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安徽亿年半导体申请自动控制薄膜应力释放的加热加湿箱体装置专利,为薄膜应力释放提供精确环境条件

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金融界 2024 年 12 月 16 日消息,国家知识产权局信息显示,安徽亿年半导体有限公司申请一项名为“一种自动控制薄膜应力释放的加热加湿箱体装置”的专利,公开号 CN 119116408 A,申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种自动控制薄膜应力释放的加热加湿箱体装置,包括箱体,所述箱体的一侧设有开口且铰接有挡板,箱体的内部设有圆盘支架,箱体远离挡板的一侧内壁上安装有转动环,转动环上固定有气缸,气缸的输出轴与圆盘支架固定,圆盘支架上转动安装有多根收放辊,其中一根收放辊为放辊,其余收放辊为收辊。本发明通过箱体内部的热风循环系统和湿度控制系统,能够实时监控和调节箱体内部的温度和湿度,为薄膜应力释放提供精确的环境条件,有效避免传统热处理设备难以精确控制薄膜收缩过程的问题,确保膜片在加工过程中尺寸稳定,减少出现不均匀收缩、翘曲、气泡等质量问题的可能性。

本文源自:金融界

作者:情报员

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