网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
门口放“地垫”已经过时了,建议学学上海人的做法,太高级了!

门口放“地垫”已经过时了,建议学学上海人的做法,太高级了!

简约装修设计美图
2024-12-06 11:33:00
热点问答 | 哈马失守意味着什么?大马士革危险了?

热点问答 | 哈马失守意味着什么?大马士革危险了?

上观新闻
2024-12-06 17:57:11
边带娃边开会?效率部长演示什么叫效率!马斯克发文要把自己裁掉

边带娃边开会?效率部长演示什么叫效率!马斯克发文要把自己裁掉

派大星纪录片
2024-12-07 13:42:08
闹大了!赵丽颖评论区怒怼粉丝,粉丝都被伤透了心,目前脱粉严重

闹大了!赵丽颖评论区怒怼粉丝,粉丝都被伤透了心,目前脱粉严重

飞花文史
2024-12-07 10:40:42
俄方明确和谈条件:乌放弃加入北约,撤出乌东四地!

俄方明确和谈条件:乌放弃加入北约,撤出乌东四地!

上观新闻
2024-12-07 13:56:11
实探嘉善县快递“停摆”风波:有承包商月收入为负数,有快递员账号停用后仍被扣罚

实探嘉善县快递“停摆”风波:有承包商月收入为负数,有快递员账号停用后仍被扣罚

红星新闻
2024-12-07 14:53:17
黄仁勋,突发!

黄仁勋,突发!

证券时报
2024-12-07 00:13:15
美媒劝拜登特朗普:让尹锡悦流亡夏威夷

美媒劝拜登特朗普:让尹锡悦流亡夏威夷

观察者网
2024-12-07 14:11:05
50分40板27助攻!约基奇刷爆NBA纪录,掘金管理层你真不后悔?

50分40板27助攻!约基奇刷爆NBA纪录,掘金管理层你真不后悔?

篮球板凳席
2024-12-07 09:04:25
昔日中国金童奖!25岁刘若钒本赛季20场0球,进球荒已长达2年

昔日中国金童奖!25岁刘若钒本赛季20场0球,进球荒已长达2年

直播吧
2024-12-07 14:01:10
107-90!库里复出难救主,爱德华兹30分,森林狼轻取勇士迎4连胜

107-90!库里复出难救主,爱德华兹30分,森林狼轻取勇士迎4连胜

全景体育V
2024-12-07 13:37:47
最多1天卖4000斤!男子靠这在杭州买房:以前想都不敢想!有人一口气买走1200斤

最多1天卖4000斤!男子靠这在杭州买房:以前想都不敢想!有人一口气买走1200斤

环球网资讯
2024-12-07 16:01:12
金·卡戴珊又放大招!深夜穿泳装骑行,造型科幻氛围直接拉满

金·卡戴珊又放大招!深夜穿泳装骑行,造型科幻氛围直接拉满

南城无双
2024-12-06 00:13:12
2004年,马加爵被注射死刑,女同学透露其怪癖,有个细节值得注意

2004年,马加爵被注射死刑,女同学透露其怪癖,有个细节值得注意

猫眼观史
2024-12-04 15:49:16
冲突现场!39岁C罗摸脸、搂抱安抚36岁的本泽马,球迷:大哥风范

冲突现场!39岁C罗摸脸、搂抱安抚36岁的本泽马,球迷:大哥风范

侧身凌空斩
2024-12-07 11:26:45
Woj:科比觉得自己会去纽约退役 他说他被湖人特赦了就签尼克斯

Woj:科比觉得自己会去纽约退役 他说他被湖人特赦了就签尼克斯

直播吧
2024-12-07 16:08:20
琼瑶遗体被解剖!体面离开成泡影,遗书白写了

琼瑶遗体被解剖!体面离开成泡影,遗书白写了

钱小刀娱乐
2024-12-04 21:17:07
网友一觉醒来天塌了这太社死了,鸿蒙版微信能看到自己给别人备注!

网友一觉醒来天塌了这太社死了,鸿蒙版微信能看到自己给别人备注!

滑稽斑马呀
2024-12-07 11:16:11
奉劝大家: 晚上吃它最折寿,第一个你就经常吃,赶紧住嘴!

奉劝大家: 晚上吃它最折寿,第一个你就经常吃,赶紧住嘴!

华人星光
2024-12-05 13:14:13
你绝对不知道!阴蒂竟是女性愉悦的核心!

你绝对不知道!阴蒂竟是女性愉悦的核心!

智见派
2024-12-06 15:59:39
2024-12-07 17:12:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4593940文章数 542640关注度
往期回顾 全部

财经要闻

时隔半年,央行再增持黄金!

头条要闻

浙江嘉善快递"停摆":不能收不能寄 有承包商月入为负

头条要闻

浙江嘉善快递"停摆":不能收不能寄 有承包商月入为负

体育要闻

昔日“最强00后”,还能兑现天赋吗?

娱乐要闻

刚和好又来?李行亮又试图激怒麦琳

科技要闻

OpenAI“强化微调”:CEO:今年最大惊喜

汽车要闻

银河星舰7 EM-i上市 先享价9.98-13.28万元

态度原创

家居
本地
时尚
教育
军事航空

家居要闻

百年之居 打造四世同堂宜居空间

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

年过四十的女人秋冬怎么穿?羽绒服和大衣是首选,简约且实用

教育要闻

离谱!迟到、睡懒觉都会被罚款!班主任一学期收了七八万

军事要闻

普京:“榛树”导弹将部署至白俄罗斯

无障碍浏览 进入关怀版