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金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“一种涂胶显影设备”的专利，授权公告号 CN 222071048 U，申请日期为 2023年12 月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造设备领域，提供了一种涂胶显影设备，所述涂胶显影设备包括：片盒用于存储晶圆；穿墙式载片单元包括底板和设置在底板上的载片单元，载片单元被配置于同时承载多个晶圆；晶圆机械手包括竖直设置的多个晶圆手指，每个晶圆手指用于承载一个晶圆；层间机械手被配置于能够对穿墙单元组或载片单元逐片取放晶圆；穿墙单元组设置于层间机械手一侧；工艺模块用于对晶圆进行工艺处理，本实用新型设置了能够一次性取放所有晶圆的晶圆机械手，同时穿墙式载片单元可以将取出的所有晶圆在晶圆机械手和层间机械手之间进行移动，向后传递，省去了原有结构中晶圆逐片移动所需的时间。
本文源自：金融界
作者：情报员
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