金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,广东聚华印刷显示技术有限公司取得一项名为“气体分散装置以及包括其的气相沉积装置”的专利,授权公告号 CN 221971672 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种气相分散装置以及包括其的气相沉积装置,气体分散装置包括气体分散组件和承载组件;气体分散组件包括沿气体流向依次连接的第一分散壳体、第二分散壳体和第三分散壳体第分散壳体内设置有搅拌器;第二分散壳体与第三分散壳体之间通过多个通气口连通;第三分散壳体的出气侧遍布多个出气口;承载组件位于气体分散组件的出气侧,承载组件用于放置待处理件。本实用新型通过多级分散,不仅实现了气体混合均匀,而且实现了出气均匀。
本文源自:金融界
作者:情报员
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