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金融界 2024 年 12 月 5 日消息，国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“MEMS 换能器，尤其是用于与流体相互作用的 MEMS 换能器”的专利，公开号 CN 119071703 A，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，MEMS 换能器，用于与流体相互作用，包括：至少三个彼此上下布置的 MEMS 层结构的层堆叠，有源 MEMS 层结构形成在下部与上部 MEMS 层结构之间；形成在有源 MEMS 层结构中的片，片能够至少区段式地横向偏转以与流体相互作用；驱动装置，用于使可运动的片沿垂直于层序列的横向方向至少区段地偏转，驱动装置具有下部和/或上部电极结构，其与有源 MEMS 层结构邻接地构造在下部和/或上部 MEMS 层结构上。为了将电压施加到上部和/或下部电极结构上设置敷镀通孔，其与形成在有源 MEMS 层结构中的接触元件导电地连接。接触元件与上部和下部 MEMS 层结构机械地连接，且与上部和/或下部电极结构的至少一个驱动电极导电地连接，且在敷镀通孔之外的区域中与上部和下部 MEMS 层结构的衬底电绝缘。
本文源自：金融界
作者：情报员
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