90岁的“大厂”，正在追逐“新”潮流

“严禁使用香水，更不能打喷嚏……在封闭的洁净室里接受严格的操作训练，以实现清洁度管理，竭力避免一丝污染源。”南化公司环己酮资深内操叶晓雨说。

自上月开始，南化公司精挑细选了叶晓雨等20名技师、操作工骨干，展开为期近半年的脱产“特训”，为今年三季度即将建成投产的新项目“储能”。

是什么项目

让已有90年建厂历史的

南化公司如此“大动干戈”？

答案是：电子级硫酸项目

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，也是半导体工业常用的八大化学试剂之一。

“芯片在生产过程中，晶片上会附着油脂、杂质颗粒、有机残留物和碳沉积物等，使用电子级硫酸清洗后可有效去除，因此广泛应用于超大规模集成电路的装配和加工过程。”南化公司科技发展部相关负责人季峰崎介绍。

石油炼化过程中的副产物硫黄，通过化学反应后生产出工业硫酸，可用于生产衣服面料、化肥等，而电子级硫酸按照超净高纯试剂SEMI国际标准等级划分，可分为G1、G2、G3、G4、G5五个类别（G4和G5属于高档产品），对应国内产品纯度等级，可适用于光伏、液晶面板、半导体等不同行业领域。电子级硫酸价格是工业级硫酸价格的几十倍，虽然我国是硫酸大国，但最高端的电子级硫酸仍依赖国外品牌。

集成电路产业是江北新区重点布局的核心产业。当前，新区集成电路产业正驶在高质量、高速度发展的“快车道”上，一批新技术、新产品的诞生，无疑是给这辆全速前进的快车增添了强大动能。其中，作为老牌央企的南化公司与新区的“双向奔赴”，是因地制宜打造新质生产力的生动实践。向“新”而行，加速“聚‘链’成势”，实现“‘芯’火燎原”。

让基础产品提档升级融入新产业，让传统产业焕发新动能，最重要的是坚持新兴产业和传统产业融合发展、协同共进，赋能传统产业转型升级，催生新产业新业态新模式。时年90岁的南化公司，先立后破，做起了新旧之间的接续转换。

“我们将原有的一套老旧的硫酸生产装置拆除，升级改造一套电子级硫酸装置，建成投产后将实现2万吨/年的产能。”南化公司电子级硫酸装置项目负责人陈斌介绍。该项目也是南化公司首个硫酸产业升级项目，建成后将达到国内一流水平。

据悉，该项目采用蒸发提纯法生产，将工业级发烟硫酸蒸发纯化，再依次采用常温吸收和常温脱气后，经过滤得到电子级硫酸产品。

电子级硫酸的纯度和洁净度，对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。“关键看里面的金属离子含量，我们生产的电子级硫酸适用于半导体行业，要求每克含量低于百亿分之一。”季峰崎解释说，芯片集成了无数个铜铝连接的晶体管，一旦金属离子等杂质超标，将影响芯片的各项性能。

“为保证纯度和洁净度，生产过程中在传输管道加装含氟塑料材质的内衬，就像是裹上了一层‘保护膜’，避免与金属管道接触。”陈斌说。在接下来的灌装、运输过程中，尽可能采用自动化流程，但控制管道阀门、清洗灌装等关键工序仍需要人员操作，如何避免高纯电子级硫酸受到污染成为关键。

“这就是我们20人参加半年‘特训’的意义。”叶晓雨说，在训练中他们有时“全副武装”地在洁净室里操作，有时在设备、洁净室清洗过程中摸索，正在形成一套切实可行且有效的操作规范。

目前

该项目正有条不紊地进行

已进入设备安装阶段

“开发具有自主知识产权的高端电子级硫酸制备技术，今后可继续向电子级硝酸、电子级盐酸等电子化学品领域扩展实验，形成较为完善的高端产业链，进而形成中石化电子级化学品生产基地，可使南化公司在高端电子级化学产品市场开拓中形成产业规模优势，为高质量转型升级发展奠定基础。”南化公司相关负责人表示。

从省光电技术创新中心的薄膜铌酸锂基光电芯片到芯华章、芯行纪、新思科技等企业打造高质量的开源EDA开放生态系统；从宝瀛气体的超高纯氨气项目开工到南化公司的电子级硫酸投产，围绕集成电路产业，新区在“立”中坚持创新，推进产业链供应链升级，推动新动能落地见效；在“破”中，把握好新旧动能之间的衔接和切换，让传统工艺和产品“压舱石”作用不断凸显的同时，迭代升级不断促进产业进步与变革。

素材来源 | 南化公司 南京日报 南京发布

编辑 | 徐雅莹

发布 | 徐雅莹、吴小荣

审核 | 王馨