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金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，河北普兴电子科技股份有限公司取得一项名为“吹扫废气三氯氢硅残液回收装置”的专利，授权公告号CN 222153244 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种吹扫废气三氯氢硅残液回收装置，第一支路连接在吹扫管路的出气端，第二支路连接在吹扫管路的出气端，第二支路上设有气液分离件，第一支路和第二支路的出气端均连接在吹扫驱动管路的进气端；负压吹扫机构设于吹扫驱动管路的出气端，负压吹扫机构分别与第一支路和第二支路的出气口处连接，负压吹扫机构的出气端与吹扫废气处理机构连接。本实用新型通过设置第二支路和气液分离件，在吹扫管道内的夹杂着三氯氢硅残液的吹扫废气只流经第二支路时，三氯氢硅残液会留存在气液分离件内，吹扫废气则经由吹扫驱动管路和负压吹扫机构后进入到吹扫废气处理机构内进行处理，有效防止三氯氢硅残液在吹扫废气处理机构的管道内聚集。
本文源自：金融界
作者：情报员
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