网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
回顾:张扣扣向王家复仇,唯独不杀王自新妻子:她有不死的理由!

回顾:张扣扣向王家复仇,唯独不杀王自新妻子:她有不死的理由!

猫眼观史
2024-12-10 14:03:31
上海重磅发布,事关并购重组!一图速览部分上海本地龙头股

上海重磅发布,事关并购重组!一图速览部分上海本地龙头股

21世纪经济报道
2024-12-10 23:01:55
伤害性不大,侮辱性极强!杭州出名了,小仙女们真的该醒醒了…

伤害性不大,侮辱性极强!杭州出名了,小仙女们真的该醒醒了…

慧翔百科
2024-12-09 18:05:31
发现一个怪现象:儿女在国外等于没生;儿女留在大城市等于生半个

发现一个怪现象:儿女在国外等于没生;儿女留在大城市等于生半个

诗词中国
2024-10-29 12:15:23
韩元崩溃,韩国前高官怒批尹锡悦,中国会帮助伤害过我们的人吗

韩元崩溃,韩国前高官怒批尹锡悦,中国会帮助伤害过我们的人吗

南南史
2024-12-10 14:19:41
希望中国伸手拉一把?有意在我国建厂,承诺将发动机生产线搬中国

希望中国伸手拉一把?有意在我国建厂,承诺将发动机生产线搬中国

常高俊April工作室
2024-12-09 21:31:53
甄嬛举枪,孙悟空骑摩托!广电总局排查AI魔改短视频

甄嬛举枪,孙悟空骑摩托!广电总局排查AI魔改短视频

中关村在线
2024-12-10 11:17:18
上海发的消费券,都被黄牛抢了?市民:秒没!律师:卖方或构成犯罪

上海发的消费券,都被黄牛抢了?市民:秒没!律师:卖方或构成犯罪

新民晚报
2024-12-10 13:43:26
NBA杯1/4决赛雄鹿迎战魔术 最便宜票只需要8美元

NBA杯1/4决赛雄鹿迎战魔术 最便宜票只需要8美元

直播吧
2024-12-11 05:53:33
女友邀请闺蜜和我睡在一张床上,丝毫不对我设防

女友邀请闺蜜和我睡在一张床上,丝毫不对我设防

星星汤泡饭
2024-03-07 17:53:18
2025年或将迎来“贬值潮”!内行人直呼今年房价或将超乎想象

2025年或将迎来“贬值潮”!内行人直呼今年房价或将超乎想象

房产有点意思
2024-12-10 08:32:56
害怕被拒入境,在美中国留学生不敢回国!全美多所大学已发旅行警示

害怕被拒入境,在美中国留学生不敢回国!全美多所大学已发旅行警示

纽约时间
2024-12-11 05:00:29
心理学家谈姆巴佩:下山的死亡率比登山更高,因为你的神经放松了

心理学家谈姆巴佩:下山的死亡率比登山更高,因为你的神经放松了

直播吧
2024-12-10 23:12:18
调查11000名中老年人后,发现爱打麻将者,最终会变这样…

调查11000名中老年人后,发现爱打麻将者,最终会变这样…

华人星光
2024-10-24 13:27:21
阻止恩佐脱衣庆祝染黄,雅克松:不用谢,下次给我助攻就行

阻止恩佐脱衣庆祝染黄,雅克松:不用谢,下次给我助攻就行

懂球帝
2024-12-11 01:08:21
中国一个奇怪的现象:收入1万以下的夫妻,吵架基本都是为了钱;1万以上的家庭,吵架都是一方很强势。

中国一个奇怪的现象:收入1万以下的夫妻,吵架基本都是为了钱;1万以上的家庭,吵架都是一方很强势。

财经三分钟pro
2024-12-07 08:42:59
“最后防线”,崩了!中方紧急喊话快跑,解放军千万别趟这趟浑水

“最后防线”,崩了!中方紧急喊话快跑,解放军千万别趟这趟浑水

视野聚椒
2024-12-10 09:48:25
很大概率,中国将面临有史以来的一次长时间房价暴涨?值不值得信

很大概率,中国将面临有史以来的一次长时间房价暴涨?值不值得信

巢客HOME
2024-12-11 05:05:03
到了检验泡沫成色的时候

到了检验泡沫成色的时候

美第奇效应
2024-12-10 00:01:53
俄罗斯坐视盟友亡国,阿萨德山穷水尽之际,转头找美国搬救兵?

俄罗斯坐视盟友亡国,阿萨德山穷水尽之际,转头找美国搬救兵?

老高风云
2024-12-09 18:47:41
2024-12-11 07:15:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4650756文章数 542689关注度
往期回顾 全部

财经要闻

蒸发3000亿,智飞生物遇“劫”

头条要闻

官方通报湖南一货车侧翻与客车相撞:造成16人受伤

头条要闻

官方通报湖南一货车侧翻与客车相撞:造成16人受伤

体育要闻

29年后,殷铁生又赢了徐根宝

娱乐要闻

表面是艺人,实际是阔少爷的7位男星

科技要闻

最高罚款超50亿美元 中国为何对英伟达动手

汽车要闻

小米YU7明年6/7月就上 价格30万级配双电机四驱

态度原创

本地
游戏
教育
数码
时尚

本地新闻

探黔地风情,于山水之间赏不败之花

科幻恐怖《活体脑细胞》Steam新史低 5.4元即可入手

教育要闻

温州日报小记者亮相第四届浙江小记者节

数码要闻

荣耀平板 V9 搭载“荣耀柔光绿洲护眼屏”,宣称抗眩光 / 噪点

7样超实用的办公室好物!带薪摸鱼养生必备!

无障碍浏览 进入关怀版