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中科仪申请一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置专利,实现腐蚀性气体的准确腐蚀测试

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金融界 2024 年 8 月 31 日消息,天眼查知识产权信息显示,中科仪(南通)半导体设备有限责任公司,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请一项名为“一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置“,公开号 CN202410501439.6 ,申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置,包括真空腔室(1)、排气真空泵(7)、气体循环泵(9)、气体导管(10)、加热器、温度探测器(5)、氟气浓度探测器(4)、真空计(6)和电控阀体(2),温度探测器(5)的探头向内延伸至样品方式区域,用于测量样品周围的实时温度,真空计(6)测量真空腔室(1)内部的真空度(1),电控阀体(2)通过阀体通断配合,实现低真空实验装置的真空保持、气体单向排出及气体内部循环流动,当氟气浓度低于设定数值时,实验装置自动排气、抽真空、补充氟气,氟气浓度及真空度达均达到设定数值后,实验装置开启气体内部循环流动功能,便于腐蚀性气体进行腐蚀测试。

本文源自:金融界

作者:情报员

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