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金融界2024年7月4日消息，天眼查知识产权信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“基板清洗系统及控制方法“，公开号CN202211711062.4，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基板清洗系统及控制方法。该基板清洗系统包括片盒单元、第一缓存单元、第二缓存单元、第一传送装置、第二传送装置、第一翻转清洗装置和第二翻转清洗装置；第一传送装置用于在片盒单元与第一缓存单元之间、和用于在片盒单元与第二缓存单元之间输送基板，第二传送装置用于在第一缓存单元与第一翻转清洗装置之间输送基板、和用于在第二缓存单元与第二翻转清洗装置之间输送基板，第一翻转清洗装置和第二翻转清洗装置均用于对基板进行翻转和正背面清洗。本申请的基板清洗系统能够同时完成两片基板的输送与翻转清洗，且第二传送装置在第一翻转清洗装置处和第二翻转清洗装置处的换片时间短，能够大幅提升清洗效率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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