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金融界 2024 年 8 月 14 日消息，天眼查知识产权信息显示，北京晶亦精微科技股份有限公司申请一项名为“一种抛光头结构及抛光头驱动装置“，公开号 CN202410703794.1，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种抛光头结构及抛光头驱动装置，其中，抛光头结构包括承载件以及 N 个压力调整组件，其中，N≥2，承载件包括侧板和横板，侧板围成中空腔，横板盖设在中空腔的一侧，任意一个压力调整组件均包括弹性件以及至少一个压电致动器，弹性件设置在中空腔内，弹性件具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面分布有压电致动器，第二表面用于贴合待抛光件的至少部分第三表面；任意一个压电致动器均具有在对应的弹性件产生第一压力的抛光状态，在抛光状态下，弹性件变形并对待抛光件产生第二压力，压电致动器根据施加的电场产生相应的压力，减少了达到设定压力的时间，从而提高了压力调整的响应速度，进而提高了晶圆平坦化效果。
本文源自：金融界
作者：情报员
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