网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
郑州躲避检查跳桥司机家属发声:年仅31岁有2个孩子,刚上班4天

郑州躲避检查跳桥司机家属发声:年仅31岁有2个孩子,刚上班4天

Mr王的饭后茶
2024-12-08 11:17:29
入乡随俗了?美国男子回应习武14年金发变黑发

入乡随俗了?美国男子回应习武14年金发变黑发

大象新闻
2024-12-08 11:08:47
大冰为困难人员发羽绒服被“薅羊毛”?周边商家:有人拿苹果手机穿厚羽绒服排队

大冰为困难人员发羽绒服被“薅羊毛”?周边商家:有人拿苹果手机穿厚羽绒服排队

上游新闻
2024-12-08 14:46:15
张朝阳回应35岁年龄歧视:35岁小青年一个 没工作就自己创造

张朝阳回应35岁年龄歧视:35岁小青年一个 没工作就自己创造

快科技
2024-12-08 14:13:39
陕西一家四口三人被杀,仅13岁小女孩存活,她笑着对警察说:不用查了,是我干的…

陕西一家四口三人被杀,仅13岁小女孩存活,她笑着对警察说:不用查了,是我干的…

财经三分钟pro
2024-12-07 21:41:47
陈德容的一句话,撕毁了琼瑶最后的体面!“三人行”旧事被重提

陈德容的一句话,撕毁了琼瑶最后的体面!“三人行”旧事被重提

柴叔带你看电影
2024-12-07 17:17:09
探“花”被“仙人”跳了?

探“花”被“仙人”跳了?

吃瓜党二号头目
2024-12-08 09:26:57
马克龙欢迎特朗普到访巴黎,却被狠狠握住手,“疼到笑容消失”

马克龙欢迎特朗普到访巴黎,却被狠狠握住手,“疼到笑容消失”

译言
2024-12-08 07:03:37
叙利亚10天战局突变:速度之快超出预计,内外局势埋下根源

叙利亚10天战局突变:速度之快超出预计,内外局势埋下根源

澎湃新闻
2024-12-08 14:28:32
文字游戏,可算被他们的通报玩明白了

文字游戏,可算被他们的通报玩明白了

亮见
2024-12-07 10:21:17
快评|叙利亚政局突变,专家:政权外部环境生变内部决策失误

快评|叙利亚政局突变,专家:政权外部环境生变内部决策失误

澎湃新闻
2024-12-08 16:34:31
算抄袭吗?网友质疑河北工大校徽与麻省理工过于雷同:人物动作一模一样

算抄袭吗?网友质疑河北工大校徽与麻省理工过于雷同:人物动作一模一样

可达鸭面面观
2024-12-08 11:56:10
上海市委决定:胡广杰任普陀区委书记

上海市委决定:胡广杰任普陀区委书记

新京报政事儿
2024-12-08 18:17:49
叙利亚阿萨德政权,完了

叙利亚阿萨德政权,完了

老鱼有话说
2024-12-08 10:24:29
KTV不雅男主很会玩,不是一般人!不是绿地高管,那么会是谁?

KTV不雅男主很会玩,不是一般人!不是绿地高管,那么会是谁?

蜉蝣说
2024-12-08 10:53:51
巴沙尔座机坠毁,叙利亚人欣喜若狂

巴沙尔座机坠毁,叙利亚人欣喜若狂

近距离
2024-12-08 15:42:36
电视剧《我是刑警》必须马上停播,它起到的负面作用容易诱导犯罪

电视剧《我是刑警》必须马上停播,它起到的负面作用容易诱导犯罪

羽怡文学工作室
2024-12-07 18:35:02
美防长:自特别军事行动开始以来盟友对乌克兰的军事援助总额已超过1190亿美元

美防长:自特别军事行动开始以来盟友对乌克兰的军事援助总额已超过1190亿美元

财联社
2024-12-08 18:21:07
惊爆!多支反对派媒体宣布:阿拉伯叙利亚共和国灭亡

惊爆!多支反对派媒体宣布:阿拉伯叙利亚共和国灭亡

史政先锋
2024-12-08 13:01:46
非法收受巨额财物!普宁市委原书记胡焕华被开除党籍

非法收受巨额财物!普宁市委原书记胡焕华被开除党籍

南方都市报
2024-12-08 17:04:06
2024-12-08 18:48:49
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4600318文章数 542651关注度
往期回顾 全部

财经要闻

马斯克身价暴增 美银力挺特斯拉

头条要闻

特朗普最新发声:乌克兰希望与俄罗斯"达成协议"

头条要闻

特朗普最新发声:乌克兰希望与俄罗斯"达成协议"

体育要闻

39岁皇马大师表演:20米仙人指路 策动2球

娱乐要闻

陈妍希父亲去世:陈晓未回应引争议

科技要闻

阿里合伙人樊路远内网道歉 自罚三个月工资

汽车要闻

东风本田全新新能源工厂首开放

态度原创

本地
时尚
手机
教育
公开课

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

揭秘“有品味”的中年女性,这三个实用穿衣套路,回头率超高

手机要闻

那些年「奇葩设计」个个惊艳,为何手机厂商不再创新?

教育要闻

高三英语28分,怎么学可以提分?有1-2个月足以提分到及格线

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

无障碍浏览 进入关怀版