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金融界2024年11月12日消息，国家知识产权局信息显示，上海亚曼光电科技有限公司取得一项名为“一种光刻机安装用辅助调平装置”的专利，授权公告号 CN 221977267 U，申请日期为 2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型涉及光刻机辅助调平领域，尤其涉及一种光刻机安装用辅助调平装置。包括底板，所述底板的上表面安装有移动组件，所述移动组件的一端安装有加工物镜，所述底板的一侧设置有机体，所述机体靠近底板的一侧设有辅助结构所述辅助结构包括两个滑轨，两个所述滑轨与机体固定连接，所述滑轨的内壁滑动连接有滑块，所述滑块靠近底板的一侧固定连接有延长板，所述延长板与底板固定连接，两个所述滑块相互远离的一侧均固定连接有连接板，所述连接板的内壁螺纹连接有螺杆，所述螺杆与滑块相抵接。本实用新型提供的一种光刻机安装用辅助调平装置具有可以方便对底板进行辅助安装，以及对底板进行调平的优点。
本文源自：金融界
作者：情报员
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