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金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中机新材料有限公司申请一项名为“用于碳化硅衬底抛光的高纯硅溶胶及其制备方法”的专利，公开号CN 119118139 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于碳化硅衬底抛 光的高纯硅溶胶及其制 备方法。制备方法包括：对四乙氧基硅烷进行纯 化处理得到纯化后的四 乙氧基硅烷，对超纯水 进行多级反渗透和电去 离子处理，得到处理后 的超纯水；将纯化后的 四乙氧基硅烷与处理后 的超纯水进行溶胶‑凝胶反应得到初始硅溶 胶；进行水热反应处理， 得到硅纳米颗粒；使用连续流动离子交换系统和切向流超滤技 术对硅溶胶进行纯化处理，得到高纯度硅溶胶；添加稳定剂和 偶联剂，得到稳定化硅溶胶；调节pH值至9.5±0.1，得到pH调控 后的硅溶胶；对pH调控后的硅溶胶进行高剪切均质处理，并浓 缩至固含量为30 wt%的高纯硅溶胶。本发明提供了一种化学稳 定性好且机械抛光性能优异的高纯硅溶胶。
本文源自：金融界
作者：情报员
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