集成电路半导体废气如何处理|集成电路半导体废气处理方案

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集成电路半导体废气如何处理 | 集成电路半导体废气处理方案

随着集成电路半导体行业的快速发展，集成电路半导体废气处理成为了该行业亟需解决的问题。半导体生产过程中产生的废气不仅对环境造成污染，还对人体健康构成威胁。因此，采取有效的废气处理措施至关重要。那么，集成电路半导体废气如何处理？本文将介绍一种采用干式过滤器、沸石转轮和催化燃烧装置的集成电路半导体废气处理方案。

1. 集成电路半导体废气来源与成分

集成电路半导体生产过程中，（搜索“常州喆林环保工程”找我们选购设备定制方案）由于使用了大量有机溶剂和特殊气体，导致集成电路半导体废气的产生。集成电路半导体废气主要包括酸碱废气和有机废气，如氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等。集成电路半导体废气具有排气量大、浓度小的特点，对大气环境和人体健康都有潜在的危害。

2. 集成电路半导体废气处理方案——干式过滤器+沸石转轮+催化燃烧装置

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2.1 干式过滤器

集成电路半导体废气首先通过干式过滤器进行预处理，去除集成电路半导体废气中的粉尘和颗粒物。干式过滤器能有效去除0.5um以上的尘粒，净化效率大于等于98%。这一步骤能有效保护后续处理设备，延长其使用寿命。

2.2 沸石转轮

经过干式过滤器处理后的集成电路半导体废气，随后进入沸石转轮进行吸附浓缩。沸石转轮是一种高效的吸附浓缩设备，它利用沸石分子筛的高吸附效率，将大风量、低浓度的集成电路半导体废气浓缩为小风量、高浓度的集成电路半导体废气。沸石转轮分为吸附区、脱附区和冷却区，通过转轮的旋转，在转轮上同时完成VOCs的吸附、脱附再生。

2.3 催化燃烧装置

沸石转轮吸附浓缩后的高浓度集成电路半导体废气，进入催化燃烧装置进行处理。催化燃烧装置在300-400℃的温度下，利用催化剂的作用将有机组分中的C、H化合物氧化成无害的CO2和H2O。催化燃烧技术具有处理效率高、催化温度低、占地面积小、安全性能高等优点。

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3. 集成电路半导体废气处理工艺流程

1. 废气收集：通过集气系统将生产过程中产生的集成电路半导体废气收集起来。
2. 干式过滤：集成电路半导体废气通过干式过滤器去除粉尘和颗粒物。
3. 沸石转轮吸附：集成电路半导体废气进入沸石转轮进行吸附浓缩。
4. 催化燃烧：浓缩后的集成电路半导体废气进入催化燃烧装置进行高温氧化处理。
5. 达标排放：处理后的集成电路半导体废气通过烟囱排放到大气中，达到国家排放标准。

4. 结论

采用干式过滤器+沸石转轮+催化燃烧装置的集成电路半导体废气处理方案，能有效去除集成电路半导体生产过程中产生的有机废气，减少对环境和人体健康的影响。集成电路半导体废气处理方案具有处理效率高、运行成本低、操作简便等优点，适合集成电路半导体厂的废气处理需求。通过实施该集成电路半导体废气处理方案，集成电路半导体厂将能实现废气的达标排放，为保护环境和人类健康做出贡献。