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华为申请一种装置及其应用专利,用于化学气相沉积或原子层沉积应用过程

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金融界2024年10月23日消息,国家知识产权局信息显示,华为技术有限公司申请一项名为“一种装置及其应用”的专利,公开号 CN 118792631 A,申请日期为 2023年4月。

专利摘要显示,本文涉及半导体制造工艺技术领域,尤其涉及一种装置及其应用。本文所述装置包含具有底部、侧壁、和密封盖的容器以及设置于其中的托盘。本文所述装置可以有利地用于化学气相沉积或原子层沉积应用过程。

本文源自:金融界

作者:情报员

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