了导远车规级测试中心严苛的可靠性测试。各种类模组内测冲击均通过了1000G，3方向扫频振动均通过15G，85°高温老化均通过1000h测试，表现正常。

▲从左至右：模组冲击测试、模组扫频振动测试、高温老化测试

该系列二维振镜模组可进行光栅扫描。精度高，体积小，角度大。

▲ 从左至右： 5*7mm二维振镜模组，8mm二维振镜模组，10mm二维振镜模组

二维振镜模组采用单通道驱动来满足快慢两轴同时扫描的效果，快轴由谐振信号激发谐振模态正弦扫描，慢轴可以定制频率调制信号匀速扫描，从而形成光栅扫描。

▲光栅 扫描轨迹图

因为压阻反馈直接通过半导体工艺制作在振镜芯片的快慢轴扭转梁上，相比于机械振镜外加的光电或光栅外部传感器，反馈直接输出的位置信号干扰更小且不会故障。感测通提供的开发驱动板提供双轴反馈信号输出端口，二维光栅扫描下可提供的慢轴帧信号与快轴的反向时的行信号。

▲光栅扫描下的反馈信号：绿线为慢轴角度反馈信号，黄线为快轴角度反馈信号，红线为快轴反向脉冲信号

▲驱动开发板，左侧为通信控制板，右侧为驱动板

感测通新推出的一系列体积更小的一维振镜可满足更多的应用场景，镜子包含准静态和高频谐振模式，均配备对应的开发板供客户拓展应用场景。

▲从左至右： 准静态8mm一维振镜 ，谐振8mm一维振镜，20*12mm一维振镜

感测通专注于研发和生产MEMS振镜，拥有独立的芯片自主设计能力，产业链完整，MEMS振镜加工工艺和封装工艺可控，模组成本将随着产量的增长稳步降低，为MEMS振镜规模化量产和应用提供保障。

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