网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
活久见,OnlyFans解除限制,国内可直连访问了?

活久见,OnlyFans解除限制,国内可直连访问了?

聚焦数码科技
2024-12-04 19:09:38
3-1,马竞逆转晋级,德保罗2妙传,24岁阿尔瓦雷斯利剑出鞘锁胜局

3-1,马竞逆转晋级,德保罗2妙传,24岁阿尔瓦雷斯利剑出鞘锁胜局

侧身凌空斩
2024-12-06 03:57:48
普京呼吁西方国家公司回归俄罗斯抢占市场

普京呼吁西方国家公司回归俄罗斯抢占市场

一种观点
2024-12-05 16:05:59
三年跌掉3000亿,疫苗首富,难了!

三年跌掉3000亿,疫苗首富,难了!

蓝鲸财经
2024-12-05 16:05:08
独家!网红账号“祁天道”已被平台封禁,粉丝超4000万

独家!网红账号“祁天道”已被平台封禁,粉丝超4000万

南方都市报
2024-12-05 16:50:52
蹭你怎么了?女主播模仿吴艳妮登热搜:刷礼物就能表演她招牌动作

蹭你怎么了?女主播模仿吴艳妮登热搜:刷礼物就能表演她招牌动作

娱官儿
2024-12-05 15:21:31
江苏几十名科级干部,因到上海招商有功得到提拔

江苏几十名科级干部,因到上海招商有功得到提拔

上观新闻
2024-12-05 09:41:14
郑州一货车司机因躲避执法跳桥身亡,最后画面流出,官方8字回应

郑州一货车司机因躲避执法跳桥身亡,最后画面流出,官方8字回应

博士观察
2024-12-05 15:30:59
胡塞武装,又是胡塞武装! 这次立大功了!

胡塞武装,又是胡塞武装! 这次立大功了!

星辰故事屋
2024-12-05 10:42:45
叙利亚要真变天了,中国的损失有多大,能不能出兵去反恐?

叙利亚要真变天了,中国的损失有多大,能不能出兵去反恐?

张斌说
2024-12-05 09:43:13
知名大厂宣布:部分员工,春节可返乡办公两个月!创始人曾表示:居家办公对员工绩效没有任何负面影响,值得推广

知名大厂宣布:部分员工,春节可返乡办公两个月!创始人曾表示:居家办公对员工绩效没有任何负面影响,值得推广

每日经济新闻
2024-12-05 18:33:18
叙利亚反对派武装已进入叙中部城市哈马市 俄方发声!美国警告:“伊斯兰国”可能在叙死灰复燃

叙利亚反对派武装已进入叙中部城市哈马市 俄方发声!美国警告:“伊斯兰国”可能在叙死灰复燃

每日经济新闻
2024-12-05 23:01:12
一场0-1,让曼城重返前4!热刺翻车,英超最新排名:曼联跌出前10

一场0-1,让曼城重返前4!热刺翻车,英超最新排名:曼联跌出前10

侃球熊弟
2024-12-06 06:08:30
虾皮公司一员工自曝找鸡,年薪百万只嫖500一次的,妻子怒曝细节

虾皮公司一员工自曝找鸡,年薪百万只嫖500一次的,妻子怒曝细节

派大星纪录片
2024-12-05 19:15:24
35死43伤!珠海驾车撞人案最新消息:嫌犯已脱险,最高检作出表态

35死43伤!珠海驾车撞人案最新消息:嫌犯已脱险,最高检作出表态

博士观察
2024-12-05 21:09:04
证监会停止降温股市!12月6号,今日凌晨的四大消息开始发酵!

证监会停止降温股市!12月6号,今日凌晨的四大消息开始发酵!

风口招财猪
2024-12-06 01:23:05
惹麻烦!马龙访问中国台湾因言辞不当被著名作家怒批,上纲上线?

惹麻烦!马龙访问中国台湾因言辞不当被著名作家怒批,上纲上线?

体坛知道分子
2024-12-06 06:20:03
网传深圳知名地产老板自杀,网友:老板为人仗义,一路创业不易…

网传深圳知名地产老板自杀,网友:老板为人仗义,一路创业不易…

火山诗话
2024-12-06 06:32:30
大厂女实习生自曝“钓领导”瞄准高P做为目标,争取半年怀孕躺平

大厂女实习生自曝“钓领导”瞄准高P做为目标,争取半年怀孕躺平

娱官儿
2024-12-05 19:48:20
网传因吴柳芳事件,某市体育局挨个给退役运动员打电话,积极做思想工作

网传因吴柳芳事件,某市体育局挨个给退役运动员打电话,积极做思想工作

小萝卜丝
2024-12-05 17:13:51
2024-12-06 08:40:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4561324文章数 542621关注度
往期回顾 全部

财经要闻

新疆棉花协会回应优衣库:坚决不能接受

头条要闻

牛弹琴:法国陷入深度危机 欧洲一哥马克龙挖了个大坑

头条要闻

牛弹琴:法国陷入深度危机 欧洲一哥马克龙挖了个大坑

体育要闻

3场失2点,姆巴佩又崩了......

娱乐要闻

琼瑶过世细节曝光 前一天嘱咐儿媳来家

科技要闻

OpenAI推o1完整版,还有月费200美元新服务

汽车要闻

2.4T+9AT+四驱 哈弗H9柴油版起售

态度原创

旅游
时尚
教育
公开课
军事航空

旅游要闻

武夷山有游客烧火,网友:怎能如此肆无忌惮?

赵露思记得别学虞书欣!

教育要闻

“新时代好少年”在逐梦路上闪闪发光 

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

军事要闻

德国总理:向乌克兰派兵“绝无可能”

无障碍浏览 进入关怀版