网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
为何说九二共识已时过境迁,一国两制都显多余,台湾只能一国一制

为何说九二共识已时过境迁,一国两制都显多余,台湾只能一国一制

箫十三郞
2024-12-08 09:35:14
怀特:我根本没想过球会进,我不想贬低奥纳纳,但我以为他会扑出

怀特:我根本没想过球会进,我不想贬低奥纳纳,但我以为他会扑出

直播吧
2024-12-08 14:13:10
刘晓庆的瓜愈演愈烈!小男友再爆猛料私密视频流出,他得寸进尺了

刘晓庆的瓜愈演愈烈!小男友再爆猛料私密视频流出,他得寸进尺了

辣条小剧场
2024-11-09 06:22:17
项立刚炮轰叶嘉莹:退休就跑回国养老,有什么可吹的!

项立刚炮轰叶嘉莹:退休就跑回国养老,有什么可吹的!

老蒋谈策划
2024-11-30 10:24:32
揭秘俄罗斯食品馆:中国公司,东北制造,网友调侃:俄粉真好骗!

揭秘俄罗斯食品馆:中国公司,东北制造,网友调侃:俄粉真好骗!

谭谈社会
2024-12-06 18:14:50
中国不卖锑镓锗!德国汉高:望中国松口,已无力向客户交付产品

中国不卖锑镓锗!德国汉高:望中国松口,已无力向客户交付产品

史行途
2024-12-09 11:58:32
为何叙利亚闪崩?独家分析:普京计中计,特朗普已入局?

为何叙利亚闪崩?独家分析:普京计中计,特朗普已入局?

兵国大事
2024-12-09 00:15:03
美国不卖,中国也不买!高端芯片中美终于实现了“各走各的道”!

美国不卖,中国也不买!高端芯片中美终于实现了“各走各的道”!

Thurman在昆明
2024-12-08 19:04:30
中纪委明确:嫖娼的党员,要一律开除

中纪委明确:嫖娼的党员,要一律开除

微法官
2024-07-31 08:05:49
真荒唐!韩德君伸脚绊倒张镇麟,裁判给张镇麟3次罚球,离了大谱

真荒唐!韩德君伸脚绊倒张镇麟,裁判给张镇麟3次罚球,离了大谱

南海浪花
2024-12-09 11:15:18
马斯克做梦都没想到!星链成他人“嫁衣”,被我国用来探测战机?

马斯克做梦都没想到!星链成他人“嫁衣”,被我国用来探测战机?

蜉蝣说
2024-12-07 10:33:48
同事间的贫富差距有多离谱,网友:整个公司,就我骑电动车上班

同事间的贫富差距有多离谱,网友:整个公司,就我骑电动车上班

小未泡沫
2024-12-08 17:47:05
雷军造车不到一年,就成全球第4、中国第2大车企了,直追比亚迪

雷军造车不到一年,就成全球第4、中国第2大车企了,直追比亚迪

互联网.乱侃秀
2024-12-07 12:12:37
王诗龄喜提千万劳斯莱斯,李湘发文16岁就可以考驾照,网友破防了

王诗龄喜提千万劳斯莱斯,李湘发文16岁就可以考驾照,网友破防了

华知
2024-12-08 17:20:01
林更新与赵丽颖在蔡国强烟花秀现场偶遇,葛夕闺蜜也在场!

林更新与赵丽颖在蔡国强烟花秀现场偶遇,葛夕闺蜜也在场!

小毅说事
2024-12-08 21:57:06
他29岁当军长,作战时不听毛主席指示,战后被调离部队无缘授衔

他29岁当军长,作战时不听毛主席指示,战后被调离部队无缘授衔

顾史
2024-12-09 12:17:49
俄方明确和谈条件:乌放弃加入北约,撤出乌东四地!

俄方明确和谈条件:乌放弃加入北约,撤出乌东四地!

上观新闻
2024-12-07 13:56:11
何录春已任青海省委常委、政法委书记

何录春已任青海省委常委、政法委书记

政知新媒体
2024-12-09 11:35:36
蚂蚁集团的最新股权架构

蚂蚁集团的最新股权架构

壹号股权
2024-12-08 22:28:07
琼瑶告别仪式:粉丝冒雨排队,亲人到场送别,遗像被紫色花朵包裹

琼瑶告别仪式:粉丝冒雨排队,亲人到场送别,遗像被紫色花朵包裹

古希腊掌管松饼的神
2024-12-08 14:08:31
2024-12-09 13:19:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4607019文章数 486765关注度
往期回顾 全部

财经要闻

半导体新攻防

头条要闻

武功山一帐篷营地遭破坏 对方还嬉笑"双击关注扣波6"

头条要闻

武功山一帐篷营地遭破坏 对方还嬉笑"双击关注扣波6"

体育要闻

30岁临时工被裁员 NBA的人情与现实

娱乐要闻

尖叫之夜,明星们的小心思全照出来了

科技要闻

马云罕见演讲:AI改变一切 但不能决定一切

汽车要闻

保时捷经销商精简背后 是战略升级

态度原创

教育
时尚
房产
旅游
游戏

教育要闻

30天背完3500个高频词(可打印)每天背诵

冬天拒绝一身黑,这些彩色穿搭太好看了,时髦优雅又减龄

房产要闻

聚力・向前|网易房产年末特别策划:2024房产大事记

旅游要闻

春运热门航线集中在这些城市 记得提前购票

LOL实体卡牌推出限量套装:全球5000份、6张卡卖328

无障碍浏览 进入关怀版