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日本第一台、EUV设备12月中旬送抵,Rapidus要用

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日本官民合作设立的芯片代工厂Rapidus正在北海道千岁市兴建工厂、目标2027年量产2纳米(nm)芯片。而Rapidus订购的极紫外光(EUV)微影设备将在12月中旬送抵北海道新千岁机场,这将是日本国内导入的第一台EUV微影设备。

日经新闻14日报道,将设置在Rapidus北海道工厂的EUV微影设备将在12月中旬送抵北海道新千岁机场,这将是日本国内导入的第一台EUV微影设备、将利用多架大型货机运送。

EUV微影设备是量产最先进芯片所不可或缺的,1台售价数百亿日元,Rapidus未来规划导入数台EUV设备。生产EUV设备的艾司摩尔(ASML)将在千岁市内设置服务据点。

据报道,Rapidus计划在2025年4月试产2纳米芯片,据社长小池淳义指出,包含EUV设备在内、北海道工厂内“将导入2百多台设备”。据千岁市指出,工厂工程进度(10月底)为63%、照计划进行。在11月中旬时、有约4,400名工人参与工厂兴建。

(首图来源:Rapidus)

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