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金融界2024年11月5日消息，国家知识产权局信息显示，梯欧开机器人（苏州）有限公司申请一项名为“气浮定梁平台”的专利，公开号 CN 118893726 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供了一种气浮定梁平台，涉及晶圆加工设备领域。其包括底座和横梁，所述底座上平行设置有一个气浮导轨和一对无铁芯直线电机，一个所述无铁芯直线电机设于所述气浮导轨的一侧，另一个所述无铁芯直线电机设于所述气浮导轨的另一侧，所述横梁上设有直线导轨，所述直线导轨的滑台上设有切割设备；所述气浮导轨上设有载物机构，所述载物机构包括基座、转台和陶瓷盘，所述转台设于所述基座上并用于驱动所述陶瓷盘转动，所述陶瓷盘的底部设有抽气管所述抽气管与真空发生器连通并在所述陶瓷盘的顶部产生负压，待切槽的晶圆吸附在所述陶瓷盘的顶部。本申请具有通过提高对晶圆的驱动精度的方式来提高对晶圆切槽精度的效果。
本文源自：金融界
作者：情报员
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