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金融界2024年10月28日消息，国家知识产权局信息显示，中芯启通微电子（成都）有限公司取得一项名为“一种晶圆边缘抛光设备”的专利，授权公告号 CN 221871412 U，申请日期为 2024 年 2 月。
专利摘要显示，本实用新型涉及机械设备技术领域，提供了一种晶圆边缘抛光设备，包括台体和抛光机构，还包括移动组件、收集组件和驱动组件；移动组件包括导轨、第一丝杆、移动板和第一电机，导轨和丝杆分别沿横向设置在台体上，导轨与台体固定连接，丝杆的两端与台体转动连接，移动板沿横向设置在台体上，移动板与导轨滑动连接，移动板与丝杆螺纹连接，第一电机用于控制第一丝杆旋转；收集组件包括收集箱和挡板，收集箱放置在移动板上，收集箱上开有与抛光机构相对应的开口，收集箱的第一端上开有出料口，收集箱的第一端的底部与移动板铰接，挡板设置在出料口处，挡板的顶部与收集箱铰接；驱动组件用于控制收集箱的第二端向上摆动。
本文源自：金融界
作者：情报员
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