网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
沉默24小时后,迎来阿萨德发声,交出总统权力,叙利亚一夜变天!

沉默24小时后,迎来阿萨德发声,交出总统权力,叙利亚一夜变天!

影孖看世界
2024-12-09 06:50:08
损失惨重!员工失误,致车间地面全被紫光灯照黄,老板竟没追究…

损失惨重!员工失误,致车间地面全被紫光灯照黄,老板竟没追究…

火山诗话
2024-12-09 05:53:28
在这场全球招商大会,我们看到了投资东莞的三重机遇

在这场全球招商大会,我们看到了投资东莞的三重机遇

智谷趋势
2024-12-06 17:27:01
叙利亚央行遭盗窃,大马士革将宵禁!美国、俄罗斯、伊朗最新发声!内塔尼亚胡:阿萨德政权结束,具有历史性意义

叙利亚央行遭盗窃,大马士革将宵禁!美国、俄罗斯、伊朗最新发声!内塔尼亚胡:阿萨德政权结束,具有历史性意义

每日经济新闻
2024-12-08 23:52:11
35死43伤!珠海开车撞人凶手身份被扒,作案动机披露,已被批捕

35死43伤!珠海开车撞人凶手身份被扒,作案动机披露,已被批捕

博士观察
2024-12-08 11:13:10
姆巴佩发声:我没有抑郁症 +强奸案也是假的 德尚不让我去国家队

姆巴佩发声:我没有抑郁症 +强奸案也是假的 德尚不让我去国家队

风过乡
2024-12-09 06:44:58
叙利亚阿萨德,不愧是玩战略的高手,把一手烂牌打出了王炸的味道

叙利亚阿萨德,不愧是玩战略的高手,把一手烂牌打出了王炸的味道

星辰故事屋
2024-12-03 22:11:04
广东省安委会:深刻汲取深圳深江铁路重大坍塌事故教训,研究部署专项整治

广东省安委会:深刻汲取深圳深江铁路重大坍塌事故教训,研究部署专项整治

界面新闻
2024-12-09 12:19:22
炸裂!母女二人霸座被强行带走,更多信息被扒,网友不淡定了

炸裂!母女二人霸座被强行带走,更多信息被扒,网友不淡定了

鋭娱之乐
2024-12-08 20:11:28
竟然是他出卖了阿萨德?中方的反应早有“预兆”

竟然是他出卖了阿萨德?中方的反应早有“预兆”

头条爆料007
2024-12-08 19:40:11
特朗普再发威胁:美国将退出北约,除非……

特朗普再发威胁:美国将退出北约,除非……

财联社
2024-12-09 10:27:09
蔡国强回应烟花秀大量无人机坠海:烟花的艺术不是拍电影 遗憾没有办法重来

蔡国强回应烟花秀大量无人机坠海:烟花的艺术不是拍电影 遗憾没有办法重来

封面新闻
2024-12-09 11:10:12
外交部发布重磅视频:杀不死你的,终将使你更强大

外交部发布重磅视频:杀不死你的,终将使你更强大

澎湃新闻
2024-12-08 18:12:39
连云港到处是镍砂危楼!当地回应:有放射性,但禁止不了

连云港到处是镍砂危楼!当地回应:有放射性,但禁止不了

金台资讯
2024-11-30 15:00:22
阿萨德宫殿遭搜掠,从LV到盘子都被拿走,但车库中的超跑暂时无恙

阿萨德宫殿遭搜掠,从LV到盘子都被拿走,但车库中的超跑暂时无恙

译言
2024-12-09 05:38:36
越南大力精兵简政,政府机构由30个缩至21个,事业单位减少15-20%

越南大力精兵简政,政府机构由30个缩至21个,事业单位减少15-20%

长平投研
2024-12-08 17:14:07
江苏连云港被曝大量使用有放射性的镍砂建楼,和甲醛一样可缓慢侵出

江苏连云港被曝大量使用有放射性的镍砂建楼,和甲醛一样可缓慢侵出

悟空科学
2024-12-04 11:03:20
台媒:琼瑶离世留“10亿巨额版权”,儿媳何琇琼发布10字声明

台媒:琼瑶离世留“10亿巨额版权”,儿媳何琇琼发布10字声明

环球网资讯
2024-12-09 10:52:16
太惨了!网传温州发生惨烈车祸,车辆侧翻燃烧,2个孩子没了…

太惨了!网传温州发生惨烈车祸,车辆侧翻燃烧,2个孩子没了…

火山诗话
2024-12-08 11:45:21
网友:肠子都悔青了!苏州核心湖景房竟然从2000多万跌到1000来万

网友:肠子都悔青了!苏州核心湖景房竟然从2000多万跌到1000来万

火山诗话
2024-12-08 21:19:26
2024-12-09 12:32:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4606481文章数 486765关注度
往期回顾 全部

财经要闻

半导体新攻防

头条要闻

蔡国强烟花秀约600架无人机坠海 观众直呼 "意难平"

头条要闻

蔡国强烟花秀约600架无人机坠海 观众直呼 "意难平"

体育要闻

30岁临时工被裁员 NBA的人情与现实

娱乐要闻

尖叫之夜,明星们的小心思全照出来了

科技要闻

马云罕见演讲:AI改变一切 但不能决定一切

汽车要闻

保时捷经销商精简背后 是战略升级

态度原创

旅游
本地
时尚
公开课
军事航空

旅游要闻

春运热门航线集中在这些城市 记得提前购票

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

冬天拒绝一身黑,这些彩色穿搭太好看了,时髦优雅又减龄

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

军事要闻

宵禁期间大马士革相对稳定 大部分反政府武装未伤害平民

无障碍浏览 进入关怀版