北京
分享至
金融界2024年12月16日消息，国家知识产权局信息显示，宁波阳明工业技术研究院有限公司申请一项名为“半导体研磨抛光装置”的专利，公开号 CN 119115804 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种半导体研磨抛光装置。半导体研磨抛光装置包括搅拌组件、过滤组件和打磨盘，搅拌组件包括轴杆、搅拌桨和搅拌桶，搅拌桶两端具有开口，用于容置研磨材料和抛光材料；轴杆为中空杆，沿竖直方向延伸并转动设置于搅拌桶内，轴杆设置有出气孔，出气孔能喷射出高压气流，以松散抛光研磨材料；搅拌桨沿水平方向设于轴杆，轴杆转动能带动搅拌桨转动，以搅拌研磨材料和抛光材料；过滤组件包括滤芯和储液箱，抛光材料能从搅拌桶底部流向储液箱，滤芯设于储液箱内，抛光材料能通过滤芯过滤后添加于搅拌桶；打磨盘设于轴杆，随轴杆转动并打磨抛光半导体。通过搅拌组件和过滤组件，提高半导体加工精度及品质。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
