网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
韩国局势大反转!

韩国局势大反转!

健身狂人
2024-12-10 02:02:30
北京卫视首播!柳云龙领衔,全员演技派,36集谍战剧值得一看

北京卫视首播!柳云龙领衔,全员演技派,36集谍战剧值得一看

猪猪侃娱乐
2024-12-10 09:19:11
外媒评选WTA今年五大冷门,郑钦文奥运击败斯瓦泰克当选最大冷门

外媒评选WTA今年五大冷门,郑钦文奥运击败斯瓦泰克当选最大冷门

直播吧
2024-12-10 13:34:24
小米突然发布新SUV!定名小米YU7,压力给到特斯拉Model Y

小米突然发布新SUV!定名小米YU7,压力给到特斯拉Model Y

驾仕派
2024-12-09 22:01:28
14年来首次,货币政策再提“适度宽松”!牛市“新”旗手明日行情可期?

14年来首次,货币政策再提“适度宽松”!牛市“新”旗手明日行情可期?

每日经济新闻
2024-12-09 16:25:15
10个青年学生感染HIV的案例。

10个青年学生感染HIV的案例。

贴小君
2024-12-09 21:28:35
甄嬛举枪,孙悟空骑摩托!广电总局排查AI魔改短视频

甄嬛举枪,孙悟空骑摩托!广电总局排查AI魔改短视频

中关村在线
2024-12-10 11:17:18
余承东彻底失算!一场国补竟打得Mate70措手不及,消费者却开心了

余承东彻底失算!一场国补竟打得Mate70措手不及,消费者却开心了

青青子衿
2024-12-10 05:27:06
大陆首次对第一岛链进行“封锁”,90多艘战舰出动,赖清德要慌了

大陆首次对第一岛链进行“封锁”,90多艘战舰出动,赖清德要慌了

明月历史说
2024-12-10 09:20:00
终于出手了!英伟达被立案调查!国内半导体要起飞了?

终于出手了!英伟达被立案调查!国内半导体要起飞了?

陈小财
2024-12-09 21:06:56
男保姆照顾52岁阿姨,4个月后阿姨身体不适,女儿发现真相后愣住

男保姆照顾52岁阿姨,4个月后阿姨身体不适,女儿发现真相后愣住

红豆讲堂
2024-10-21 15:16:52
调查11000名中老年人后,发现爱打麻将者,最终会变这样…

调查11000名中老年人后,发现爱打麻将者,最终会变这样…

华人星光
2024-10-24 13:27:21
民进党要收拾马英九,最重五年不得邀请大陆人,王世坚都看不惯了

民进党要收拾马英九,最重五年不得邀请大陆人,王世坚都看不惯了

议纪史
2024-12-09 14:05:03
年轻时的辛芷蕾,嘴唇原来长这样

年轻时的辛芷蕾,嘴唇原来长这样

视点历史
2024-12-09 22:02:41
41+36+31!又是断档第一,你要继续这么打下去,火箭能直接冲冠了

41+36+31!又是断档第一,你要继续这么打下去,火箭能直接冲冠了

巴叔GO聊体育
2024-12-10 11:30:36
CBA第15轮最佳阵容:徐杰32+11领衔 刘传兴打爆周琦入选

CBA第15轮最佳阵容:徐杰32+11领衔 刘传兴打爆周琦入选

醉卧浮生
2024-12-10 10:52:42
黄岩岛全剧终,人民日报通电菲国,中方竖起铁墙,美特殊船只出动

黄岩岛全剧终,人民日报通电菲国,中方竖起铁墙,美特殊船只出动

历史阿务
2024-12-09 18:03:52
震惊!男子举报医院米饭变质被追罚9000,当地3个月未出检测结果

震惊!男子举报医院米饭变质被追罚9000,当地3个月未出检测结果

火山诗话
2024-12-10 06:37:41
疑春晚门票售价曝光:看台5万,指定圆桌68万,要镜头还得加2万

疑春晚门票售价曝光:看台5万,指定圆桌68万,要镜头还得加2万

缘浅娱深
2024-12-09 16:35:22
电视剧《我是刑警》必须马上停播,它起到的负面作用容易诱导犯罪

电视剧《我是刑警》必须马上停播,它起到的负面作用容易诱导犯罪

羽怡文学工作室
2024-12-07 18:35:02
2024-12-10 15:31:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4637843文章数 542674关注度
往期回顾 全部

财经要闻

半导体新攻防

头条要闻

琼瑶离世留"10亿巨额版权" 儿媳何琇琼发布10字声明

头条要闻

琼瑶离世留"10亿巨额版权" 儿媳何琇琼发布10字声明

体育要闻

30岁临时工被裁员 NBA的人情与现实

娱乐要闻

尖叫之夜,明星们的小心思全照出来了

科技要闻

马云罕见演讲:AI改变一切 但不能决定一切

汽车要闻

保时捷经销商精简背后 是战略升级

态度原创

本地
家居
艺术
数码
时尚

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

家居要闻

逸韵雅居 打造闲适的空间氛围

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

数码要闻

荣耀GT开启100元订金预订 三种配色至高1TB可选

冬天拒绝一身黑,这些彩色穿搭太好看了,时髦优雅又减龄

无障碍浏览 进入关怀版