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金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，浙江求是半导体设备有限公司申请一项名为“一种装载腔室、外延生长设备以及托盘取放方法”的专利，公开号 CN 119020854 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请提供一种装载腔室和外延生长设备。本申请的装载腔室包括腔室主体、盖板和至少一个开关门组件，腔室主体包括底板及与底板连接的侧壁，底板和侧壁形成容置腔，盖板的一端与侧壁中对应的第一侧板铰接，盖板用于封闭容置腔，开关门组件包括第一传动件和第一驱动件，第一传动件的第一端与盖板连接，以带动盖板转动，使盖板封闭或打开容置腔；第一驱动件与第一传动件的第二端连接，用于控制第一传动件运动，以使得第一传动件带动盖板转动；其中，侧壁中与第一侧板相邻的第二侧板开设有条形孔，第一传动件插置于条形孔。本申请的装载腔室和外延生长设备能够自动控制盖板的开启和关闭，无须人工手动操作。
本文源自：金融界
作者：情报员
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