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金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室和半导体工艺设备”的专利，公开号CN 119061384 A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本发明公开一种半导体工艺腔室和半导体工艺设备，所公开的半导体工艺腔室包括基座、用于支撑基座的支撑轴、环绕基座设置，且与基座在水平方向间隔设置的预热环；半导体工艺腔室还包括位置检测装置；位置检测装置包括多个检测组件，每一检测组件均包括第一导电件，与第一导电件对应的第二导电件以及检测电路；多个检测组件中的第二导电件沿支撑轴的周向均匀固定于支撑轴的轴壁上；每一第一导电件的第一端与预热环固定连接，第一导电件的第二端靠近对应的第二导电件的第一端、且与第二导电件的第一端间隔设置；每一第一导电件的第二端与对应的第二导电件的第一端之间的距离均为预设距离，预设距离小于预热环与基座在水平方向上的间隔距离。
本文源自：金融界
作者：情报员
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