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南通优睿半导体申请半导体晶圆切割方法专利,有效确保晶圆表面平整度满足后续工艺要求

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金融界2024年10月25日消息,国家知识产权局信息显示,南通优睿半导体有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆的切割方法”的专利,公开号CN 118808942 A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体晶圆的切割技术领域,且公开了一种半导体晶圆的切割方法。该方法通过设置符合标准的晶圆作为参考,帮助判断待检测晶圆的表面平整度和缺陷。激光器经过准直后,形成平行光束,有效减少光在传播过程中的散射和发散,确保干涉条纹生成的精度。平行光束经分光器分为两束,分别照射在标准晶圆和待检测晶圆表面,通过反射形成干涉条纹。反射镜的角度调整确保光束精确照射并返回分光器,生成清晰的干涉条纹图像。随后,通过分析干涉条纹,能够直观呈现晶圆表面的微观差异,识别不平整区域并进行初步调整。该过程为后续晶圆的进一步处理提供了精准的数据依据,确保晶圆表面平整度满足后续工艺要求。

本文源自:金融界

作者:情报员

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