盘点工业部首次发布光刻机相关重大技术成果，看完彻底震惊了！

近日，工信部公布了重大技术工业设备推广目录，该目录包含令国人振奋的光刻机设备。这意味国产光刻机技术已经被攻破，量产28nm光刻机时代已经来临！

重大技术装备就像是国家的“超级工具箱”，它们对于一个国家的实力和安全非常重要。中国首台（套）重大技术装备，就好比是咱们国家自己研发出来的第一批“超级工具”。这些工具可能包括：

1、整机设备：就是那些大型的、完整的机器，比如巨型的工业机器人或者先进的生产线。

2、核心系统：这些是机器的“大脑”和“心脏”，比如控制整个工厂运作的智能系统。

3、关键零部件：这些是机器中最重要的小部件，比如飞机的发动机或者汽车的变速箱。

这些“超级工具”都是中国科学家和工程师们通过大量的研究和创新，拥有了自己的知识产权。

虽然这些装备可能还没有在市场上卖得很多，但它们代表了中国在某些领域的技术突破，对于提升国家的科技实力和保障国家安全有着重大意义。

这些名单上的设备，非专业人一看，也不知道是什么意思？

我们来通俗易懂的方式浅显得解读下：

1、硅外延炉：这是一个大炉子，用来在硅片上生长一层薄薄的硅膜，就像在蛋糕上抹一层奶油一样，这是制造芯片的第一步。

2、湿法清洗机：这个机器用来清洗硅片，就像用肥皂和水清洗你的手一样，但它洗得更干净，确保硅片上没有灰尘和杂质。

3、氧化炉：这个设备用来在硅片表面形成一层氧化膜，就像在金属上形成一层锈，但这层氧化膜是有意为之，用来保护硅片。

4、涂胶显影机：这个机器在硅片上涂上一层特殊的胶，然后用光照射，胶会根据照射的图案固化或溶解，就像用阳光晒照片一样。

5、氟化氪光刻机：这是一种高级的“复印机”，它用极短的光波在硅片上“复印”出非常细小的电路图案。

6、氟化氩光刻机：这是另一种光刻机，但它使用更短的光波，可以“复印”出更细小的电路图案。

7、高能离子注入机：这个设备用来将离子注入硅片，就像给硅片注入能量，改变其电学性质，使它能够导电。

8、低能离子注入机：与高能离子注入机类似，但它注入的离子能量较低，用于不同的工艺需求。

9、等离子干法刻蚀机：这个机器用来在硅片上刻蚀出电路图案，就像用激光在木头上刻图案一样。

10、特种金属膜层刻蚀机：这是一种专门用来刻蚀金属层的机器，它能够非常精确地控制刻蚀的深度和均匀性。

这些设备共同工作，就像一个精密的工厂，每个步骤都至关重要，确保最终制造出高质量的集成电路。

这些设备生产厂家有：中微半导体设备股份有限公司（中微公司）、沈阳芯源微电子设备股份有限公司（芯源微）、盛美半导体设备（上海）有限公司（盛美半导体）、北方华创科技集团股份有限公司（北方华创）等。

中微公司：

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“中微公司”，证券代码“688012”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。
中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。

盛美半导体：

盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立于2005年，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业。

该公司立足自主创新，成功研发出全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，应用于28nm及以下技术节点的晶圆清洗领域。

此外，盛美半导体设备(上海)股份有限公司还是国内单片清洗设备的最大供应商之一，主要客户包括华虹集团、中芯国际等知名企业‌。

芯源微：

沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，注册资本8400万元，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，拥有省级企业技术中心和省级工程实验室。

2019年芯源微在上交所科创板上市，成为半导体光刻设备第一股，也是辽宁省科创板第一股。

北方华创

北方华创科技集团股份有限公司于2001年09月28日成立 ，是北京市国资委一级企业北京电子控股有限责任公司下属的国有控股上市公司，它是目前国内产品种类多、规模大的集成电路装备重点企业，产品主要包括刻蚀、物理气相沉积、化学气相沉积等集成电路工艺装备。

虽然国产半导体技术已经取得非凡成就，但是正如屈原《离骚》中所说的：

“路漫漫其修远兮，吾将上下而求索”，谨以此句，与君共勉之！（点赞分享）