美籍华人尹志尧称：中国的芯片制造设备，最快只需要5年，便可达到全球先进的制造水平

　　散英魂寄千万雄鹰翱翔神州，

　　尽智魄载十亿慧芯呼唤华夏。

　　——《国务院给予江上舟同志挽联》

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　　前沿导读

　　近日，中微半导体董事长尹志尧在访谈中说到：

　　在过去二十年里，我们的自主可控进程总体进展顺利，目前主要零部件的自主可控率已达到90%以上，到今年第三季度末可以达到100%。

　　并且尹志尧还在访谈中表示，尽管在半导体设备领域，中国离国际最先进水平还有相当一段距离，但相信再用五至十年时间，达到国际最先进水平的目标完全可以实现。

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　　尹志尧和中微半导体

　　尹志尧之所以说，今年的产品零部件可以达到100%的自主可控，在五至十年后，中国半导体达到国际先进水平，这并不是空口说大话，而是他确实有这个水平，他所领导的中微半导体也确实能极大提升中国半导体的工业发展水平。

　　在几年前杨澜的节目当中，尹志尧就表达过芯片产业链的分工模式，哪怕是强于美国，也不可能举全国之力实现半导体全产业链的自研自产，半导体产业链分工达到上千个步骤，必须要跟其他海外的企业进行协同发展，这样才可以促进全球半导体产业的前进。

　　对于走自主可控的纯自研路线，尹志尧表示，这是在没有办法的情况下才选择的发展路线，国内外的行业竞争相当激烈，只有掌握了自主可控的设备技术，才不会被其他企业牵着鼻子走。

　　尹志尧在中国科学技术大学读书，因为文革中断。文革结束之后，他考上了清华大学的硕士，随后前往美国的高校深造，获得了物理化学博士学位。

　　他在美国工作了大半辈子，也加入了美国国籍。首先进入了英特尔，后来又去到了泛林科技，最后在应用材料公司工作到退休。

　　他在这几个企业最开始负责的都是技术岗位，手中掌握着许多刻蚀机领域的技术和专业知识。他带领研发团队，将泛林科技（也被翻译为拉姆研究）、应用材料公司在刻蚀机项目上面发展到了全球最先进的水平。

　　这两个美国企业在刻蚀机项目上面掌握的技术专利，足以垄断整个国际刻蚀机的发展。

　　他在应用材料公司退休之前，也被总公司提拔为副总裁、首席技术官，这个职位在当时那个年代的留学生群体当中，属于最顶级的社会地位。

　　后来上海市副秘书长江上舟带队去美国硅谷做演讲，号召在美的留学生以及华人群体回国发展。在他的影响下，张汝京、马启元等人纷纷回国发展。

　　后来在一次国际半导体会议当中，尹志尧与江上舟碰面，二人深入探讨了关于国际半导体的发展格局以及中国半导体未来的发展趋势，江上舟也表达了自己希望他回国发展的意愿。

　　在权衡利弊之下，尹志尧选择回国，跟随而来的，还有30多位工程师。

　　江上舟通过自己的关系，给尹志尧拉来了5000万的启动资金，并且从国家层面给他争取到了政策扶持。尹志尧担任董事长，中微半导体在上海创立，主要的研发方向就是尹志尧曾经最拿手的刻蚀机。

