金融界 2024 年 12 月 7 日消息,国家知识产权局信息显示,朗姆研究公司取得一项名为“用于 RF 等离子体工具中的多级脉冲的系统和方法”的专利,授权公告号 CN 114041201 B,申请日期为 2020 年 4 月。
本文源自:金融界
作者:情报员
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