网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
A股:大家要有所准备,明天周三,A股或将迎来大级别的回调?

A股:大家要有所准备,明天周三,A股或将迎来大级别的回调?

明心
2024-12-10 15:25:53
巴沙尔垮台再次证明,伊朗不值得深交,中国切勿在中东当出头鸟

巴沙尔垮台再次证明,伊朗不值得深交,中国切勿在中东当出头鸟

梁讯
2024-12-10 14:22:35
轰26+8夺MVP!中国男篮17岁臂展2米30新星蜕变,又添名校招募

轰26+8夺MVP!中国男篮17岁臂展2米30新星蜕变,又添名校招募

李喜林篮球绝杀
2024-12-10 12:15:05
网络水军竟然这么赚钱,操控6000部云手机获利4200万元

网络水军竟然这么赚钱,操控6000部云手机获利4200万元

开茶谈
2024-12-08 22:45:18
《我是刑警》清江两案来袭,秦川做梦没想到,凶手就在自己身边

《我是刑警》清江两案来袭,秦川做梦没想到,凶手就在自己身边

小冠说娱
2024-12-10 14:31:32
A股这一轮爆发,有何深意?

A股这一轮爆发,有何深意?

中国新闻周刊
2024-12-10 19:44:12
0:3!上海女排惨败,轮休外援现原形,有意放水福建,辽宁处境差

0:3!上海女排惨败,轮休外援现原形,有意放水福建,辽宁处境差

跑者排球视角
2024-12-10 22:05:03
很多人不知道,基层公务员降薪可能引发三大负面问题

很多人不知道,基层公务员降薪可能引发三大负面问题

笑熬浆糊111
2024-12-09 00:05:22
刚刚!山东已取代!身份证37开头的人恭喜了!即日起全面开始!

刚刚!山东已取代!身份证37开头的人恭喜了!即日起全面开始!

山东教育电视台
2024-12-10 18:52:35
TikTok提交紧急动议 试图阻止美国封禁法律生效

TikTok提交紧急动议 试图阻止美国封禁法律生效

财联社
2024-12-10 11:12:06
高端私人会所到底有多神秘?网友:最便宜的就是人,嫩模十万一夜

高端私人会所到底有多神秘?网友:最便宜的就是人,嫩模十万一夜

美好客栈大掌柜
2024-12-09 00:10:03
那年我送村花去相亲,途中开了个玩笑,不曾想她从此绑定我一生

那年我送村花去相亲,途中开了个玩笑,不曾想她从此绑定我一生

甜美的风
2024-12-02 20:01:19
被网友家里的“微波炉用法”惊到了!换个思路,就变成了厨房神器

被网友家里的“微波炉用法”惊到了!换个思路,就变成了厨房神器

室内设计师有料儿
2024-12-04 10:50:12
叶珂登堂入室!baby紧急搬离黄晓明上亿豪宅,儿子小海绵罕见出镜

叶珂登堂入室!baby紧急搬离黄晓明上亿豪宅,儿子小海绵罕见出镜

扒星人
2024-12-10 11:54:53
希望中国伸手拉一把?有意在我国建厂,承诺将发动机生产线搬中国

希望中国伸手拉一把?有意在我国建厂,承诺将发动机生产线搬中国

常高俊April工作室
2024-12-09 21:31:53
琼瑶自杀被忽视的三个细节:丈夫失智后不认识她,对原配仍有感情

琼瑶自杀被忽视的三个细节:丈夫失智后不认识她,对原配仍有感情

慕姑娘的洞见
2024-12-09 14:15:14
我当兵8年没有提干,退伍3年后突然接到首长电话:我想请你做女婿

我当兵8年没有提干,退伍3年后突然接到首长电话:我想请你做女婿

民间精选故事汇
2024-12-09 12:10:03
内蒙古住建厅:关于广西建工集团第三建筑工程公司的事故通报

内蒙古住建厅:关于广西建工集团第三建筑工程公司的事故通报

中国基建报
2024-12-10 22:38:43
日本,又给世界上了一课!

日本,又给世界上了一课!

米宅海外
2024-12-10 07:33:59
我的领土,不容再失!内塔尼亚胡登上50年梦寐以求的戈兰高地发誓

我的领土,不容再失!内塔尼亚胡登上50年梦寐以求的戈兰高地发誓

大风文字
2024-12-10 11:11:33
2024-12-11 03:07:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4650668文章数 542686关注度
往期回顾 全部

财经要闻

蒸发3000亿,智飞生物遇“劫”

头条要闻

韩法院批准检方对前防长逮捕令

头条要闻

韩法院批准检方对前防长逮捕令

体育要闻

29年后,殷铁生又赢了徐根宝

娱乐要闻

表面是艺人,实际是阔少爷的7位男星

科技要闻

最高罚款超50亿美元 中国为何对英伟达动手

汽车要闻

小米YU7明年6/7月就上 价格30万级配双电机四驱

态度原创

家居
教育
游戏
时尚
房产

家居要闻

极简温馨 营造层次感空间

教育要闻

温州日报作文版作文选登:汪李悠《小壁虎逃生》

科幻恐怖《活体脑细胞》Steam新史低 5.4元即可入手

7样超实用的办公室好物!带薪摸鱼养生必备!

房产要闻

秀英港搬迁,最新消息传出!海口湾业主,集体沸腾了!

无障碍浏览 进入关怀版