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金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市库比克科技有限公司申请一项名为“微波等离子化学气相沉积设备”的专利，公开号 CN 118835224 A ，申请日期为 2024 年 9 月 。
专利摘要显示，本发明涉及微波等离子化学气相沉积技术领域，且公开了微波等离子化学气相沉积设备，包括反应部件，所述反应部件的一侧安装有波导部件，所述反应部件包括反应机壳、反应腔机构和磁力旋转调控机构，所述反应机壳与波导部件为固定连接，所述反应机壳的内侧设置有反应腔机构，所述反应腔机构的外侧设置有磁力旋转调控机构，所述磁力旋转调控机构包括电磁铁、调控组件、旋转组件和升降组件，所述反应腔机构的外侧设置有若干个电磁铁。本发明通过对反应腔内部的等离子体施加旋转式的磁场，在旋转式磁场的作用下，其内部的呈圆周等分的磁场进行圆周高速转动，进而在石英筒的内部形成类似圆柱体的等离子的分布状态，大幅提高了等离子体分布的均匀性。
本文源自：金融界
作者：情报员
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