网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
暴涨30%!直接超越海尔,中国空调又一黑马崛起,品牌巨头换新

暴涨30%!直接超越海尔,中国空调又一黑马崛起,品牌巨头换新

阿伧说事
2024-12-05 11:37:13
博主咖啡化疗6个月无效后尝试中药,一碗就让她中毒的不行了

博主咖啡化疗6个月无效后尝试中药,一碗就让她中毒的不行了

映射生活的身影
2024-12-05 18:31:23
马龙或5年内禁止去台湾,孙颖莎樊振东被牵连,宋思瑶被吓哭

马龙或5年内禁止去台湾,孙颖莎樊振东被牵连,宋思瑶被吓哭

大双
2024-12-06 14:57:32
琼瑶儿子披露母亲自杀全过程,最后影像流出,死前一句话信息量大

琼瑶儿子披露母亲自杀全过程,最后影像流出,死前一句话信息量大

博士观察
2024-12-04 18:32:49
二代哈弗H9柴油版,WLTC综合油耗8.9L/100km

二代哈弗H9柴油版,WLTC综合油耗8.9L/100km

沙雕小琳琳
2024-12-06 09:07:44
杨钰莹在别墅中吃粉的照片,手中的江西炒粉被她一端都变高级了

杨钰莹在别墅中吃粉的照片,手中的江西炒粉被她一端都变高级了

视点历史
2024-12-05 22:31:05
春晚终究还是“妥协”了!放下身段公开征求意见,你还会看吗?

春晚终究还是“妥协”了!放下身段公开征求意见,你还会看吗?

垛垛糖
2024-12-05 15:20:03
重大承诺!特朗普就职前送重礼数十万炮弹与装甲车即将援助乌克兰

重大承诺!特朗普就职前送重礼数十万炮弹与装甲车即将援助乌克兰

国际情爆猿
2024-12-06 15:01:36
“两岸统一”响彻!大陆人员抵台,马英九真面目曝光,果然不一般

“两岸统一”响彻!大陆人员抵台,马英九真面目曝光,果然不一般

惊觉惯例
2024-12-06 12:11:06
四川省纪委监委驻科技厅纪检监察组原四级调研员曾勇 接受监察调查

四川省纪委监委驻科技厅纪检监察组原四级调研员曾勇 接受监察调查

鲁中晨报
2024-12-06 16:45:04
仗快打完了,俄罗斯开始和中国算账,普京亲信觉得中国占了便宜?

仗快打完了,俄罗斯开始和中国算账,普京亲信觉得中国占了便宜?

博览历史
2024-08-05 11:50:02
自动驾驶这bug卡的交通法一愣一愣的,交警:有时候我都想报警!

自动驾驶这bug卡的交通法一愣一愣的,交警:有时候我都想报警!

热闹的河马
2024-12-06 10:32:37
中国外交部副部长华春莹 发高燃视频回应美对华芯片禁令 杀不死你的 终将使你更强大!

中国外交部副部长华春莹 发高燃视频回应美对华芯片禁令 杀不死你的 终将使你更强大!

闪电新闻
2024-12-05 17:19:13
琼瑶忽视后代教育,陈中维实力平平,陈可嘉陈可柔也没竞争力

琼瑶忽视后代教育,陈中维实力平平,陈可嘉陈可柔也没竞争力

欢乐大意
2024-12-05 19:51:04
两个传闻,引发A股大涨!

两个传闻,引发A股大涨!

隔壁老投
2024-12-06 14:05:52
预测票房18亿,超《卧虎藏龙》,《射雕》将打破全球票房纪录

预测票房18亿,超《卧虎藏龙》,《射雕》将打破全球票房纪录

影视原说a
2024-12-05 19:27:12
深圳一男子买80元彩票中2.25亿已领奖,缴税4500万,网民为啥不信

深圳一男子买80元彩票中2.25亿已领奖,缴税4500万,网民为啥不信

小人物看尽人间百态
2024-12-04 13:47:32
琼瑶的25亿遗产,都留给了亲儿子陈中维,3个继子女一分也拿不到

琼瑶的25亿遗产,都留给了亲儿子陈中维,3个继子女一分也拿不到

阿矗论古今
2024-12-06 09:05:18
上海将“一口气”添6座高铁站:其中三站年内开通,各有何定位?

上海将“一口气”添6座高铁站:其中三站年内开通,各有何定位?

澎湃新闻
2024-12-06 18:22:32
遍地开花的俄罗斯食品馆是什么新型智商收割机?

遍地开花的俄罗斯食品馆是什么新型智商收割机?

界面新闻
2024-12-05 10:13:33
2024-12-06 20:03:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4579067文章数 542631关注度
往期回顾 全部

财经要闻

黄文政谈起点收入:不工作也应有收入?

头条要闻

七旬老人病亡医嘱上开10支注射液 收费单上却是340支

头条要闻

七旬老人病亡医嘱上开10支注射液 收费单上却是340支

体育要闻

当家球星伤停后,他们是NBA最猛球队

娱乐要闻

《情书》女主角去世 被发现倒在浴缸中

科技要闻

这一次,多亏了日本?

汽车要闻

星途星纪元 ET增程四驱版于12月15日上市

态度原创

艺术
健康
家居
本地
军事航空

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

家居要闻

百年之居 打造四世同堂宜居空间

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

军事要闻

叙利亚反对派武装攻入哈马市 首都大马士革命悬一线

无障碍浏览 进入关怀版