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金融界 2024 年 7 月 19 日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏卓胜微电子股份有限公司申请一项名为“氮含量检测方法、装置、存储介质及掺氮机台“，公开号 CN202410368930.6，申请日期为 2024 年 3 月。
专利摘要显示，本发明中记载了一种氮含量检测方法、装置、存储介质及掺氮机台，该方法通过检测栅极氧化层的厚度；根据所述栅极氧化层的厚度确定所述栅极氧化层的等效电容厚度与含氮量之间的映射关系；在掺氮机台工作过程中，获取当前等效电容厚度；根据所述当前等效电容厚度和所述映射关系确定所述栅极氧化层的当前含氮量。在本发明中，通过确定栅极氧化层的等效电容厚度与含氮量之间的映射关系，然后根据检测当前等效电容厚度和映射关系确定栅极氧化层的当前含氮量，从而在不使用 XPS 机台的情况下，低成本的检测栅极氧化层中氮元素。
本文源自：金融界
作者：情报员
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