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金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“沉积成膜中电极组件绝缘异常的处理方法及沉积成膜设备”的专利，公开号 CN 119121195 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开沉积成膜中电极组件绝缘异常的处理方法及沉积成膜设备，其中，该处理方法包括异常处理步骤，所述异常处理步骤包括：控制载具进入反应腔，并连接所述载具和射频电源；向所述反应腔中通入第一工艺气体；控制启动所述射频电源，并对所述第一工艺气体进行电离，以至少在支撑杆的表面沉积绝缘膜。上述处理方法无需对支撑杆进行拆卸、即可以完成对于支撑杆的在线绝缘修复，劳动强度低，修复速度快，可减少反应腔被污染的风险，有利于提升设备的产生效率以及良品率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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