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金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，溧阳中科海钠科技有限责任公司申请一项名为“一种低能耗低排放化学气相沉积方法与装置”的专利，公开号 CN 118703981 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明涉及气相沉积技术领域，具体公开了一种低能耗低排放化学气相沉积方法与装置，其将沉积工艺区划分为物理隔开的升温区、沉积区和降温区，各个功能区彼此独立进气、独立出气且独立温控，升温区和降温区内设置有用于实现气体在本区域内垂直于进料方向进行层流的引流组件，待沉积物料自动、依序通过升温区、沉积区和降温区后输出，沉积完成后回收升温区和降温区内的气体及其热量进行再利用。本发明既使得沉积气氛更为均匀，沉积效果好，又实现了气体及热量的回收利用，有助于降低CVD的能耗和载气消耗量，减少排放量，而且实现了控制精确的连续式沉积，使得粉末类电池材料如硅碳、磷碳负极材料的规模化、连续化的工业生产成为可能。
本文源自：金融界
作者：情报员
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