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金融界2024年12月10日消息，国家知识产权局信息显示，创微微电子（常州）有限公司申请一项名为“自动暂存上下料装置及清洗设备”的专利，公开号CN 119092446 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种自动暂存上下料装置及清洗设备。本发明提出的自动暂存上下料装置，包括取料机构、翻转机构和暂存机构，取料机构将一个花篮内的多片晶圆取出转移至翻转机构，通过翻转机构使多片晶圆从水平状态转换为竖直状态。翻转机构包括翻转组件和晶圆固定辊，晶圆固定辊用于限制多片晶圆的位置，晶圆固定辊竖直状态时，接收搬运机械臂的水平状态的晶圆，翻转组件的翻转架翻转，晶圆固定辊翻转为水平状态，晶圆转换为竖直状态，暂存架接收竖直状态的晶圆并送至工艺室，竖直状态的晶圆在进行晶圆清洗时可以防止产生气泡晶圆清洗不干净的问题。解决了现有的自动暂存上下料无法将待清洗的多片晶圆从水平状态转换为竖直状态的问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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