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金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“半导体废气处理装置及半导体制程系统”的专利，公开号CN 119042643 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请涉及一种半导体废气处理装置及半导体制程系统。该半导体废气处理装置包括：至少一个废气进气口、第一水洗部、燃烧部和第二水洗部。至少一个废气进气口的一端连接外部废气管路。第一水洗部与至少一个废气进气口的另一端连接，内部为腔体，外周设置至少一个喷淋单元。喷淋单元与第一水洗部的腔体连通。燃烧部包括燃烧腔体和至少两个燃烧单元，燃烧腔体的一端与第一水洗部连接，呈水平方向设置。至少两个燃烧单元设置在燃烧腔体的外周。燃烧单元包括：燃料气体管路设置在燃烧单元表面，与燃烧腔体连通。至少两个助燃气体管路设置在燃烧单元表面，与燃烧腔体连通。点燃单元设置在燃烧腔体内部。第二水洗部的内部为腔体，与燃烧部的另一端连接。
本文源自：金融界
作者：情报员
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