「中科慧仪」完成数千万元天使轮融资，中科光荣领投

近日，北京中科慧仪科技有限公司（简称“中科慧仪”）获得中科光荣基金、怀柔硬科技基金及战略投资方联合投资。自此标志着中科慧仪这家专注于半导体量检测行业的标杆企业进入了快速发展周期。

中科慧仪是一家专注于半导体量检测核心模组研发与销售的科技型企业。公司凭借全球领先的光电算控全栈技术，为市场提供高精度、高效率的解决方案，致力于打破国外技术垄断，加速半导体产业的国产化进程。公司团队成员具备多年光学检测领域从业经验，对行业具有深刻且独到的理解，是企业快速发展并占据行业一席之地的根基。

聚焦终端场景，定义行业标杆

半导体量检测设备是集成电路制造工艺中不可缺少的组成部分，贯穿于集成电路领域生产过程的每一个环节。它们在芯片设计、生产、封装和测试等各个环节中扮演着关键角色，确保半导体器件的质量和性能。

无图形/有图形晶圆

中科慧仪创立以来深耕半导体领域，专注行业关键场景需求，以技术创新推动应用升级。公司主要产品有：

显微自动聚焦系统：广泛应用于晶圆有图/无图检测、第三代化合物半导体检测、关键尺寸测量及面板微裂纹检测等场景；

全系列干涉物镜：全系列产品自研自产，突破了国外技术垄断；超高分辨率振镜相机：集高速扫描与超高分辨率于一体，最高分辨率16亿；

宽视场在线干涉测量仪：220ms内完成超大视场纳米级三维重建，可应用于半导体在线量测场景。

自主创新，开创国产替代新格局

目前，全球半导体量/检测设备市场处于寡头垄断的局面，市场集中度较高，美、日欧技术相对领先。中国半导体量/检测设备行业整体国产化率的提升还处于起步阶段，目前国内半导体生产厂商所使用的半导体量/检测设备仍主要依赖进口。

中科慧仪公司所生产的检测模组涵盖泛半导体领域主流应用，模块化的设计让客户可根据需求自由选配，大幅减少部署时间；公司出货的检测模组核心指标均业内领先，参数对标国际主流品牌产品；并创新自研了业内唯一的超高分辨率超大视野振镜相机和业内第一款双模对焦产品，实现毫秒级自动对焦和亚毫秒级快速目标识别及追踪拍摄。中科慧仪作为行业的创新驱动者，始终以“聚焦终端场景，专注高附加值产品”为发展战略，以客户需求为导向，不断深化产品研发与市场布局。

中科慧仪公司部分产品图示

全球领先的半导体量检测模组供应商

随着半导体技术的不断进步，对量/检测设备的要求也日益提高，这不仅涉及到精度和速度，还包括对复杂工艺流程的适应能力。技术发展路径包括高精度化、多功能化、智能化和自动化。企业创始人兼总经理袁智超强调“中科慧仪不仅致力于服务中国半导体产业，更期望通过持续的技术积累，为全球产业链注入新的活力。未来中科慧仪将继续以开放的姿态拥抱全球合作，坚持自主创新与产业协同发展，助力中国半导体从追赶到引领，成为全球半导体量检测核心模组的标杆企业。”

中科光荣认为，中科慧仪具有扎实的研发能力和技术基础，且团队拥有丰富的产品设计和调教经验。公司生产的检测模组在参数上达到了行业一流水平，在实际客户的使用中，公司产品力得到了充分的验证，获得了客户的一致认可。我们相信中科慧仪在未来的科技创新之路上，能够不断突破，助力中国半导体事业的发展。