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金融界2024年11月5日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司取得一项名为“一种管路的支撑结构和半导体加工设备”的专利，授权公告号 CN 221943378 U，申请日期为 2023 年 11 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种管路的支撑结构和半导体加工设备。管路的支撑结构包括：支撑管路段，通过固定件设置于机台的外侧，用以连接两段传输管路；以及所述固定件，包括多组螺栓组件，用以多维度地调节所述支撑管路段的位置，以使所述支撑管路段对接所述两段传输管路通过上述管路的支撑结构，能够对悬挂状态的传输管路提供支撑力，避免管路因其自身的重力，以及内部抽真空后产生的压力，导致管路受到向下的力，发生管路泄漏问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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