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金融界2024年12月13日消息，国家知识产权局信息显示，麦斯塔微电子（深圳）有限公司申请一项名为“一种MEMS谐振器及其制备方法”的专利，公开号CN 119109434 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本申请提供一种MEMS谐振器及其制备方法，包括衬底、至少两个谐振体以及两个锚点，每一谐振体沿第一方向延伸并沿与第一方向垂直设置的第二方向排列，每两相邻的谐振体之间通过耦合梁连接；在第二方向上，耦合梁连接于谐振体的中间区域的侧面，且与耦合梁连接的中间区域的侧面为平整面；位于最外侧的两个谐振体且背离耦合梁的中间区域的侧面具有朝向谐振体内部凹陷的凹陷部，两个锚点通过分别延伸入凹陷部中以将谐振体与衬底连接。在本申请中，通过将与耦合梁连接的中间区域的侧面设置为平整面，以使得能量得以释放，并使得阵列排布的谐振体同时振动，进而使得单模态的MEMS谐振器的性能可以继承到阵列结构的MEMS谐振器。
本文源自：金融界
作者：情报员
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