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金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，上海亚曼光电科技有限公司取得一项名为“一种光刻机版盒定位锁紧装置”的专利，授权公告号CN 222071049 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机版盒定位锁紧装置。包括机座，所述机座的表面设置有版盒主体所述机座两端表面对应版盒主体的位置均设有调节装置，所述调节装置包括两个固定板，两个所述固定板彼此靠近的一侧转动连接有同一个驱动杆，所述驱动杆的圆弧面开设有螺纹方向相反的螺纹，所述驱动杆的圆弧面两端均螺纹连接有转动环，所述转动环的表面均转动连接有连接板，所述连接板远离转动环的一端转动连接有挤压块，所述机座表面对应挤压块的位置固定连接有定位块。本实用新型提供的一种光刻机版盒定位锁紧装置具有方便快捷地对版盒位置进行挤压限位，避免版盒发生松动偏移的情况出现。
本文源自：金融界
作者：情报员
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