华林科纳集中供液设备 核心部件----气液分离器

摘要：

随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，传统的人工手动配液，补液逐渐被自动供液取代，此过程中，化学品集中供液（Chemical Dispense System)、原液集中供液（Slurry Dispense System）得到越来越重要、广泛的应用，尤其在大扬程输送，精确配比等使用环境下，便体现出其极大的优势。其中保证流量稳定，管内无气泡，气液分离器运用效果显著。

公司简介：

华林科纳(江苏)半导体设备有限公司（简称CSE），成立于2008年3月。前身是苏州华林科纳半导体设备技术有限公司，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资共建，其湿制程业务始于 90年代末，拥有20多年的行业经验，是国内最早的湿法制程整体解决方案提供商。

公司下设半导体湿法装备事业部、高纯流体配件事业部、半导体信息服务事业部，其中半导体湿法装备事业部凭借资深经验，现已形成湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品，广泛应用于大规模集成电路电力电子器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域。

公司优势：

Ø 技术支撑

华林科纳与苏州纳米研究所合资共建，保障了前沿技术、核心技术、关键技术的研究和开发；

Ø 研发团队

华林科纳具有高新技术企业资质，核心技术人员来自德国、台湾、苏州纳米所，均有十五年以上CDS和WETBENCH的研发设计经验；

产品介绍：

应用于供液系统供应的slurry>40种,chemical>20种,Fab>60，90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB，在最新的14-28nm FAB里，减少药液气泡，流量稳定的产品，材质：PFA/PVDF/PP。

气液分离器原理

主要基于气体与液体的物理性质差异，如密度、粘度、表面张力等。其主要目的是将气体中的液体分离出来，保证气体的质量和纯度。

我司产品主要重力沉降，其原理：由于气体与液体的比重不同，液体在与气体一起流动时，液体会受到重力作用较大，产生一个向下的速度，而气体仍然朝着原来的方向流动。这样，液体与气体在重力场中有分离的倾向，向下的液体流向底部，从排液管道排除，气体汇聚上部，通过排放管排出。

产品优势：

l 材质可选择，根据药液特性定制，耐酸碱；

l 产品可去除管路内气泡，使得管路内流量充足稳定；

l 产品简洁，不占空间；

l 产品安装方便。

配件耗材咨询(PFA管/PFA接头):华林科纳(江苏)半导体设备