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重庆天箭申请具有多功能电极的 MEMS 环形陀螺谐振子结构专利,提高陀螺稳定性

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金融界 2024 年 12 月 9 日消息,国家知识产权局信息显示,重庆天箭惯性科技股份有限公司申请一项名为“一种具有多功能电极的 MEMS 环形陀螺谐振子结构”的专利,公开号 CN 119085618 A,申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示,本发明提供一种具有多功能电极的 MEMS 环形陀螺谐振子结构,包括:基底、环形谐振子、若干检测端检测电极、若干正交控制电极和若干驱动端检测电极;环形谐振子中心键合在所述基底上,检测端检测电极和所述驱动端检测电极之间设置有正交控制电极,检测端检测电极、驱动端检测电极和正交控制电极环绕于环形谐振子外部;检测端检测电极和驱动端检测电极与正交控制电极之间有长方形径向缝隙检测端检测电极驱动端检测电极和正交控制电极与环形谐振子之间有第一缝隙。本发明实现了多个电极的合理布局及各电极的隔离,提高了陀螺稳定性,消除了正交误差对陀螺仪的影响,使陀螺机械灵敏度与信噪比大幅提升的同时具备大带宽、低非线性等动态特性。

本文源自:金融界

作者:情报员

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