北京
分享至
金融界2024年11月29日消息，国家知识产权局信息显示，博纯材料股份有限公司申请一项名为“一种乙硼烷生产合成装置及合成工艺”的专利，公开号CN 119034665 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，公开一种乙硼烷生产合成装置及合成工艺，生产合成装置包括反应罐体，反应罐体的罐底设有第一转动板，第一转动板与反应罐体的底壁围设成第一集气腔室，第一转动板与反应罐体的侧壁围设成反应腔室，第一转动板靠近反应腔室一侧设有竖向的第导气管第导气管与第一集气腔室相连通，第一导气管外周开设有若干个供三氯化硼气体穿设的透气孔；反应罐体外周设有驱动组件，驱动组件驱使第一转动板、第一导气管绕反应罐体中心轴线公转。在本申请中，驱动组件驱使第一转动板、第一导气管绕着反应罐体的中心轴线转动，使得三氯化硼可以与更大范围的硼氢化钠相接触，提高乙硼烷的生产效率。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
