网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
表弟在大马士革公开吊死,巴沙尔住进莫斯科4000 万美元的豪宅

表弟在大马士革公开吊死,巴沙尔住进莫斯科4000 万美元的豪宅

大风文字
2024-12-10 09:16:24
外国老年团来上海旅游惊呆了!表情统一,引发网友热议

外国老年团来上海旅游惊呆了!表情统一,引发网友热议

魔都姐姐杂谈
2024-12-10 11:09:36
越想越不对劲!被拐13年孩子12岁,人是上午拐的,裤子下午扒的?

越想越不对劲!被拐13年孩子12岁,人是上午拐的,裤子下午扒的?

派大星纪录片
2024-12-10 16:49:43
江苏男子首次带女友回家,母亲做3道菜招待,一脸嫌弃暗示赶快分手

江苏男子首次带女友回家,母亲做3道菜招待,一脸嫌弃暗示赶快分手

趣笔谈
2024-12-08 15:37:56
女博主称和两名女警闺蜜逛街,遭三名男警性骚扰:场面很可怕,但我没有证据

女博主称和两名女警闺蜜逛街,遭三名男警性骚扰:场面很可怕,但我没有证据

可达鸭面面观
2024-12-10 18:11:25
尹锡悦搭机逃亡?韩“空军一号”突然起飞引猜测

尹锡悦搭机逃亡?韩“空军一号”突然起飞引猜测

敬亭游侠
2024-12-10 21:18:54
白萝卜的“死对头”,医生提醒:二者万不可同吃,很多人还不懂

白萝卜的“死对头”,医生提醒:二者万不可同吃,很多人还不懂

小茉莉美食记
2024-10-13 08:04:05
欧盟批准向乌克兰提供42亿欧元援助

欧盟批准向乌克兰提供42亿欧元援助

新京报
2024-12-09 19:12:02
俄军捡到一架乌克兰无人机,拆开一看,最核心零件竟来自中国

俄军捡到一架乌克兰无人机,拆开一看,最核心零件竟来自中国

听风者说
2024-12-10 17:05:18
李传良豪掠31亿。1021处房产、38辆豪车,权力贪腐触目惊心

李传良豪掠31亿。1021处房产、38辆豪车,权力贪腐触目惊心

寻史奇谈
2024-12-10 19:30:03
也许以后历史书上会这样记载:2024年11月1日,刘德华先生,打响了第一枪

也许以后历史书上会这样记载:2024年11月1日,刘德华先生,打响了第一枪

新浪财经
2024-11-10 23:21:09
林婉珍爆出惊人细节:琼瑶曾半裸着向她耀武扬威,撕下遮羞布

林婉珍爆出惊人细节:琼瑶曾半裸着向她耀武扬威,撕下遮羞布

甜心泡泡
2024-12-10 10:17:17
19岁男子自曝被家人安排担任水电局副主任,舅舅是处级干部,自己4年后直接入编

19岁男子自曝被家人安排担任水电局副主任,舅舅是处级干部,自己4年后直接入编

西游日记
2024-12-10 16:04:00
广州地铁折腾安检验证了一个朴素的道理

广州地铁折腾安检验证了一个朴素的道理

挪威Talk
2024-12-10 12:51:18
一家四口全收拾了,琼瑶儿媳是个狠人,6天了主动权还在她手上

一家四口全收拾了,琼瑶儿媳是个狠人,6天了主动权还在她手上

火之文
2024-12-10 16:28:45
公安部新规!2025年1月起,60岁以上老年人可骑电动车增加到5种了

公安部新规!2025年1月起,60岁以上老年人可骑电动车增加到5种了

电动车的那些事儿
2024-12-09 07:51:55
银行接通知:本月中旬将召开全面实施个人养老金制度视频会

银行接通知:本月中旬将召开全面实施个人养老金制度视频会

财联社
2024-12-10 17:42:18
“立即逮捕”决议案通过,尹锡悦被彻底抛弃

“立即逮捕”决议案通过,尹锡悦被彻底抛弃

中国新闻周刊
2024-12-10 19:44:04
陈梦独自启程赴瑞典!未与马龙同行,越来越漂亮了,气质满分

陈梦独自启程赴瑞典!未与马龙同行,越来越漂亮了,气质满分

梦与体育
2024-12-10 11:08:24
埃尔多安:世界上仅有两名真正的领导人,就是本人和普京

埃尔多安:世界上仅有两名真正的领导人,就是本人和普京

大风文字
2024-12-09 18:36:40
2024-12-11 05:35:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4650722文章数 542688关注度
往期回顾 全部

财经要闻

蒸发3000亿,智飞生物遇“劫”

头条要闻

韩法院批准检方对前防长逮捕令

头条要闻

韩法院批准检方对前防长逮捕令

体育要闻

29年后,殷铁生又赢了徐根宝

娱乐要闻

表面是艺人,实际是阔少爷的7位男星

科技要闻

最高罚款超50亿美元 中国为何对英伟达动手

汽车要闻

小米YU7明年6/7月就上 价格30万级配双电机四驱

态度原创

艺术
健康
本地
旅游
公开课

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

旅游要闻

张家界天门山迎今冬首场雾凇 部分游道关闭

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

无障碍浏览 进入关怀版