网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
68岁港星定居内地月赚18万,难怪这些“过气”港星选择定居内地

68岁港星定居内地月赚18万,难怪这些“过气”港星选择定居内地

不八卦会死星人
2024-12-06 20:30:02
破案了!绿地集团董事长KTV不雅照为假!官方怒发文 无数网友躺枪

破案了!绿地集团董事长KTV不雅照为假!官方怒发文 无数网友躺枪

阿凫爱吐槽
2024-12-07 11:31:01
大样本研究发现,在外就餐越多,肿瘤死亡率剧增,且越便宜危害越大

大样本研究发现,在外就餐越多,肿瘤死亡率剧增,且越便宜危害越大

医护健康科普
2024-12-07 07:08:46
刚刚 | 否了!

刚刚 | 否了!

天津广播
2024-12-07 16:58:34
大马士革命悬一线!俄伊叙高官纷纷撤离,权威媒体终于客观报道

大马士革命悬一线!俄伊叙高官纷纷撤离,权威媒体终于客观报道

大风文字
2024-12-07 15:42:03
网友翻旧账:13年雅安地震三星捐款6000万,华为只捐了3000部库存手机

网友翻旧账:13年雅安地震三星捐款6000万,华为只捐了3000部库存手机

不掉线电波
2024-12-06 19:59:33
门口放“地垫”已经过时了,建议学学上海人的做法,太高级了!

门口放“地垫”已经过时了,建议学学上海人的做法,太高级了!

简约装修设计美图
2024-12-06 11:33:00
最多1天卖4000斤!男子靠这在杭州买房:以前想都不敢想!有人一口气买走1200斤

最多1天卖4000斤!男子靠这在杭州买房:以前想都不敢想!有人一口气买走1200斤

环球网资讯
2024-12-07 16:01:12
美急了,美媒体称中国监管机构要求电信运营商2027年淘汰美国芯片

美急了,美媒体称中国监管机构要求电信运营商2027年淘汰美国芯片

星辰故事屋
2024-12-06 18:03:21
上汽通用损失106亿美元!引发上汽集团巨额亏损!王晓秋怒了

上汽通用损失106亿美元!引发上汽集团巨额亏损!王晓秋怒了

网上车市
2024-12-07 12:14:52
情侣玩捉迷藏,男子爬进行李箱,女友将拉链拉上致其死亡被判终身监禁

情侣玩捉迷藏,男子爬进行李箱,女友将拉链拉上致其死亡被判终身监禁

北青网-北京青年报
2024-12-06 13:29:10
“反正不买!”是对“俄罗斯食品馆”的宣言:国人有独立的态度了

“反正不买!”是对“俄罗斯食品馆”的宣言:国人有独立的态度了

大风文字
2024-12-06 09:36:32
新型隐秘色情生意,把魔爪伸向少女,已形成产业,圈外人难以知晓

新型隐秘色情生意,把魔爪伸向少女,已形成产业,圈外人难以知晓

探秘历史
2024-12-07 13:30:03
网友:今年很惨!我和老公双双失业,这个月到目前为止收入600…

网友:今年很惨!我和老公双双失业,这个月到目前为止收入600…

火山诗话
2024-12-07 14:50:25
边带娃边开会?效率部长演示什么叫效率!马斯克发文要把自己裁掉

边带娃边开会?效率部长演示什么叫效率!马斯克发文要把自己裁掉

派大星纪录片
2024-12-07 13:42:08
“鸿茅药酒事件”当事人谭秦东突发心梗 回应:躲过一劫,活着挺好|封面头条

“鸿茅药酒事件”当事人谭秦东突发心梗 回应:躲过一劫,活着挺好|封面头条

封面新闻
2024-12-07 13:17:10
谢霆锋澳门献唱出意外,暴露重要部位尺寸惊人,女粉丝:不忍直视

谢霆锋澳门献唱出意外,暴露重要部位尺寸惊人,女粉丝:不忍直视

南城无双
2024-12-06 01:28:53
广东垮了!胡明轩肩膀脱臼长时间缺席,王少杰腰椎受伤走路艰难!

广东垮了!胡明轩肩膀脱臼长时间缺席,王少杰腰椎受伤走路艰难!

篮球资讯达人
2024-12-07 19:20:06
恒大融资牵出李晓鹏家族贪腐?金融界迷雾待解

恒大融资牵出李晓鹏家族贪腐?金融界迷雾待解

小正说历史
2024-12-07 17:50:31
平鑫涛写给琼瑶的情书曝光,夫妻称呼太亲昵,琼瑶生前视若珍宝

平鑫涛写给琼瑶的情书曝光,夫妻称呼太亲昵,琼瑶生前视若珍宝

180°视角
2024-12-07 12:53:00
2024-12-07 20:08:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4596012文章数 542643关注度
往期回顾 全部

财经要闻

时隔半年,央行再增持黄金!

头条要闻

专家:叙反对派逼近霍姆斯 俄驻叙军事基地面临严重威胁

头条要闻

专家:叙反对派逼近霍姆斯 俄驻叙军事基地面临严重威胁

体育要闻

昔日“最强00后”,还能兑现天赋吗?

娱乐要闻

74岁刘晓庆搀扶65岁倪萍,心态超年轻

科技要闻

OpenAI“强化微调”:CEO:今年最大惊喜

汽车要闻

银河星舰7 EM-i上市 先享价9.98-13.28万元

态度原创

房产
健康
数码
艺术
军事航空

房产要闻

聚力・向前|网易房产年末特别策划:2024房产大事记

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

数码要闻

惠普推出 Fortis G1m 系列笔记本,搭联发科迅鲲 520 处理器

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

军事要闻

普京:“榛树”导弹将部署至白俄罗斯

无障碍浏览 进入关怀版