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歌尔微电子申请 MEMS 结构、光学传感器和电子设备专利,MEMS 结构可靠性高

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金融界 2024 年 11 月 29 日消息,国家知识产权局信息显示,歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“MEMS 结构、光学传感器和电子设备”的专利,公开号 CN 119038483 A,申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示,本申请公开了一种 MEMS 结构、光学传感器和电子设备。所述 MEMS 结构包括:壳体,所述壳体上形成有第一通孔;光反射器,所述光反射器包括振膜和设置于所述振膜一侧的光反射区,所述振膜的边缘处设置有悬臂梁,所述振膜通过所述悬臂梁连接于所述壳体上,使所述光反射器位于所述第一通孔内;背极板,所述背极板上设置有光栅区,所述背极板间隔设置于所述光反射器靠近于所述光反射区的一侧,使所述光栅区在所述反射器上的投影的至少一部分与所述光反射区重合。本申请提供的 MEMS 结构可靠性高。

本文源自:金融界

作者:情报员

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