网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
老外喜欢这种“避孕方式”,既舒适又不伤身,中国男女却难以接受

老外喜欢这种“避孕方式”,既舒适又不伤身,中国男女却难以接受

今日养生之道
2024-12-06 07:30:13
OBD 检测爆火,M 站成汽车界新焦点

OBD 检测爆火,M 站成汽车界新焦点

沙雕小琳琳
2024-12-06 11:10:55
广州市人大常委会副主任于绍文被查:在纪委系统任职超20年 曾任广州市纪委副书记

广州市人大常委会副主任于绍文被查:在纪委系统任职超20年 曾任广州市纪委副书记

红星新闻
2024-12-06 10:53:22
太火爆!上海不少人跨省买买买,凌晨大排长龙,有人省了近2000元

太火爆!上海不少人跨省买买买,凌晨大排长龙,有人省了近2000元

新民晚报
2024-12-05 17:50:18
卖公司了!清仓减持12.66%,套现32亿,超大封单跌停谁也出不去

卖公司了!清仓减持12.66%,套现32亿,超大封单跌停谁也出不去

历史阿务
2024-12-06 10:35:42
马斯克找老黄插队拿显卡:72亿GB200订单,加价也要

马斯克找老黄插队拿显卡:72亿GB200订单,加价也要

量子位
2024-12-05 13:02:21
她已被禁止发布作品

她已被禁止发布作品

每日新报
2024-12-06 06:35:50
10万美元前夕清仓比特币,美图公司被股民骂惨了

10万美元前夕清仓比特币,美图公司被股民骂惨了

财通社
2024-12-05 19:04:14
又一位中医大师倒下了

又一位中医大师倒下了

地球公民金建国
2024-12-04 19:05:02
郑州司机遇查车跳桥死亡,家属崩溃痛哭,制服人员跪地不敢抬头

郑州司机遇查车跳桥死亡,家属崩溃痛哭,制服人员跪地不敢抬头

娱乐圈见解说
2024-12-05 17:20:56
俄罗斯风味馆,俄粉与镰刀的双向奔赴

俄罗斯风味馆,俄粉与镰刀的双向奔赴

关尔东
2024-12-05 22:36:30
太嚣张了!300人团队疯狂下假单,大量顺风车司机被威胁:敢接独享试试?

太嚣张了!300人团队疯狂下假单,大量顺风车司机被威胁:敢接独享试试?

网约车观察室
2024-12-06 10:09:04
无广告,每天自动更新的 IPTV 源,支持IPV4/IPV6双栈访问

无广告,每天自动更新的 IPTV 源,支持IPV4/IPV6双栈访问

老蜗牛
2024-12-05 09:46:07
家没了……百度高级工程师38岁被裁员,房子没了,老婆跑了!

家没了……百度高级工程师38岁被裁员,房子没了,老婆跑了!

娱官儿
2024-12-05 18:56:01
哥伦比亚一机库发现2万具尸体,政府最新回应反转,到底谁说谎?

哥伦比亚一机库发现2万具尸体,政府最新回应反转,到底谁说谎?

派大星纪录片
2024-12-06 12:45:32
车圈“胖东来”!国内车企避之不及,特斯拉要给旧车免费换电池了

车圈“胖东来”!国内车企避之不及,特斯拉要给旧车免费换电池了

小李车评李建红
2024-12-04 07:44:34
卢东亮任山西省副省长

卢东亮任山西省副省长

新京报
2024-12-06 11:57:06
许家印背后的3座“靠山”:一位去世、一位判死刑,身份都不简单

许家印背后的3座“靠山”:一位去世、一位判死刑,身份都不简单

阿器谈史
2024-12-05 12:40:11
货车司机遇查跳桥身亡后续:31岁俩娃,家属崩溃,执法员跪地不起

货车司机遇查跳桥身亡后续:31岁俩娃,家属崩溃,执法员跪地不起

小盖纪实
2024-12-06 09:37:59
Shams:莫雷事件对NBA造成了数亿美元的损失

Shams:莫雷事件对NBA造成了数亿美元的损失

直播吧
2024-12-06 10:11:12
2024-12-06 14:19:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4565673文章数 542626关注度
往期回顾 全部

财经要闻

新疆棉花协会回应优衣库:坚决不能接受

头条要闻

贝索斯态度大变拥抱特朗普:过去八年里 他已经成长了

头条要闻

贝索斯态度大变拥抱特朗普:过去八年里 他已经成长了

体育要闻

当家球星伤停后,他们是NBA最猛球队

娱乐要闻

琼瑶和儿媳何琇琼:婆媳关系胜似母女

科技要闻

OpenAI推o1完整版,还有月费200美元新服务

汽车要闻

星途星纪元 ET增程四驱版于12月15日上市

态度原创

时尚
手机
亲子
游戏
家居

女人上了40岁这样穿衣打扮,真实大方不做作,谁看了都夸你美

手机要闻

新一代电子茅台!华为Mate X6系列首销:12999元起

亲子要闻

萌娃睡觉喜欢抱个大瓶子,是更有安全感吗?

索尼官宣PS年终总结活动!上线时间确定

家居要闻

百年之居 打造四世同堂宜居空间

无障碍浏览 进入关怀版