网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
小米小爱音箱回答“可在高楼学习飞行”引争议!客服称已修复

小米小爱音箱回答“可在高楼学习飞行”引争议!客服称已修复

南方都市报
2024-12-06 16:32:29
人算不如天算,家有这3生肖12月横财一发再发,好事接踵而至

人算不如天算,家有这3生肖12月横财一发再发,好事接踵而至

人閒情事
2024-12-07 06:01:18
提前复出!队记:德拉蒙德通过了赛前测试 今日将会出战魔术!

提前复出!队记:德拉蒙德通过了赛前测试 今日将会出战魔术!

直播吧
2024-12-07 07:26:52
公公:儿媳妇真行

公公:儿媳妇真行

书写奇篇章
2024-12-06 12:13:37
著名主持人朱迅:生命终将结束,但只要有他在,天塌下来又有何妨

著名主持人朱迅:生命终将结束,但只要有他在,天塌下来又有何妨

小强说娱
2024-12-06 23:04:51
难怪中国如此淡定,真正的高手向来是轻易不出手,出手必致命!

难怪中国如此淡定,真正的高手向来是轻易不出手,出手必致命!

沧海一书客
2024-12-06 09:21:24
1000 万,薛其坤、谢晓亮院士获奖

1000 万,薛其坤、谢晓亮院士获奖

生物学霸
2024-12-06 16:36:17
陶琳晒特斯拉车主手写感谢信:让不会操作手机的老人也能如愿

陶琳晒特斯拉车主手写感谢信:让不会操作手机的老人也能如愿

沙雕小琳琳
2024-12-06 18:12:23
合格率仅3%!很多人在用,没有国家标准

合格率仅3%!很多人在用,没有国家标准

环球网资讯
2024-12-06 09:51:28
港圈最好命天后:19岁爆火,25岁退圈,姐唱歌是为了玩?

港圈最好命天后:19岁爆火,25岁退圈,姐唱歌是为了玩?

美芽
2024-12-05 19:11:35
平鑫涛儿子平云不愿提及琼瑶,曾替母亲向琼瑶讨要公道

平鑫涛儿子平云不愿提及琼瑶,曾替母亲向琼瑶讨要公道

素素娱乐
2024-12-06 12:54:33
看了琼瑶与林青霞旧照,明白平鑫涛当年为啥爱上她了,有才又漂亮

看了琼瑶与林青霞旧照,明白平鑫涛当年为啥爱上她了,有才又漂亮

小果趣味体育
2024-12-06 13:43:47
下午4点,2025澳网正赛名单出炉:中国10人在列,郑钦文冲击冠军

下午4点,2025澳网正赛名单出炉:中国10人在列,郑钦文冲击冠军

侃球熊弟
2024-12-06 16:24:05
张碧晨这身材真好,不明白华晨宇怎么就看不上她。都已经有女儿了

张碧晨这身材真好,不明白华晨宇怎么就看不上她。都已经有女儿了

人情皆文史
2024-11-01 00:13:49
赵奕欢海边漫步,身着泳衣,大秀好身材!

赵奕欢海边漫步,身着泳衣,大秀好身材!

小小一米月儿
2024-12-07 01:25:03
故事:男子93年在上海买6套别墅,遗忘20年后回国,竟当场愣住了

故事:男子93年在上海买6套别墅,遗忘20年后回国,竟当场愣住了

五元讲堂
2024-12-02 14:29:31
谈一个练体育的女朋友是啥感受? 网友:感觉自己身体被掏空。。

谈一个练体育的女朋友是啥感受? 网友:感觉自己身体被掏空。。

美好客栈大掌柜
2024-12-04 00:58:15
33岁郑爽在美国晒自拍照,穿搭朴素面容消瘦,发际线后移严重

33岁郑爽在美国晒自拍照,穿搭朴素面容消瘦,发际线后移严重

南城无双
2024-12-05 01:26:05
范冰冰发文悼念琼瑶,两人曾交恶对簿公堂,琼瑶:小丫鬟忘恩负义

范冰冰发文悼念琼瑶,两人曾交恶对簿公堂,琼瑶:小丫鬟忘恩负义

花花lo先森
2024-12-05 09:45:48
扎心!24岁AC米兰弃将泰山压顶式惊艳破门,攻破了AC米兰的大门

扎心!24岁AC米兰弃将泰山压顶式惊艳破门,攻破了AC米兰的大门

侧身凌空斩
2024-12-07 04:12:41
2024-12-07 07:43:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4585594文章数 542635关注度
往期回顾 全部

财经要闻

黄文政谈起点收入:不工作也应有收入?

头条要闻

美军高官没憋住:我们刚发报告 中俄战机歘一下就来了

头条要闻

美军高官没憋住:我们刚发报告 中俄战机歘一下就来了

体育要闻

9号再见!孙悦球衣正式退役

娱乐要闻

《情书》女主角去世 被发现倒在浴缸中

科技要闻

这一次,多亏了日本?

汽车要闻

星途星纪元 ET增程四驱版于12月15日上市

态度原创

手机
本地
家居
亲子
公开课

手机要闻

苹果为iPhone 18 Pro和iPad Pro准备的第二款5G调制解调器有望支持毫米波

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

家居要闻

百年之居 打造四世同堂宜居空间

亲子要闻

3 折起!抢大牌「真」羽绒,亲子一起入

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

无障碍浏览 进入关怀版