北京
分享至
金融界 2024 年 10 月 29 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“包括静电卡盘的衬底处理设备”的专利，公开号 CN 118824929 A，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，一种包括静电卡盘的衬底处理设备，包括下电极、上电极、第一 AC 电源、连接到加热器的第一滤波电路、通过第一滤波电路连接到加热器的隔离变压器、连接到隔离变压器的第二 AC 电源、设置在下电极中的内部电极、第二滤波电路和 DC 电源，其中 DC 电源在恒流控制下被驱动，并且隔离变压器的次级线圈是电浮置的。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
