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应用材料公司申请用于改进底部净化气流均匀性的挡板实现专利,改进处理气体的压力分布方位角均匀性

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金融界2024年10月26日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于改进底部净化气流均匀性的挡板实现”的专利,公开号CN 118814139 A,申请日期为2020年6月。

专利摘要显示,本公开内容总体 上涉及用于改进处理气体的 压力分布的方位角均匀性的 设备。在一个示例中,处理腔 室包括盖、侧壁、和基板支撑 件以界定处理体积。底部碗、 腔室基底、和壁界定净化体 积所述净化体积设置于所述处理体积下方所述底部碗包括 第一表面,所述第一表面具有第一等化器孔。通路经由所述第 一等化器孔及入口将所述处理体积耦合至所述净化体积。所述 通路位于所述第一等化器孔上方。所述腔室基底具有净化端 口,所述净化端口可耦合至净化气体线以用于供应净化气体至 所述净化体积。挡板在所述净化端口上方的一高度处设置于所 述净化体积中,且经配置以偏转净化气体的轨迹。

本文源自:金融界

作者:情报员

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