网易首页 > 网易号 > 正文 申请入驻

ASM IP 申请“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”专利,将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在晶片 的整个表面上

0
分享至

金融界 2024 年 12 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“反应器盖和使用其的原子层沉积设备”的专利,公开号 CN 119061378 A,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,公开了一种反应盖和使用该反应盖的具有远程等离子体单元(RPU)的等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备。反应盖可以包括:气体入口,其配置成使产生的等离子体和处理气体流入晶片 处理空间;顶部,其设置在气体入口下方并具有截头圆锥形状,该顶部限定用于流动产生的等离子体和处理气体的 Wafer 处理空间;侧壁部,其设置在顶部下方;以及挡板,其放置在气体入口下方的顶部的嘴部处,并且配置成通过防止产生的等离子体和处理气体集中在 Wafer 的中心来将产生的等离子体和处理气体均匀地分散在 Wafer 的整个表面上,其中,Wafer 处理空间也由侧壁部限定。

本文源自:金融界

作者:情报员

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

相关推荐
热点推荐
据传北京朝阳法院今年的案号已排到30万+,均算每个法官每年审至少1000个案子?

据传北京朝阳法院今年的案号已排到30万+,均算每个法官每年审至少1000个案子?

法律内参
2024-12-07 18:24:23
河南7岁女孩已失踪26年!家属怀疑被爷爷家邻居拐卖,警方回应

河南7岁女孩已失踪26年!家属怀疑被爷爷家邻居拐卖,警方回应

极目新闻
2024-12-06 22:33:53
尹锡悦逃过了弹劾,但变成“植物人总统”?

尹锡悦逃过了弹劾,但变成“植物人总统”?

中国新闻周刊
2024-12-07 22:22:06
山航飞机大雪中“硬核降落” 业内人士:符合飞行条件大雪中起降很正常

山航飞机大雪中“硬核降落” 业内人士:符合飞行条件大雪中起降很正常

鲁中晨报
2024-12-07 22:41:12
美方说一套做一套,中方两个月内第二次反制!关于中美关系下一步走向,王毅最新发声

美方说一套做一套,中方两个月内第二次反制!关于中美关系下一步走向,王毅最新发声

上观新闻
2024-12-08 07:07:11
电视剧《我是刑警》必须马上停播,它起到的负面作用容易诱导犯罪

电视剧《我是刑警》必须马上停播,它起到的负面作用容易诱导犯罪

羽怡文学工作室
2024-12-07 18:35:02
68岁老汉囚禁50多女人当玩物,不仅自己“享用”,还5元一次出租

68岁老汉囚禁50多女人当玩物,不仅自己“享用”,还5元一次出租

第7情感
2024-10-12 14:28:32
贵州小伙在美国卖自己设计的“三蹦子”,三个月收入100万元:倒车提醒改成英文

贵州小伙在美国卖自己设计的“三蹦子”,三个月收入100万元:倒车提醒改成英文

观威海
2024-12-07 10:58:15
使用VPN翻墙违法,李子柒等名人为何安然无事?

使用VPN翻墙违法,李子柒等名人为何安然无事?

李昕言温度空间
2024-12-07 19:20:01
曝绿地老总KTV不雅行为,大尺度画面流出,公司回应,当事人沉默

曝绿地老总KTV不雅行为,大尺度画面流出,公司回应,当事人沉默

博士观察
2024-12-07 16:06:27
法国试射新型导弹,“炸毁”中国055大驱?中方早就防了一手

法国试射新型导弹,“炸毁”中国055大驱?中方早就防了一手

空天力量
2024-12-07 19:09:24
破案了!绿地集团董事长KTV不雅照为假!官方怒发文 无数网友躺枪

破案了!绿地集团董事长KTV不雅照为假!官方怒发文 无数网友躺枪

阿凫爱吐槽
2024-12-07 11:31:01
大疆员工爆料:月薪3w被岳父嫌弃“又不是公务员,你算啥中产!”

大疆员工爆料:月薪3w被岳父嫌弃“又不是公务员,你算啥中产!”

娱官儿
2024-12-07 10:12:07
文字游戏,可算被他们的通报玩明白了

文字游戏,可算被他们的通报玩明白了

亮见
2024-12-07 10:21:17
刘某娟录音曝光:这个民族应该扔颗原子弹!

刘某娟录音曝光:这个民族应该扔颗原子弹!

雪中风车
2024-12-07 06:53:55
笑不活了!原来军婚是这个样子的啊!网友分享太真实了!

笑不活了!原来军婚是这个样子的啊!网友分享太真实了!

奇特短尾矮袋鼠
2024-08-06 13:06:15
唐尚珺回应“退学复读”,直言不想让母亲失望,网友:应终身禁考

唐尚珺回应“退学复读”,直言不想让母亲失望,网友:应终身禁考

妍妍教育日记
2024-12-06 18:39:01
知名品牌被爆霉菌超标近6倍,是多数人首选早餐,老板哽咽道歉

知名品牌被爆霉菌超标近6倍,是多数人首选早餐,老板哽咽道歉

史纪文谭
2024-12-07 22:32:17
该反思了,国内大企业一去国外就凉,外国不吃这一套,老百姓心痛

该反思了,国内大企业一去国外就凉,外国不吃这一套,老百姓心痛

眼光很亮
2024-12-07 19:23:51
想念范尼!曼联2-3主场挨揍 阿莫林带队场均1分 创30年耻辱纪录

想念范尼!曼联2-3主场挨揍 阿莫林带队场均1分 创30年耻辱纪录

狍子歪解体坛
2024-12-08 03:25:33
2024-12-08 09:35:00
金融界
金融界
投资者信赖的财经金融门户网站
4597481文章数 542644关注度
往期回顾 全部

财经要闻

时隔半年,央行再增持黄金!

头条要闻

媒体:韩东勋恍然大悟态度反转 坚决要求尹锡悦下台

头条要闻

媒体:韩东勋恍然大悟态度反转 坚决要求尹锡悦下台

体育要闻

39岁皇马大师表演:20米仙人指路 策动2球

娱乐要闻

74岁刘晓庆搀扶65岁倪萍,心态超年轻

科技要闻

阿里合伙人樊路远内网道歉 自罚三个月工资

汽车要闻

银河星舰7 EM-i上市 先享价9.98-13.28万元

态度原创

艺术
数码
教育
健康
公开课

艺术要闻

故宫珍藏的墨迹《十七帖》,比拓本更精良,这才是地道的魏晋写法

数码要闻

麒麟9020处理器:GPU性能揭秘,对标友商次旗舰芯片!

教育要闻

手机管理主要责任在家庭,越早预防越有效

花18万治疗阿尔茨海默病,值不值?

公开课

李玫瑾:为什么性格比能力更重要?

无障碍浏览 进入关怀版