　　30多个人的核心团队，用了3年时间，从零开始研发，打造出了中国第一个双反应台除胶刻蚀一体机。产品的工作效率比海外企业高出30%左右，妥妥的行业先进水平。

　　而且这个产品，也是中国第一台拥有自主知识产权的高端芯片制造设备，意义重大。

　　刻蚀机作为中微主打的高端制造设备，一经上市，招来了泛林科技和应用材料的联手压制。这两家美国企业，分别在美国和中国台湾起诉中微半导体专利侵权。

　　但是尹志尧眼光长远，早料到这两个美国企业会通过专利的方式来反制中微半导体，早在回国的时候，尹志尧就让跟随而来的工程师签署协议，不带走任何来自于美国的设备技术。

　　在研发设备的时候，尹志尧将刻蚀机现有的3000多项国际专利列出来，用全新的技术手段进行规避，打造纯自研的技术设备。

　　于是在应对官司的时候，中微半导体一直处于优势地位。应用材料发现找不到中微半导体侵权的实质性证据，跟中微庭外和解，泛林科技则是直接败诉。

　　这场官司的胜利，为中国在刻蚀机的发展上面扫除了国际上最大的障碍。

　　如今中微半导体制造的刻蚀机产品，不管是在低端层面还是在高端层面，都已经达到了国际领先水平，已经有600多台出口给了许多海外的芯片制造商。

　　虽然市场占比上面远远不如国际老牌的企业，但是这样的水平已经是中国能达到的最高水平了。

　　哪怕是如今晶圆加工水平顶尖的台积电，生产线上的部分刻蚀机产品也都是从中微半导体采购的。

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　　中国半导体的发展

　　尹志尧在访谈中表示，中微公司近期决定将尽快开发出电子束检测设备，这是国内除了光刻机以外最大的短板。而推动科技与技术发展的最重要因素有三，包括资金、人才和耐心。

　　资金很重要，而且要想追上海外企业，国家的补助是必要的。国际上面的老牌企业，都是有几十年发展经验的，经验和体量都不是中国企业能比的。

　　而国内企业的研发经费短缺，在技术制程上面又落后3-5代，想要在最短时间内补齐短板，需要海量的补助资金。

　　靠一个企业单打独斗，根本不现实，需要企业、社会资本、国家政府部门全部的支持，才有可能将技术长远的发展下去。

　　对于人才这个因素，尹志尧与中微半导体早已经现身说法了。如果没有当年跟随尹志尧回来的那些工程师，那么中微半导体也不会在3年之后就打造出纯自研的产品。

　　尹志尧还表示：

　　美国在将近40年时间里，开发出不下10种国际先进设备，而这些设备百分之七八十是中国留学生干起来的。好在如今相当一部分人已经回国，在各个领域发挥重要作用。

　　美国一直都是注重技术和人才的国家，并且提供给技术人员的待遇也非常丰厚，这也就造成了许多国人在国内的高校毕业之后，选择去欧美国家深造，留在欧美国家工作。

　　比如我国的前科技部部长万钢同志，他在德国的高校深造工业机械专业，毕业之后就进入了奥迪公司，一步步升到了技术经理的地位。奥迪公司经典的A4车型，就是万钢带队一手打造出来的。

　　奥迪相当重视他，在德国给他配有私人别墅、私人豪华汽车，节假日还允许他带着全家去世界各地旅游。

　　哪怕是奥迪公司在得知万钢一心想要回到祖国发展的时候，总公司的高管以车轮战的方式跟他交流，希望他留下。

　　一再挽留不成，奥迪还承诺万钢回国之后，继续请他担任奥迪的高级顾问，如果万钢以后重新回到奥迪工作，那么奥迪公司会继续给他追加更高水平的待遇和头衔。

　　不过这个情况已经不存在，万钢现在一心一意为中国的科技发展贡献力量，尤其是新能源汽车领域，由他领导的中国新能源汽车发展，已经在国际层面打出了名号。

　　对于这种高水平的技术人才，欧美国家会不惜血本将他留下。

　　目前来说，国内的半导体企业都在向好的方向发展。成熟的公司有20多家，几乎涵盖了半导体十大类设备的所有门类。

　　尹志尧表示：

　　国内可以提供的设备占集成电路生产线的百分比，保守一点说15%是没问题的，进取的说法是30%，甚至高一点也都有可能。

　　技术本土化是没有办法的选择，但对我们来讲也是一个激励。本来我觉得至少还得三五年、十年来解决，但看到很多公司都拼命跟上在做，可能质量和水平上有一定差距，至少可以替代。